公开(公告)号：US08342813B2

公开(公告)日：2013-01-01

申请号：US12920797

申请日：2009-03-26

申请人： Michael Laurence Ferris ,  Andrea Conte

发明人： Michael Laurence Ferris ,  Andrea Conte

IPC分类号： F04B37/02 ,  F04F99/00

CPC分类号： H01J41/00

摘要： A combined pumping system comprises a getter pump and an ion pump. The getter and ion pumps are mounted on a same flange and are arranged on the same side of the flange at two different points thereof. The flange can be mounted to a vacuum chamber, such that the combined pumping system evacuates the vacuum chamber.

摘要翻译： 组合泵系统包括吸气泵和离子泵。 吸气剂和离子泵安装在相同的法兰上，并且在两个不同的位置上布置在法兰的同一侧。 凸缘可以安装到真空室，使得组合的泵送系统排空真空室。

公开(公告)号：US20110014063A1

公开(公告)日：2011-01-20

申请号：US12920797

申请日：2009-03-26

申请人： Michael Laurence Ferris ,  Andrea Conte

发明人： Michael Laurence Ferris ,  Andrea Conte

IPC分类号： F04B37/02

CPC分类号： H01J41/00

摘要： A combined pumping system (10) comprises a getter pump (12) and an ion pump (13). The getter and ion pumps (12, 13) are mounted on a same flange (11) and are arranged on the same side of said flange (11) at two different points thereof.

摘要翻译： 组合泵送系统（10）包括吸气泵（12）和离子泵（13）。 吸气剂和离子泵（12,13）安装在相同的凸缘（11）上，并且在其两个不同的位置处布置在所述凸缘（11）的同一侧上。