公开(公告)号：US09120704B2

公开(公告)日：2015-09-01

申请号：US14054417

申请日：2013-10-15

申请人： Nippon Tungsten Co., Ltd. ,  Shinko Electric Industries Co., Ltd. ,  Trek Holding Co., Ltd. ,  Japan Fine Ceramics Center

发明人： Kouta Tsutsumi ,  Mitsuyoshi Nagano ,  Koki Tamagawa ,  Norio Shiraiwa ,  Tadayoshi Yoshikawa ,  Miki Saito ,  Toshio Uehara ,  Hideaki Matsubara ,  Tetsushi Matsuda

IPC分类号： H01L21/68 ,  C04B35/10 ,  H01L21/683 ,  C04B35/117 ,  C04B35/645

CPC分类号： C04B35/10 ,  C04B35/117 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3843 ,  C04B2235/3856 ,  C04B2235/3886 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/96 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6833 ,  Y10T279/23

摘要： A dielectric layer for an electrostatic chuck is formed of a ceramic material having a first phase including aluminum oxide and a second phase including composite carbonitride (Ti, Me)(C, N) that contains titanium as fine grains. The Me represents a transition element and metals of Group 4 to Group 6 such as Mo and W. The ceramic material that includes the second phase by 0.05 vol % to 2.5 vol % has a volume resistivity value of about 108 to 1013 (Ω·cm) necessary for a Johnsen-Rahbek type electrostatic chuck.

摘要翻译： 用于静电卡盘的电介质层由具有包括氧化铝的第一相的陶瓷材料和包含钛作为细晶粒的复合碳氮化物（Ti，Me）（C，N）的第二相形成。 Me表示过渡元素，第4族至第6族的金属如Mo和W。包含0.05vol％至2.5vol％的第二相的陶瓷材料的体积电阻率值为约108〜1013（＆OHgr· 厘米）为Johnsen-Rahbek型静电卡盘所必需。

公开(公告)号：US20140103612A1

公开(公告)日：2014-04-17

申请号：US14054417

申请日：2013-10-15

申请人： Nippon Tungsten Co., Ltd. ,  Japan Fine Ceramics Center ,  Trek Holding Co., Ltd. ,  Shinko Electric Industries Co., Ltd.

发明人： Kouta Tsutsumi ,  Mitsuyoshi Nagano ,  Koki Tamagawa ,  Norio Shiraiwa ,  Tadayoshi Yoshikawa ,  Miki Saito ,  Toshio Uehara ,  Hideaki Matsubara ,  Tetsushi Matsuda

IPC分类号： C04B35/10 ,  H01L21/683

CPC分类号： C04B35/10 ,  C04B35/117 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3843 ,  C04B2235/3856 ,  C04B2235/3886 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/96 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6833 ,  Y10T279/23

摘要： A dielectric layer for an electrostatic chuck is formed of a ceramic material having a first phase including aluminum oxide and a second phase including composite carbonitride (Ti, Me)(C, N) that contains titanium as fine grains. The Me represents a transition element and metals of Group 4 to Group 6 such as Mo and W. The ceramic material that includes the second phase by 0.05 vol % to 2.5 vol % has a volume resistivity value of about 108 to 1013 (Ω·cm) necessary for a Johnsen-Rahbek type electrostatic chuck.

摘要翻译： 用于静电卡盘的电介质层由具有包括氧化铝的第一相的陶瓷材料和包含钛作为细晶粒的复合碳氮化物（Ti，Me）（C，N）的第二相形成。 Me表示过渡元素，第4族至第6族的金属如Mo和W。包含0.05vol％至2.5vol％的第二相的陶瓷材料的体积电阻率值为约108〜1013（＆OHgr· 厘米）为Johnsen-Rahbek型静电卡盘所必需。