公开(公告)号：US08124230B2

公开(公告)日：2012-02-28

申请号：US12583078

申请日：2009-08-13

申请人： Paul A. Zimmerman ,  Aristeidis Bakandritsos ,  Michael F. Zettel ,  Markos Trikeriotis ,  Robert Rodriguez ,  Emmanuel P. Giannelis ,  Woo Jin Bae ,  Christopher K. Ober

发明人： Paul A. Zimmerman ,  Aristeidis Bakandritsos ,  Michael F. Zettel ,  Markos Trikeriotis ,  Robert Rodriguez ,  Emmanuel P. Giannelis ,  Woo Jin Bae ,  Christopher K. Ober

IPC分类号： B32B5/66

CPC分类号： C01G25/02 ,  B82Y30/00 ,  C01G23/047 ,  C01G27/00 ,  C01G27/02 ,  C01P2002/82 ,  C01P2004/64 ,  C01P2004/84 ,  C01P2006/22 ,  C01P2006/60 ,  Y10T428/2991 ,  Y10T428/2993 ,  Y10T428/2995 ,  Y10T428/2996 ,  Y10T428/2998

摘要： The present invention relates generally to non-aggregating nanoparticles, including ligand capped metal oxide nanoparticles. Methods for their synthesis and methods for their use, for example, for improved immersion lithography processes, are also disclosed.

摘要翻译： 本发明一般涉及非聚集纳米颗粒，包括配体封端的金属氧化物纳米颗粒。 还公开了它们的合成方法及其使用方法，例如用于改进的浸没式光刻工艺。

公开(公告)号：US20110039105A1

公开(公告)日：2011-02-17

申请号：US12583078

申请日：2009-08-13

申请人： Paul A. Zimmerman ,  Aristeidis Bakandritsos ,  Michael F. Zettel ,  Markos Trikeriotis ,  Robert Rodriguez ,  Emmanuel P. Giannelis ,  Woo Jin Bae ,  Christopher K. Ober

发明人： Paul A. Zimmerman ,  Aristeidis Bakandritsos ,  Michael F. Zettel ,  Markos Trikeriotis ,  Robert Rodriguez ,  Emmanuel P. Giannelis ,  Woo Jin Bae ,  Christopher K. Ober

IPC分类号： B32B5/16

CPC分类号： C01G25/02 ,  B82Y30/00 ,  C01G23/047 ,  C01G27/00 ,  C01G27/02 ,  C01P2002/82 ,  C01P2004/64 ,  C01P2004/84 ,  C01P2006/22 ,  C01P2006/60 ,  Y10T428/2991 ,  Y10T428/2993 ,  Y10T428/2995 ,  Y10T428/2996 ,  Y10T428/2998

摘要： The present invention relates generally to non-aggregating nanoparticles, including ligand capped metal oxide nanoparticles. Methods for their synthesis and methods for their use, for example, for improved immersion lithography processes, are also disclosed.

摘要翻译： 本发明一般涉及非聚集纳米颗粒，包括配体封端的金属氧化物纳米颗粒。 还公开了它们的合成方法及其使用方法，例如用于改进的浸没式光刻工艺。