公开(公告)号：US06900132B2

公开(公告)日：2005-05-31

申请号：US10691688

申请日：2003-10-22

申请人： Raymon F. Thompson ,  Jeffry A. Davis ,  Randy Harris ,  Dana R. Scranton ,  Ryan Pfeifle ,  Steven A. Peace ,  Brian Aegerter

发明人： Raymon F. Thompson ,  Jeffry A. Davis ,  Randy Harris ,  Dana R. Scranton ,  Ryan Pfeifle ,  Steven A. Peace ,  Brian Aegerter

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/311

CPC分类号： H01L21/6715 ,  H01L21/32134 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6708 ,  Y10S438/913

摘要： A system for processing semiconductor wafers has process units on a deck of a frame. The process units and the deck have precision locating features, such as tapered pins, for precisely positioning the process units on the deck. Process units can be removed and replacement process units installed on the deck, without the need for recalibrating the load/unload robot. This reduces the time needed to replace process units and restart processing operations. Liquid chemical consumption during processing is reduced by drawing unused liquid out of supply lines and pumping it back to storage.

摘要翻译： 用于处理半导体晶片的系统在框架的台面上具有处理单元。 过程单元和甲板具有精确的定位特征，例如锥形销，用于将处理单元精确地定位在甲板上。 可以拆卸加工单元并安装在甲板上的更换过程单元，而无需重新校准装载/卸载机器人。 这减少了更换过程单元并重新启动处理操作所需的时间。 通过将未使用的液体从供应管线中抽出并将其抽回储存器来减少加工过程中的液体化学品消耗。