公开(公告)号：US20110073785A1

公开(公告)日：2011-03-31

申请号：US12996029

申请日：2009-06-04

申请人： Renaud Mercier-Ythier ,  Roland Geyl

发明人： Renaud Mercier-Ythier ,  Roland Geyl

IPC分类号： G21K1/06

CPC分类号： B82Y10/00 ,  G02B17/061 ,  G02B17/0694 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0047 ,  G02B19/0095 ,  G03F7/70166 ,  G21K1/062 ,  G21K2201/061 ,  G21K2201/064 ,  G21K2201/067

摘要： The invention relates to a radiation collector (10) designed to concentrate part of the radiation produced by a source on a spot (100). The collector includes a primary concave mirror (1) and a secondary convex mirror (2), each being rotationally symmetrical about an optical axis (X-X) of the collector. The primary mirror is configured to reflect the radiation collected with an angle of incidence (i) that is substantially constant between different points on said main mirror. Such a collector is particularly suitable for use with a discharge produced plasma source.

摘要翻译： 本发明涉及一种设计用于将由源产生的辐射的一部分集中在点（100）上的辐射收集器（10）。 收集器包括一个初级凹面镜（1）和一个副凸面镜（2），它们都围绕收集器的光轴（X-X）旋转对称。 主镜被配置成以在所述主镜上的不同点之间基本上恒定的入射角（i）反射所收集的辐射。 这种集电器特别适用于放电产生的等离子体源。