公开(公告)号：US08299286B2

公开(公告)日：2012-10-30

申请号：US11949871

申请日：2007-12-04

申请人： Robin A. Gardiner ,  Thomas H. Baum ,  Douglas Cameron Gordon ,  Connie L. Gordon, legal representative ,  Timothy E. Glassman ,  Sofia Pombrik ,  Brian A. Vaartstra ,  Peter S. Kirlin

发明人： Robin A. Gardiner ,  Thomas H. Baum ,  Douglas Cameron Gordon ,  Timothy E. Glassman ,  Sofia Pombrik ,  Brian A. Vaartstra ,  Peter S. Kirlin

IPC分类号： C07F7/00 ,  C23C18/00

CPC分类号： C23C16/409 ,  C07C49/92 ,  C07F7/003 ,  C23C16/18 ,  C23C16/305 ,  C23C16/40 ,  C23C16/405 ,  C23C16/408

摘要： A β-diketonate alkoxide metal compound and a source reagent composition are provided. The β-diketonate alkoxide metal compound may include a metal M selected from Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, La, Ce, Ti, Zr, Hf, Pr, V, Nb, Ta, Nd, Cr, W, Pm, Mn, Re, Sm, Fe, Ru, Eu, Co, Rh, Ir, Gd, Ni, Tb, Cu, Dy, Ho, Al, Tl, Er, Sn, Pb, Tm, Bi, Lu, Th, Pd, Pt, Ga, In, Au, Ag, Li, Na, K, Rb, Cs, Mo, and Yb. The metal may be complexed to at least one alkoxide ligand and one β-diketonate ligand.

摘要翻译： 提供了一种二酮醇盐金属化合物和一种源试剂组合物。 所述二烷基醇盐金属化合物可以包括选自Mg，Ca，Sr，Ba，Sc，Y，La，Ce，Ti，Zr，Hf，Pr，V，Nb，Ta，Nd，Cr，W ，Pm，Mn，Re，Sm，Fe，Ru，Eu，Co，Rh，Ir，Gd，Ni，Tb，Cu，Dy，Ho，Al，Tl，Er，Sn，Pb，Tm，Bi，Lu，Th ，Pd，Pt，Ga，In，Au，Ag，Li，Na，K，Rb，Cs，Mo和Yb。 该金属可以与至少一种醇盐配体和一种β-二酮配体络合。