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1.发明授权Radiation durable organic compounds with high transparency in the vacuum ultraviolet, and method for preparing 失效在真空紫外线中具有高透明度的耐辐射耐久性有机化合物及其制备方法公开(公告)号：US07300743B2
公开(公告)日：2007-11-27
申请号：US10632643
申请日：2003-08-01
CPC分类号： G03F7/2041
摘要： This invention concerns radiation durable organic compositions which are well-suited for use in 157 nm lithography by virtue of their high transparency and excellent radiation durability, and to a process for the preparation thereof.
摘要翻译： 本发明涉及通过其高透明度和优异的辐射耐久性而非常适合用于157nm光刻的辐射耐久有机组合物及其制备方法。
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公开(公告)号：US20080124660A1
公开(公告)日：2008-05-29
申请号：US11938222
申请日：2007-11-09
IPC分类号： G03F7/26 , C07C51/44 , C07C19/08 , C07C17/38 , C07C17/383
CPC分类号： G03F7/70216
摘要： Provided are liquid perfluoro-n-alkanes that are highly transparent to UV wavelengths ranging from about 150 nm to 165 nm, and to the method by which high transparency may be obtained. The liquid, perfluoro-n-alkanes are useful in optical couplants, optical cements, optical elements, optical inspection media for semiconductor wafers and devices, and immersion photolithography at 157 nm exposure wavelength.
摘要翻译： 提供对于约150nm至165nm的UV波长具有高度透明性的液体全氟正烷烃，以及可获得高透明度的方法。 液体全氟正烷烃可用于光耦合剂，光学粘合剂，光学元件，用于半导体晶片和器件的光学检测介质以及157nm曝光波长的浸没光刻。
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3.发明授权Polymer-liquid compositions useful in ultraviolet and vacuum ultraviolet uses 失效用于紫外线和真空紫外线用途的聚合物 - 液体组合物公开(公告)号：US07129009B2
公开(公告)日：2006-10-31
申请号：US10474280
申请日：2002-05-14
CPC分类号： C08K5/02 , C08K5/06 , C08L27/12 , C08L2205/02 , Y10T428/31935 , C08L2666/04
摘要： This invention relates to a fluoropolymer nanocomposite comprising a fluoropolymer phase and an inorganic oxide phase dispersed throughout, said inorganic oxide phase having either no particles or particles substantially all of which have a particle size of less than about 75 nm which can be determined by small angle x-ray scattering and transmission electron microscopy techniques. These nanocomposites are useful as protective coatings.
摘要翻译： 本发明涉及含氟聚合物相和分散在整个无机氧化物相中的含氟聚合物纳米复合材料，所述无机氧化物相具有基本上不具有小于约75nm的粒径的颗粒或颗粒，其可以通过小角度 x射线散射和透射电子显微镜技术。 这些纳米复合材料可用作保护涂层。
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公开(公告)号：US20090079953A1
公开(公告)日：2009-03-26
申请号：US12117256
申请日：2008-05-08
IPC分类号： G03B27/72
CPC分类号： G03F7/2041 , G03F7/70341 , G03F7/7035 , G03F7/70958
摘要： This invention concerns liquid perfluoro-n-alkanes for use in applications demanding high transparency at UV wavelengths ranging from about 150 to 165 nm, especially 157 nm. Uses include optical couplants, optical cements, optical elements, optical inspection media for photolithography at 157 nm exposure wavelength.
摘要翻译： 本发明涉及用于在约150至165nm，特别是157nm的UV波长下要求高透明度的应用中的液体全氟正烷烃。 用途包括光学耦合剂，光学水泥，光学元件，用于157nm曝光波长的光刻的光学检查介质。
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公开(公告)号：US07493743B2
公开(公告)日：2009-02-24
申请号：US11070918
申请日：2005-03-02
IPC分类号： B65B31/02
CPC分类号： G03F7/2041
摘要： A method for preparing packages holding liquid alkanes exhibiting high transparency and photochemical stability at wavelength of about 193 nm, wherein a sealable vessel is flushed with an inert gas to form an atmosphere of inert gas, a liquid alkane is charged into the vessel in the atmosphere of inert gas, and the charged vessel is sealed.
摘要翻译： 一种在约193nm的波长下制备保持显示高透明度和光化学稳定性的液体烷烃的包装的方法，其中用惰性气体冲洗可密封容器以形成惰性气体气氛，在大气中将液体烷烃装入容器中 的惰性气体，并且将带电容器密封。
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公开(公告)号：US07402377B2
公开(公告)日：2008-07-22
申请号：US10903526
申请日：2004-07-30
IPC分类号： G03F7/26
CPC分类号： G03F7/2041 , G03F7/70341 , G03F7/7035 , G03F7/70958
摘要： This invention concerns liquid perfluoro-n-alkanes for use in applications demanding high transparency at UV wavelengths ranging from about 150 to 165 nm, especially 157 nm. Uses include optical couplants, optical cements, optical elements, optical inspection media for semiconductor wafers and devices, and most especially immersion photolithography at 157 nm exposure wavelength.
摘要翻译： 本发明涉及用于在约150至165nm，特别是157nm的UV波长下要求高透明度的应用中的液体全氟正烷烃。 用途包括光学耦合剂，光学胶粘剂，光学元件，用于半导体晶片和器件的光学检测介质，最特别是157nm曝光波长的浸没式光刻技术。
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7.发明授权Ultraviolet and vacuum ultraviolet transparent polymer compositions and their uses 失效紫外线和真空紫外线透明聚合物组合物及其用途公开(公告)号：US06770404B1
公开(公告)日：2004-08-03
申请号：US10111442
申请日：2002-04-24
IPC分类号： G02B104
CPC分类号： G03F7/0046 , G03F1/62 , G03F1/64 , G03F7/091
摘要： Disclosed are partially fluorinated and fully fluorinated polymers that are substantially transparent to ultraviolet radiation at wavelengths from 187 to 260 nanometers.
摘要翻译： 公开了部分氟化和完全氟化的聚合物，其对于187至260纳米的波长的紫外线辐射基本上是透明的。
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8.发明授权Photocrosslinkable fluoropolymers, UV processes and photocrosslinked polymers 有权可光交联的含氟聚合物，UV工艺和光交联聚合物公开(公告)号：US09169338B2
公开(公告)日：2015-10-27
申请号：US13809926
申请日：2011-07-13
IPC分类号： C08F214/18 , C08F214/26 , C08F14/18
CPC分类号： C08F14/185 , C08F214/18 , C08F214/186 , C08F214/188 , C08F214/26 , C08F214/262
摘要： This invention relates to certain photocrosslinkable fluoropolymers, processes for crosslinking the fluoropolymers using UV radiation, and the photocrosslinked fluoropolymers produced.
摘要翻译： 本发明涉及某些可光交联的含氟聚合物，使用紫外线辐射交联含氟聚合物的方法和所生产的光交联的含氟聚合物。
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9.发明申请PHOTOCROSSLINKABLE FLUOROPOLYMERS, UV PROCESSES AND PHOTOCROSSLINKED POLYMERS 有权光致变色荧光体，UV工艺和光致交联聚合物公开(公告)号：US20130131213A1
公开(公告)日：2013-05-23
申请号：US13809926
申请日：2011-07-13
IPC分类号： C08F14/18
CPC分类号： C08F14/185 , C08F214/18 , C08F214/186 , C08F214/188 , C08F214/26 , C08F214/262
摘要： This invention relates to certain photocrosslinkable fluoropolymers, processes for crosslinking the fluoropolymers using UV radiation, and the photocrosslinked fluoropolymers produced.
摘要翻译： 本发明涉及某些可光交联的含氟聚合物，使用紫外线辐射交联含氟聚合物的方法和所生产的光交联的含氟聚合物。
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公开(公告)号：US07465667B2
公开(公告)日：2008-12-16
申请号：US11074440
申请日：2005-03-08
IPC分类号： H01L21/302
CPC分类号： G03F7/70216
摘要： The present invention is drawn to liquid perfluoro-n-alkanes that are highly transparent to UV wavelengths ranging from about 150 nm to 165 nm, and to the method by which high transparency may be obtained. The liquid perfluoro-n-alkanes of the invention are useful in optical couplants, optical cements, optical elements, optical inspection media for semiconductor wafers and devices, and immersion photolithography at 157 nm exposure wavelength.
摘要翻译： 本发明涉及对从约150nm至165nm范围的UV波长高度透明的液体全氟正烷烃，以及可获得高透明度的方法。 本发明的液体全氟正烷烃可用于光耦合剂，光学胶粘剂，光学元件，用于半导体晶片和器件的光学检查介质以及157nm曝光波长下的浸没光刻。
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