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公开(公告)号：US20090079953A1
公开(公告)日：2009-03-26
申请号：US12117256
申请日：2008-05-08
IPC分类号： G03B27/72
CPC分类号： G03F7/2041 , G03F7/70341 , G03F7/7035 , G03F7/70958
摘要： This invention concerns liquid perfluoro-n-alkanes for use in applications demanding high transparency at UV wavelengths ranging from about 150 to 165 nm, especially 157 nm. Uses include optical couplants, optical cements, optical elements, optical inspection media for photolithography at 157 nm exposure wavelength.
摘要翻译： 本发明涉及用于在约150至165nm，特别是157nm的UV波长下要求高透明度的应用中的液体全氟正烷烃。 用途包括光学耦合剂，光学水泥，光学元件，用于157nm曝光波长的光刻的光学检查介质。
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公开(公告)号：US07493743B2
公开(公告)日：2009-02-24
申请号：US11070918
申请日：2005-03-02
IPC分类号： B65B31/02
CPC分类号： G03F7/2041
摘要： A method for preparing packages holding liquid alkanes exhibiting high transparency and photochemical stability at wavelength of about 193 nm, wherein a sealable vessel is flushed with an inert gas to form an atmosphere of inert gas, a liquid alkane is charged into the vessel in the atmosphere of inert gas, and the charged vessel is sealed.
摘要翻译： 一种在约193nm的波长下制备保持显示高透明度和光化学稳定性的液体烷烃的包装的方法，其中用惰性气体冲洗可密封容器以形成惰性气体气氛，在大气中将液体烷烃装入容器中 的惰性气体，并且将带电容器密封。
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公开(公告)号：US07402377B2
公开(公告)日：2008-07-22
申请号：US10903526
申请日：2004-07-30
IPC分类号： G03F7/26
CPC分类号： G03F7/2041 , G03F7/70341 , G03F7/7035 , G03F7/70958
摘要： This invention concerns liquid perfluoro-n-alkanes for use in applications demanding high transparency at UV wavelengths ranging from about 150 to 165 nm, especially 157 nm. Uses include optical couplants, optical cements, optical elements, optical inspection media for semiconductor wafers and devices, and most especially immersion photolithography at 157 nm exposure wavelength.
摘要翻译： 本发明涉及用于在约150至165nm，特别是157nm的UV波长下要求高透明度的应用中的液体全氟正烷烃。 用途包括光学耦合剂，光学胶粘剂，光学元件，用于半导体晶片和器件的光学检测介质，最特别是157nm曝光波长的浸没式光刻技术。
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4.发明授权Ultraviolet and vacuum ultraviolet transparent polymer compositions and their uses 失效紫外线和真空紫外线透明聚合物组合物及其用途公开(公告)号：US06770404B1
公开(公告)日：2004-08-03
申请号：US10111442
申请日：2002-04-24
IPC分类号： G02B104
CPC分类号： G03F7/0046 , G03F1/62 , G03F1/64 , G03F7/091
摘要： Disclosed are partially fluorinated and fully fluorinated polymers that are substantially transparent to ultraviolet radiation at wavelengths from 187 to 260 nanometers.
摘要翻译： 公开了部分氟化和完全氟化的聚合物，其对于187至260纳米的波长的紫外线辐射基本上是透明的。
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公开(公告)号：US20080124660A1
公开(公告)日：2008-05-29
申请号：US11938222
申请日：2007-11-09
IPC分类号： G03F7/26 , C07C51/44 , C07C19/08 , C07C17/38 , C07C17/383
CPC分类号： G03F7/70216
摘要： Provided are liquid perfluoro-n-alkanes that are highly transparent to UV wavelengths ranging from about 150 nm to 165 nm, and to the method by which high transparency may be obtained. The liquid, perfluoro-n-alkanes are useful in optical couplants, optical cements, optical elements, optical inspection media for semiconductor wafers and devices, and immersion photolithography at 157 nm exposure wavelength.
摘要翻译： 提供对于约150nm至165nm的UV波长具有高度透明性的液体全氟正烷烃，以及可获得高透明度的方法。 液体全氟正烷烃可用于光耦合剂，光学粘合剂，光学元件，用于半导体晶片和器件的光学检测介质以及157nm曝光波长的浸没光刻。
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6.发明授权Polymer-liquid compositions useful in ultraviolet and vacuum ultraviolet uses 失效用于紫外线和真空紫外线用途的聚合物 - 液体组合物公开(公告)号：US07129009B2
公开(公告)日：2006-10-31
申请号：US10474280
申请日：2002-05-14
CPC分类号： C08K5/02 , C08K5/06 , C08L27/12 , C08L2205/02 , Y10T428/31935 , C08L2666/04
摘要： This invention relates to a fluoropolymer nanocomposite comprising a fluoropolymer phase and an inorganic oxide phase dispersed throughout, said inorganic oxide phase having either no particles or particles substantially all of which have a particle size of less than about 75 nm which can be determined by small angle x-ray scattering and transmission electron microscopy techniques. These nanocomposites are useful as protective coatings.
摘要翻译： 本发明涉及含氟聚合物相和分散在整个无机氧化物相中的含氟聚合物纳米复合材料，所述无机氧化物相具有基本上不具有小于约75nm的粒径的颗粒或颗粒，其可以通过小角度 x射线散射和透射电子显微镜技术。 这些纳米复合材料可用作保护涂层。
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7.发明授权公开(公告)号：US07589242B2
公开(公告)日：2009-09-15
申请号：US11141285
申请日：2005-09-14
IPC分类号： C10M105/02 , G03C1/00
CPC分类号： G03F7/2041
摘要： The present invention is drawn to the use of alkanes that are highly transparent to UV wavelengths ranging from about 170 nm to 260 nm in optical couplants, optical cements, optical elements, optical inspection media for semiconductor wafers and devices, and immersion photolithography, particularly at 193 and 248 nm exposure wavelength.
摘要翻译： 本发明涉及在光耦合剂，光学胶粘剂，光学元件，用于半导体晶片和器件的光学检查介质以及浸没式光刻技术中使用对从约170nm至260nm范围内的UV波长高度透明的烷烃，特别是在 193和248 nm的曝光波长。
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8.发明授权Use of partially fluorinated polymers in applications requiring transparency in the ultraviolet and vacuum ultraviolet 失效在需要紫外线和真空紫外线透明度的应用中使用部分氟化聚合物公开(公告)号：US07438995B2
公开(公告)日：2008-10-21
申请号：US10475245
申请日：2002-05-14
IPC分类号： G03F7/20 , C08F12/20 , C08F14/18 , C08F114/18
CPC分类号： G03F1/62 , G03F7/0046
摘要： Disclosed are partially fluorinated and fully fluorinated polymers that are substantially transparent to ultraviolet radiation at wavelengths from approximately 150 nanometer to 260 nanometers.
摘要翻译： 公开了部分氟化和完全氟化的聚合物，其对于大约150纳米至260纳米波长的紫外线辐射基本上是透明的。
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公开(公告)号：US06872503B2
公开(公告)日：2005-03-29
申请号：US10257901
申请日：2001-05-04
申请人： Robert Clayton Wheland , Roger Harquail French , Frank Leonard Schadt, III , Frederick C. Zumsteg, Jr.
发明人： Robert Clayton Wheland , Roger Harquail French , Frank Leonard Schadt, III , Frederick C. Zumsteg, Jr.
IPC分类号： C08F8/00 , C08F214/18 , C08F220/10 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03C1/492
CPC分类号： C08F214/186 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/0382 , G03F7/0392
摘要： Fluoroolefin/acid group or protected acid group-containing copolymers for photoresist compositions and microlithography methods employing the photoresist compositions are described. These copolymer compositions comprise 1) at least one fluoroolefin, preferably hexafluoroisobutylene, and 2) an acid group or a protected acid group (e.g., a t-alkyl ester, preferably a t-butyl ester), which together impart high ultraviolet (UV) transparency and developability in basic media to these materials. The materials of this invention have high UV transparency, particularly at short wavelengths, e.g., 157 nm and 193 nm, which makes them useful for lithography at these short wavelengths.
摘要翻译： 描述了用于光致抗蚀剂组合物的氟烯烃/酸基或被保护的含酸基的共聚物和使用光致抗蚀剂组合物的微光刻方法。 这些共聚物组合物包含1）至少一种氟代烯烃，优选六氟异丁烯，以及2）酸性基团或被保护的酸基团（例如，叔烷基酯，优选叔丁基酯），它们共同赋予高紫外（UV） 这些材料的基本媒体的透明度和可开发性。 本发明的材料具有高的UV透明度，特别是在短波长，例如157nm和193nm，这使得它们可用于在这些短波长处的光刻。
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10.发明授权Ultraviolet and vacuum ultraviolet transparent polymer compositions and their uses 失效紫外线和真空紫外线透明聚合物组合物及其用途公开(公告)号：US06824930B1
公开(公告)日：2004-11-30
申请号：US10130445
申请日：2002-05-15
IPC分类号： G03F900
CPC分类号： G03F1/62 , C08F214/18 , G03F7/0046 , G03F7/091
摘要： Disclosed are partially fluorinated and fully fluorinated polymers that are substantially transparent to ultraviolet radiation at wavelengths from 140 to 186 nanometers.
摘要翻译： 公开了部分氟化和完全氟化的聚合物，其对于140-186纳米波长的紫外线辐射基本上是透明的。
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