公开(公告)号：US20120213685A1

公开(公告)日：2012-08-23

申请号：US13459624

申请日：2012-04-30

申请人： Ryusuke MORITA ,  Takuya NAKAGAWA ,  Kei IWATA ,  Masaaki TAKATA

发明人： Ryusuke MORITA ,  Takuya NAKAGAWA ,  Kei IWATA ,  Masaaki TAKATA

IPC分类号： C01B33/12 ,  C03B20/00

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  G03F1/50 ,  G03F7/70958 ,  Y02P40/57

摘要： The present invention relates to an optical member for deep ultraviolet having a wavelength of 250 nm or shorter, containing a synthetic silica glass which does not substantially contain a halogen element, has a maximum OH group content of less than 10 ppm by weight, has contents of ODC (oxygen deficient centers) and E-prime center of each less than 1×1014 cm−3, does not substantially contain SiH and peroxy linkage, and has a fictive temperature of 1,050° C. or lower.

摘要翻译： 本发明涉及一种波长为250nm以下的深紫外线用光学构件，其含有基本上不含卤素元素的合成石英玻璃，其OH基含量的最大值小于10重量ppm，含有 的ODC（缺氧中心）和E-prime中心各自小于1×1014cm-3，基本上不含有SiH和过氧键，并且具有1050℃或更低的假想温度。