公开(公告)号：US20140057369A1

公开(公告)日：2014-02-27

申请号：US13719082

申请日：2012-12-18

Applicant: SK HYNIX INC.

Inventor： Kyu Won LEE ,  Cheol-Ho JOH ,  Ji Eun KIM ,  Hee-Min SHIN ,  Chong Ho CHO

IPC: H01L21/48

CPC classification number: H01L21/4846 ,  H01L21/4867 ,  H01L23/3178 ,  H01L23/49838 ,  H01L23/49866 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L2224/02311 ,  H01L2224/02317 ,  H01L2224/02375 ,  H01L2224/0332 ,  H01L2224/03515 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05008 ,  H01L2224/05554 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00

Abstract: Methods of forming an interconnection line pattern using a screen printing technique. The method includes preparing a substrate having unevenness, aligning a stencil mask on the substrate, and printing a paste including materials for forming the interconnection line pattern on a convex portion of the unevenness formed on the substrate.

Abstract translation: 使用丝网印刷技术形成互连线图案的方法。 该方法包括制备具有凹凸的基板，使基板上的模板掩模对准，以及在形成在基板上的凹凸的凸部上印刷包括用于形成互连线图案的材料的浆料。