公开(公告)号：US20080013222A1

公开(公告)日：2008-01-17

申请号：US11773294

申请日：2007-07-03

申请人： Shiho OKUNO ,  Yuichi Ohsawa ,  Shigeru Haneda ,  Yuzo Kamiguchi ,  Tatsuya Kishi

发明人： Shiho OKUNO ,  Yuichi Ohsawa ,  Shigeru Haneda ,  Yuzo Kamiguchi ,  Tatsuya Kishi

IPC分类号： G11B5/39

CPC分类号： H01L43/08 ,  B32B7/02 ,  B82Y10/00 ,  B82Y25/00 ,  G01R33/093 ,  G11B5/39 ,  G11B5/3929 ,  G11B2005/3996 ,  G11C11/16 ,  H01L43/12 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T428/1114 ,  Y10T428/1143 ,  Y10T428/12465 ,  Y10T428/12931 ,  Y10T428/12986 ,  Y10T428/325

摘要： A method of manufacturing a magnetoresistance effect element includes forming an insulating layer on a first ferromagnetic layer, forming an aperture reaching the first ferromagnetic layer by thrusting a needle from the top surface of the insulating layer, and depositing a ferromagnetic material to form a second ferromagnetic layer overlying the insulating layer which buries the aperture. The aperture can have an opening width not larger than 20 nm. A current flowing between the first ferromagnetic layer and the needle can be monitored, and thrusting of the needle an be interrupted when the current reaches a predetermined value.

摘要翻译： 一种制造磁阻效应元件的方法包括：在第一铁磁层上形成绝缘层，通过从绝缘层的顶表面推出针而形成到达第一铁磁层的孔，以及沉积铁磁材料以形成第二铁磁体 覆盖掩埋孔的绝缘层的层。 孔径可以具有不大于20nm的开口宽度。 可以监测在第一铁磁层和针之间流动的电流，并且当电流达到预定值时针头的推压被中断。