公开(公告)号：US20060178767A1

公开(公告)日：2006-08-10

申请号：US11051423

申请日：2005-02-04

申请人： Song-Bor Lee ,  Yu-Ching Chang ,  Shih-Chieh Liao ,  Jacky Chen ,  Joey Chen ,  Tzu-Jeng Hsu ,  Ving-Ching Lee

发明人： Song-Bor Lee ,  Yu-Ching Chang ,  Shih-Chieh Liao ,  Jacky Chen ,  Joey Chen ,  Tzu-Jeng Hsu ,  Ving-Ching Lee

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/31304 ,  G05B2219/32196 ,  G05B2219/32206 ,  G05B2219/32306 ,  G05B2219/37224 ,  G06Q10/04 ,  Y02P90/10 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/22

摘要： Dynamic sampling systems for fabrication with inspection control are provided. In embodiments of a fabrication system comprising a processing tool, inspection tool, and a controller, the processing tool performs a fabrication process on a workpiece associated with identification information. The inspection tool performs an inspection step on the workpiece. The controller, coupled to the processing and inspection tools, determines whether the processing tool corresponds to an inspection result obtained during a preset time period, and determines whether the workpiece is to be inspected by the inspection tool accordingly.

摘要翻译： 提供了具有检测控制的动态采样系统。 在包括处理工具，检查工具和控制器的制造系统的实施例中，处理工具对与识别信息相关联的工件执行制造过程。 检查工具对工件执行检查步骤。 耦合到处理和检查工具的控制器确定处理工具是否对应于在预设时间段期间获得的检查结果，并且相应地确定工件是否被检验工具检查。