公开(公告)号：US09214589B2

公开(公告)日：2015-12-15

申请号：US13256979

申请日：2010-03-15

申请人： Stephan Voser ,  Oliver Rattunde ,  Martin Dubs ,  Gerald Feistritzer ,  Volker Wuestenhagen ,  Gerhard Dovids

发明人： Stephan Voser ,  Oliver Rattunde ,  Martin Dubs ,  Gerald Feistritzer ,  Volker Wuestenhagen ,  Gerhard Dovids

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L21/67

CPC分类号： H01L31/18 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67207

摘要： Throughput of manufacturing thin-film solar panels by inline technique is made substantially independent from the time extent of different surface treatment steps by accordingly subdividing treatment steps in sub-steps performed in inline subsequent treatment stations. Treatment duration in each of the subsequent treatment stations is equal(τ).

摘要翻译： 通过在线技术制造薄膜太阳能电池板的生产能力通过相应地在后续处理站中执行的子步骤中分开处理步骤而与不同表面处理步骤的时间范围基本上独立。 每个后续治疗站的治疗持续时间相等（τ）。

公开(公告)号：US20120009730A1

公开(公告)日：2012-01-12

申请号：US13256979

申请日：2010-03-15

申请人： Stephan Voser ,  Oliver Rattunde ,  Martin Dubs ,  Gerald Feistritzer ,  Volker Wuestenhagen ,  Gerhard Dovids

发明人： Stephan Voser ,  Oliver Rattunde ,  Martin Dubs ,  Gerald Feistritzer ,  Volker Wuestenhagen ,  Gerhard Dovids

IPC分类号： H01L31/18

CPC分类号： H01L31/18 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67207

摘要： Throughput of manufacturing thin-film solar panels by inline technique is made substantially independent from the time extent of different surface treatment steps by accordingly subdividing treatment steps in sub-steps performed in inline subsequent treatment stations. Treatment duration in each of the subsequent treatment stations is equal (τ).

摘要翻译： 通过在线技术制造薄膜太阳能电池板的生产能力通过相应地在后续处理站中执行的子步骤中分开处理步骤而与不同的表面处理步骤的时间范围基本上独立。 每个后续治疗站的治疗持续时间相等（τ）。