公开(公告)号：US20110266709A1

公开(公告)日：2011-11-03

申请号：US13087519

申请日：2011-04-15

申请人： Tae-Joon SONG ,  Dhang KWON ,  Hang-Sup CHO ,  Seong-Pil CHO ,  Ho Su KIM ,  Doo-Hee JANG

发明人： Tae-Joon SONG ,  Dhang KWON ,  Hang-Sup CHO ,  Seong-Pil CHO ,  Ho Su KIM ,  Doo-Hee JANG

IPC分类号： B28B11/08

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10T156/1132 ,  Y10T156/1944

摘要： Disclosed are an apparatus and method for fabricating a flat panel display device to realize easy separation of a substrate from an imprinting mold. The apparatus includes an imprinting mold connected to a substrate to form a thin film pattern on the substrate, a first adsorption pad to vacuum-adsorb the center of the imprinting mold, a second adsorption pad to vacuum-adsorb the periphery of the imprinting mold, and a connector connected to vacuum pins to vertically move in different regions of the first and second adsorption pads.

摘要翻译： 公开了一种用于制造平板显示装置的装置和方法，以实现基板与压印模具的容易分离。 该装置包括：与基板连接以在基板上形成薄膜图案的压印模，用于真空吸附压印模的中心的第一吸附垫;第二吸附垫，用于真空吸附压印模的周边; 以及连接到真空管脚以在第一和第二吸附垫的不同区域垂直移动的连接器。