公开(公告)号：US20150124263A1

公开(公告)日：2015-05-07

申请号：US14399956

申请日：2013-05-08

申请人： Tapani Antila ,  Jussi Mäkynen ,  Christer Holmlund ,  Jarkko Antila ,  Jyrki Ollila ,  Heikki Saari

发明人： Tapani Antila ,  Jussi Mäkynen ,  Christer Holmlund ,  Jarkko Antila ,  Jyrki Ollila ,  Heikki Saari

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G02B26/001 ,  G01B9/02 ,  G01B2290/25 ,  G01J3/26 ,  Y10T29/49826

摘要： The invention relates to a Fabry-Perot interferometer and a method for producing the same. More specifically, the invention relates to Fabry-Perot interferometers which are controllable with one or several actuators, such as piezoelectric, electrostrictive or flexoelectric actuators. In prior art technology there is a problem to achieve a sufficiently small and uniform gap between mirrors. In the present invention an intermediate structure (85a, 85b, 95a, 95b, 81a, 81b, 91a, 91b, 98a, 98b) is used between a mirror and an actuator or between two mirrors. The method of production also includes measuring the width distribution of the gap in several phases, and providing pre-actuation of actuators.

摘要翻译： 本发明涉及一种法布里 - 珀罗干涉仪及其制造方法。 更具体地，本发明涉及可由一个或多个致动器（例如压电，电致伸缩或柔性电致动器）控制的法布里 - 珀罗干涉仪。 在现有技术中，存在在镜子之间实现足够小且均匀的间隙的问题。 在本发明中，在反射镜和致动器之间或两个反射镜之间使用中间结构（85a，85b，95a，95b，81a，81b，91a，91b，98a，98b）。 生产方法还包括在几个阶段测量间隙的宽度分布，并提供致动器的预致动。