公开(公告)号：US6013355A

公开(公告)日：2000-01-11

申请号：US774731

申请日：1996-12-30

申请人： William Tze-You Chen ,  Douglas Howard Strope ,  Natalie Barbara Feilchenfeld ,  Yifan Guo ,  George Dean Ogden

发明人： William Tze-You Chen ,  Douglas Howard Strope ,  Natalie Barbara Feilchenfeld ,  Yifan Guo ,  George Dean Ogden

IPC分类号： B32B7/02 ,  H01L21/66 ,  H05K3/00 ,  H05K3/46 ,  B32B3/00 ,  H01L23/29

CPC分类号： H05K3/4638 ,  B32B7/02 ,  H01L22/12 ,  H05K3/0008 ,  Y10T428/24917 ,  Y10T428/24926

摘要： Registration of the layers in a multilayer electronic device is tested and measured by X-ray moire interferometry.

摘要翻译： 通过X射线莫尔干涉法测试和测量多层电子器件中的层的配准。