公开(公告)号：US20090040487A1

公开(公告)日：2009-02-12

申请号：US12247597

申请日：2008-10-08

申请人： Wolfgang Hummel ,  Juergen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schongart ,  Markus Neumaier ,  Barbel Trossbach ,  Ulrich Weber ,  Michael Muehlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

发明人： Wolfgang Hummel ,  Juergen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schongart ,  Markus Neumaier ,  Barbel Trossbach ,  Ulrich Weber ,  Michael Muehlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

IPC分类号： G03B27/42

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G03F7/70825

摘要： An imaging device in a projection exposure machine for microlithography has at least one optical element and at least one manipulator, having a linear drive, for manipulating the position of the optical element. The linear drive has a driven subregion and a nondriven subregion, which are movable relative to one another in the direction of a movement axis. The subregions are interconnected at least temporarily via functional elements with an active axis and via functional elements with an active direction at least approximately parallel to the movement axis.

摘要翻译： 用于微光刻的投影曝光机中的成像装置具有至少一个光学元件和至少一个具有线性驱动的操纵器，用于操纵光学元件的位置。 线性驱动器具有驱动区域和非驱动子区域，它们可以在运动轴线的方向上相对于彼此移动。 至少临时地通过具有主动轴的功能元件和通过至少大致平行于运动轴的有源方向的功能元件临时地互相连接。

公开(公告)号：US20080174757A1

公开(公告)日：2008-07-24

申请号：US11936768

申请日：2007-11-07

申请人： Wolfgang Hummel ,  Jurgen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schongart ,  Markus Neumaier ,  Barbel Trossbach ,  Ulrich Weber ,  Michael Muhlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

发明人： Wolfgang Hummel ,  Jurgen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schongart ,  Markus Neumaier ,  Barbel Trossbach ,  Ulrich Weber ,  Michael Muhlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

IPC分类号： G03B27/54

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G03F7/70825

摘要： An imaging device in a projection exposure machine for microlithography has at least one optical element and at least one manipulator, having a linear drive, for manipulating the position of the optical element. The linear drive has a driven subregion and a nondriven subregion, which are movable relative to one another in the direction of a movement axis. The subregions are interconnected at least temporarily via functional elements with an active axis and via functional elements with an active direction at least approximately parallel to the movement axis.

摘要翻译： 用于微光刻的投影曝光机中的成像装置具有至少一个光学元件和至少一个具有线性驱动的操纵器，用于操纵光学元件的位置。 线性驱动器具有驱动区域和非驱动子区域，它们可以在运动轴线的方向上相对于彼此移动。 至少临时地通过具有主动轴的功能元件和通过至少大致平行于运动轴的有源方向的功能元件临时地互相连接。