公开(公告)号：US20060076965A1

公开(公告)日：2006-04-13

申请号：US11147437

申请日：2005-06-08

申请人： Young-Soo An ,  Hun-Kyo Seo ,  Hyun-Seop Shim ,  Jeong-Seon Kim ,  Ki-Don Hong ,  Tcherniak Valeri

发明人： Young-Soo An ,  Hun-Kyo Seo ,  Hyun-Seop Shim ,  Jeong-Seon Kim ,  Ki-Don Hong ,  Tcherniak Valeri

IPC分类号： G01R31/305

CPC分类号： G01R31/307

摘要： The present invention provides a contact-free test system for testing a semiconductor device. The contact-free test system comprises a test signal member applying a test signal to the semiconductor device, an electronic beam radiator generating a first electronic beam and radiating it to an area of the semiconductor device, a detector to detect a second electronic beam reflected from the semiconductor device, and a comparator to compare the test signal with the second electronic beam.

摘要翻译： 本发明提供了一种用于测试半导体器件的无接触测试系统。 无接触测试系统包括向半导体器件施加测试信号的测试信号部件，产生第一电子束并将其辐射到半导体器件的区域的电子束辐射器，检测器，用于检测从半导体器件反射的第二电子束 半导体器件和比较器，用于将测试信号与第二电子束进行比较。