公开(公告)号：US20110300718A1

公开(公告)日：2011-12-08

申请号：US12977437

申请日：2010-12-23

申请人： Yushan YAN ,  Junlan Wang ,  Yan Liu ,  Rui Cai

发明人： Yushan YAN ,  Junlan Wang ,  Yan Liu ,  Rui Cai

IPC分类号： H01L21/31 ,  C01B39/00

CPC分类号： H01L21/02282 ,  B01D67/0041 ,  B01D67/0083 ,  B01D71/028 ,  B01D2323/08 ,  B01D2325/26 ,  C01B39/14 ,  C01B39/32 ,  C01B39/48 ,  H01L21/02145 ,  H01L21/02203

摘要： An on-wafer crystallization method of spin-coating a silicon wafer with a low-k dielectric zeolite material which includes the steps of forming a synthesis solution; generating a nucleated precursor solution; spin-coating the nucleated precursor onto a substrate as a precursor film; and annealing the precursor film into a zeolite film.

摘要翻译： 一种使用低k介电沸石材料旋涂硅晶片的在晶片上结晶方法，其包括形成合成溶液的步骤; 产生成核前体溶液; 将有核的前体旋涂到作为前体膜的基底上; 并将前体膜退火成沸石膜。

公开(公告)号：US20110097570A1

公开(公告)日：2011-04-28

申请号：US12914854

申请日：2010-10-28

申请人： Yushan Yan ,  Junlan Wang ,  Gabriel Chow

发明人： Yushan Yan ,  Junlan Wang ,  Gabriel Chow

IPC分类号： B32B15/04 ,  B32B3/26 ,  B32B5/00 ,  B05D1/18 ,  B05D3/02

CPC分类号： C23C24/00 ,  C23C24/08 ,  Y10T428/249969 ,  Y10T428/26 ,  Y10T428/31663

摘要： The present invention provides a wear and/or corrosion-resistant zeolite coating for protection of the surface of a substrate of a metal.

摘要翻译： 本发明提供一种耐磨和/或耐腐蚀的沸石涂层，用于保护金属基材的表面。