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1.发明授权Surface dielectric barrier discharge plasma unit and a method of generating a surface plasma 有权表面电介质势垒放电等离子体单元和产生表面等离子体的方法公开(公告)号：US09131595B2
公开(公告)日：2015-09-08
申请号：US12521473
申请日：2007-12-28
CPC分类号： H05H1/2406 , H05H2001/245
摘要： The invention relates to a surface dielectric barrier discharge plasma unit. The unit comprises a solid dielectric structure provided with an interior space wherein an interior electrode is arranged. Further, the unit comprises a further electrode for generating in concert with the interior electrode a surface dielectric barrier discharge plasma. The unit is also provided with a gas flow path along a surface of the structure.
摘要翻译： 本发明涉及一种表面电介质势垒放电等离子体单元。 该单元包括设置有内部空间的固体电介质结构，其中布置有内部电极。 此外，该单元包括用于与内部电极一起产生表面电介质势垒放电等离子体的另一电极。 该单元还设置有沿着结构的表面的气体流动路径。
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公开(公告)号：US20110287193A1
公开(公告)日：2011-11-24
申请号：US13125789
申请日：2009-10-22
IPC分类号： C23C16/509 , H05H1/24
CPC分类号： H01J37/3244 , B05D1/62 , C23C16/50 , C23C16/545 , D06M10/025 , H01J37/32348 , H05H1/2406 , H05H2001/2418 , H05H2001/2437
摘要： The invention relates to an apparatus for treating an object using a plasma process. The apparatus comprises a supporting structure for supporting the object, and an electrode structure for generating the plasma process. Further, the apparatus comprises multiple gas flow paths for separately flowing materials towards the object. In addition, downstream sections of at least two gas flow paths of the multiple gas flow paths substantially coincide.
摘要翻译： 本发明涉及一种使用等离子体工艺处理物体的装置。 该装置包括用于支撑物体的支撑结构和用于产生等离子体处理的电极结构。 此外，该装置包括用于将材料分开地朝向物体流动的多个气体流动路径。 此外，多个气体流动路径的至少两个气体流动路径的下游部分基本上重合。
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3.发明申请A SURFACE DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE PLASMA UNIT AND A METHOD OF GENERATING A SURFACE PLASMA 有权表面电介质放电等离子体单元和产生表面等离子体的方法公开(公告)号：US20100175987A1
公开(公告)日：2010-07-15
申请号：US12521473
申请日：2007-12-28
CPC分类号： H05H1/2406 , H05H2001/245
摘要： The invention relates to a surface dielectric barrier discharge plasma unit. The unit comprises a solid dielectric structure provided with an interior space wherein an interior electrode is arranged. Further, the unit comprises a further electrode for generating in concert with the interior electrode a surface dielectric barrier discharge plasma. The unit is also provided with a gas flow path along a surface of the structure.
摘要翻译： 本发明涉及一种表面电介质势垒放电等离子体单元。 该单元包括设置有内部空间的固体电介质结构，其中布置有内部电极。 此外，该单元包括用于与内部电极一起产生表面电介质势垒放电等离子体的另一电极。 该单元还设置有沿着结构的表面的气体流动路径。
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