公开(公告)号：US07114693B1

公开(公告)日：2006-10-03

申请号：US09676362

申请日：2000-09-29

申请人： Donald J. K. Olgado ,  Timothy J. Franklin ,  Avi Tepman

发明人： Donald J. K. Olgado ,  Timothy J. Franklin ,  Avi Tepman

IPC分类号： F16M13/00

CPC分类号： H01L21/67126 ,  C25D7/12 ,  G05B2219/40351 ,  G05B2219/41457 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68707 ,  H05K3/241

摘要： A stable platform supports a cell, the stable platform comprises a lower mainframe, an upper mainframe, and a dampener system. The upper mainframe includes a plurality of recesses. Each recess is configured to receive a cell. The dampener system connects the lower mainframe to the upper mainframe. In one embodiment, the dampener system comprises a dampener element, such as sand, to dampen vibrations between the lower mainframe and the lower mainframe.

摘要翻译： 稳定的平台支持电池，稳定的平台包括下主机，上主机和减振器系统。 上主机包括多个凹槽。 每个凹槽被配置成接收单元。 阻尼器系统将下主机连接到上主机。 在一个实施例中，阻尼器系统包括阻尼器元件，例如沙子，以阻尼下主机和下主机之间的振动。

公开(公告)号：US06571657B1

公开(公告)日：2003-06-03

申请号：US09664607

申请日：2000-09-18

申请人： Donald J. Olgado ,  Avi Tepman ,  Timothy J. Franklin

发明人： Donald J. Olgado ,  Avi Tepman ,  Timothy J. Franklin

IPC分类号： B25J1700

CPC分类号： H01L21/67126 ,  B25J9/1638 ,  C25D7/12 ,  G05B2219/40351 ,  G05B2219/41457 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68707 ,  H05K3/241 ,  Y10T74/20311

摘要： The present invention provides an apparatus and associated method in which the apparatus comprises a multiple blade robot and a compensating device. The multiple blade robot includes at least one set of robot blades. The compensating device adjusts for differences in spacing between the set of robot blades and spacing between two or more cells. In different embodiments, the compensating device may be coupled to one or more of the process cells, one or more of the substrate holder systems, or one or more of the robot blades.

摘要翻译： 本发明提供了一种装置和相关联的方法，其中该装置包括多叶片机器人和补偿装置。 多刀片机器人包括至少一组机器人刀片。 补偿装置调节机器人刀片组之间的间距和两个或更多个单元之间的间隔的差异。 在不同的实施例中，补偿装置可以耦合到一个或多个处理单元，一个或多个基板保持器系统或一个或多个机器人叶片。