公开(公告)号：US07083992B2

公开(公告)日：2006-08-01

申请号：US10944842

申请日：2004-09-21

申请人： Shinichi Ogawa ,  Yasuhide Inoue ,  Junichi Shimanuki ,  Hirotaro Mori

发明人： Shinichi Ogawa ,  Yasuhide Inoue ,  Junichi Shimanuki ,  Hirotaro Mori

IPC分类号： G01L21/66

CPC分类号： G01N23/04 ,  G01N2223/102 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/262

摘要： A method for observing defects in an amorphous material by transmission electron microscopy. The method generates an incident electron beam into the amorphous material, eliminates a generated diffraction wave to form an image only by a transmission wave coming through the amorphous material, and observes the image under an under-focus condition.

摘要翻译： 通过透射电子显微镜观察无定形材料中的缺陷的方法。 该方法产生入非晶材料中的入射电子束，消除所产生的衍射波，仅通过非晶材料的透射波形成图像，并在未聚焦条件下观察图像。

公开(公告)号：US07257494B2

公开(公告)日：2007-08-14

申请号：US11126471

申请日：2005-05-11

申请人： William T. Conner ,  Craig Garvin ,  Steven J. Lakeman ,  Igor Tepermeister ,  Chenglong Yang

发明人： William T. Conner ,  Craig Garvin ,  Steven J. Lakeman ,  Igor Tepermeister ,  Chenglong Yang

IPC分类号： G06F19/00 ,  G01L21/66

CPC分类号： H01L21/67253

摘要： A method of monitoring a microelectronic manufacturing process includes the implementation of a monitoring sensor that is configured to operate in an inter-process mode. During an inter-process mode, a first valve is opened in order to initiate transfer of a processing substrate between at least one processing chamber and a transfer chamber. The monitoring sensor is programmed to monitor the interior of the at least one processing chamber only after the first valve is opened.

摘要翻译： 监测微电子制造过程的方法包括实施监控传感器，其被配置为在处理间模式下操作。 在处理间模式期间，打开第一阀以启动处理基板在至少一个处理室和转移室之间的转移。 监控传感器被编程为仅在第一阀打开之后监视至少一个处理室的内部。