公开(公告)号：WO2021082055A1

公开(公告)日：2021-05-06

申请号：PCT/CN2019/116570

申请日：2019-11-08

Applicant: 潍坊歌尔微电子有限公司

Inventor： 游振江 ,  林育菁

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/02 ,  H04R19/04 ,  B01D46/54

Abstract: 一种制造MEMS传感器组件的方法，包括：提供滤膜(104)，其包括将缓冲材料涂覆在基板(100)的覆盖有热释放粘合剂层(106)的一面，以在热释放粘合剂层(106)上形成缓冲层(102)，将滤膜材料沉积在缓冲层(102)上以形成滤膜(104)；对基板(100)加热，从而使得缓冲层(102)与滤膜(104)一起在热释放粘合剂层(106)的作用下被推离基板(100)；从滤膜(104)上除去缓冲层(102)；提供MEMS传感器，MEMS传感器上具有开口并且能够经由该开口进行感测；将滤膜(104)结合到MEMS传感器上，使得滤膜(104)覆盖开口。该方法使滤膜(104)在制造过程中受到物理损坏的风险降低。

公开(公告)号：WO2021078564A1

公开(公告)日：2021-04-29

申请号：PCT/EP2020/078617

申请日：2020-10-12

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： BECKER, Volker ,  LAERMER, Franz ,  PANTEL, Daniel

IPC: B81C1/00 ,  B81B3/00

Abstract: Bei einem Verfahren zum Erzeugen von hydrophilen Oberflächen oder Oberflächenbereichen auf einer oder mehreren Siliziumoberflächen eines Trägers (100) wird durch Erhitzung einer wässrigen Wasserstoffperoxidlösung (11) eine Dampfphase (15) von Wasserstoffperoxid in einem Reaktor (10) erzeugt. Der Träger (100) mit der oder den zu behandelnden Siliziumoberflächen wird der Dampfphase (15) ausgesetzt, wodurch eine Hydrophilisierung der Siliziumoberflächen erreicht wird.

公开(公告)号：WO2021078487A1

公开(公告)日：2021-04-29

申请号：PCT/EP2020/077493

申请日：2020-10-01

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： SCHATZ, Frank ,  GRUTZECK, Helmut ,  STRAUB, Rainer ,  SCHARY, Timo ,  TANGUEP NJIOKEP, Eugene Moliere ,  PINTER, Stefan ,  BAADER, Johannes

IPC: B81B3/00 ,  G02B26/08

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Mikromechanisches Schwingungssystem (40a), welches beispielsweise als Mikrospiegelanordnung ausgebildet ist. Das mikromechanische Schwingungssystem (40a) umfasst einen mikromechanischen Schwingkörper (10a) mit wenigstens einem Mikrospiegel (1a). Der mikromechanische Schwingkörper (10a) ist in diesem Zusammenhang dazu ausgebildet, um eine Schwingungsachse (100), insbesondere mit einer Resonanzfrequenz des Schwingkörpers (10a), zu schwingen. Der mikromechanische Schwingkörper (10a) weist eine Gesamtmasse m, bestehend aus Masseelementen mi (17a, 17b), auf. Die Masseelemente (17a, 17b) mi sind in Abhängigkeit einer lateralen, horizontalen Beabstandung (29a, 29b) der Masseelemente (17a, 17b) mi zu der Schwingungsachse (100) verteilt.

公开(公告)号：WO2021076719A1

公开(公告)日：2021-04-22

申请号：PCT/US2020/055721

申请日：2020-10-15

Applicant: TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED ,  TEXAS INSTRUMENTS JAPAN LIMITED

Inventor： HALL, James ,  BARTLETT, Terry, Alan ,  MCDONALD, William, Craig

IPC: G02B26/08 ,  B81B7/04

Abstract: Described examples include apparatus having a driving electrode 506 on a substrate. The apparatus has a platform 504 suspended above the driving electrode and conductively coupled to a platform electrode 512, where the platform is configured to move in a direction perpendicular to a surface of the substrate in response to a voltage difference applied between the driving electrode and the platform electrode. The apparatus also has a mirror post 508 on the platform. The apparatus has a mirror 510 coupled to the platform by the mirror post 508, where the mirror is rectangular.

公开(公告)号：WO2021049996A1

公开(公告)日：2021-03-18

申请号：PCT/SE2020/050852

申请日：2020-09-10

Applicant: RIBET, Federico ,  WANG, Xiaojing ,  ROXHED, Niclas ,  STEMME, Göran ,  NIKLAUS, Frank

Inventor： RIBET, Federico ,  WANG, Xiaojing ,  ROXHED, Niclas ,  STEMME, Göran ,  NIKLAUS, Frank

IPC: H01L21/60 ,  H01L23/49 ,  B81B7/00

Abstract: Wire boding of an electrically conducting wire (221) to a contact pad (216) of a microchip (210, 510) having an edge surface (213) comprising an edge surface opening (214, 514) corresponding to a trench (215) in at least one of opposite major surfaces (211) of the microchip. Said contact pad being located on one of said major surfaces in a proximity of said trench. Said electrically conducting wire having a ball bonding end with a ball part. Said ball part (222, 522) is inserted into said edge surface opening (214), thereby electrically connecting said electrically conducting wire (221) to said contact pad (216).

公开(公告)号：WO2021049397A1

公开(公告)日：2021-03-18

申请号：PCT/JP2020/033335

申请日：2020-09-02

Applicant: 浜松ホトニクス株式会社

Inventor： 河岡　秀宜 ,  藁科　禎久 ,  北浦　隆介 ,  鈴木　大幾

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  G02B26/08 ,  H02K33/18

Abstract: 光走査システムは、ミラーデバイスと、磁石と、温度センサと、演算部と、を備える。演算部は、第１目的振れ角及び第１目的周波数、第２目的振れ角及び第２目的周波数、使用温度、第１駆動用コイル及び第２駆動用コイルのそれぞれに入力される電流信号の周波数の変化に対するミラーの振れ角の変化を補正するための第１データ、第１軸を中心軸として揺動するミラーのＹ軸からのずれ及び第２軸を中心軸として揺動するミラーのＸ軸からのずれの少なくとも一方を補正するための第２データ、並びに、使用温度の変化に対するミラーの振れ角の変化を補正するための第３データに基づいて、第１電流信号及び第２電流信号を生成する。

公开(公告)号：WO2021046745A1

公开(公告)日：2021-03-18

申请号：PCT/CN2019/105324

申请日：2019-09-11

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 程春 ,  陈鹏程 ,  石润 ,  梁宇星 ,  王伟军 ,  申楠 ,  甘翊辰 ,  孔德俊 ,  王子旭 ,  赵娅萱

IPC: B81C1/00 ,  B81B3/00 ,  B82Y30/00

Abstract: 一种双层薄膜驱动器及其制备方法和用途，所述驱动器包括碳纳米管薄膜及位于其表面的二氧化钒纳米线阵列；所述二氧化钒纳米线的长度＞200μm；所述二氧化钒纳米线间的夹角≤10°，所述双层薄膜驱动器的结构达到厘米级，且具有良好的驱动性能、各项异性和可加工性。

公开(公告)号：WO2021043084A1

公开(公告)日：2021-03-11

申请号：PCT/CN2020/112201

申请日：2020-08-28

Applicant: 深圳市中光工业技术研究院

Inventor： 李啟光

IPC: H05B33/04 ,  B81B7/00 ,  B81C3/00

Abstract: 一种微机电系统装置的封装系统(10)，包括第一基片(101)和第二基片(102)，还包括设置于第一基片与第二基片之间的密封结构，第一基片、第二基片与密封结构围成一封闭空间，微机电系统装置的功能元件(130)设置于第一基片和/或第二基片上，且功能元件位于封闭空间内，密封结构包括间隔件组(110)和粘合剂(120)，间隔件组包括至少两个间隔件单元，每个间隔件单元与第一基片和第二基片之一直接连接，且间隔件单元与第一基片和第二基片的另一个通过粘合剂间接连接。封装系统简化了工艺，提高了密封性，此外还提高了结构的可靠性。还包括封装系统对应的加工方法。

公开(公告)号：WO2021023856A1

公开(公告)日：2021-02-11

申请号：PCT/EP2020/072228

申请日：2020-08-07

Applicant: SCHOTT AG

Inventor： ZETTERER, Thomas ,  HETTLER, Robert ,  MÄÄTTÄNEN, Antti ,  THOMAS, Jens Ulrich ,  ONEZAWA, Yutaka ,  GINDELE, Frank

IPC: B81B7/00 ,  B23K26/20

Abstract: Es wird eine hermetisch verschlossene Umhäusung vorgestellt, die bevorzugt ein glasartiges Material umfasst. Die Umhäusung umfasst ein wärmeabführendes Basissubstrat zur Abfuhr von Wärme aus der hermetisch verschlossenen Umhäusung und eine Kappe. Ferner weist die Umhäusung zumindest einen von der Umhäusung hermetisch verschlossenen Funktionsbereich, insbesondere eine Kavität, auf. Die Kappe ist auf dem Basissubstrat angeordnet, wobei die Kappe mit dem Basissubstrat zusammen zumindest einen Teil der Umhäusung bildet. Ferner umfasst die Umhäusung zumindest eine Laserbondlinie zum hermetisch dichten Fügen der Umhäusung, wobei die Laserbondlinie eine Höhe HL senkrecht zu seiner Verbindungsebene aufweist.

公开(公告)号：WO2021021771A1

公开(公告)日：2021-02-04

申请号：PCT/US2020/043808

申请日：2020-07-28

Applicant: TEXAS TECH UNIVERSITY SYSTEM

Inventor： VANAPALLI, Siva ,  KAMYABI, Nabiollah ,  PORE, Adity ,  AHMED, Shamim ,  BITHI, Swastika, S.

IPC: B01L3/00 ,  B81B1/00 ,  C12M1/34 ,  C12M23/16 ,  C12Q1/02 ,  G01N33/48

Abstract: The present invention includes a device and a method of using the device, wherein the device is a microfluidic device for single or multicell capture comprising: a substrate; one or more microgrooves or microtubes disposed within the substrate, each microgroove or microtube having a first end and a second end, wherein a width of the microgroove or microtube is a diameter of a target cell or a group of cells, wherein the microgroove or microtube comprises one or more chambers; a fluid input disposed within the substrate in fluid communication with the first end of the one or more microgrooves or microtube; and a fluid output disposed within the substrate in fluid communication with the second end of the one or more microgrooves or microtube, or the one or more chambers, wherein one or more cells that are captured in the microgroove can be analyzed as a single cell.