摘要:
Die Erfindung betrifft eine Substratscheibe (100), die ein erstes Bauelement (104) und ein zweites Bauelement (106) aufweist, wobei das erste Bauelement (104) und das zweite Bauelement (106) benachbart zueinander angeordnet sind und über einen Verbindungsabschnitt miteinander verbunden sind. Weiterhin weist die Substratscheibe (100) eine wellenartige Sollbruchstellenstruktur (112) auf, die in dem Verbindungsabschnitt ausgeformt ist und eine Sollbruchstelle (114) zum Trennen des ersten Bauelements (104) von dem zweiten Bauelement (106) ausformt.
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Die Erfindung betrifft ein Rastelement (100), das ausgebildet ist, um mittels eines Laserdurchstrahlschweißverfahrens mit einem Aufnahmeelement (102) stoffschlüssig gefügt zu werden. Das Rastelement (100) weist zumindest einen Rasthaken (106) auf, der ausgebildet ist, um in eine Raststufe (120) des Aufnahmeelements (102) einzurasten, um unter Bildung eines Formschlusses zwischen dem Rastelement (100) und dem Aufnahmeelement (102) die Fügefläche (104) des Rastelements (100) mit einer quer zu der Fügefläche (104) wirkenden vordefinierten Anpresskraft an eine Aufnahmefläche (116) des Aufnahmeelements (102) anzupressen.
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Es wird ein Verfahren (100) zum Aufbereiten einer Zielzellen und Begleitzellen enthaltenden Probe biologischen Materials zum Extrahieren von Nukleinsäuren der Zielzellen vorgeschlagen. Das Verfahren(100) weist einen Schritt (110) des Akkumulierens der Zielzellen der Probe durch Abtrennen der Zielzellen oder der Begleitzellen aus der Probe auf. Auch weist das Verfahren (100) einen Schritt (120) des Aufschließens der Zielzellen durch chemische und/oder physikalische Lyse auf, um ein die Nukleinsäuren der Zielzellen enthaltendes Zielzellen-Lysat zu erzeugen. Ferner weist das Verfahren (100) einen Schritt (130) des Aufreinigens der Nukleinsäuren aus dem Zielzellen-Lysat auf, um die Nukleinsäuren der Zielzellen zu extrahieren.
摘要:
Es wird ein Verfahren (100) zum Aufbereiten einer Zielzellen und Begleitzellen enthaltenden Probe biologischen Materials zum Extrahieren von Nukleinsäuren der Zielzellen vorgeschlagen. Das Verfahren (100) weist einen Schritt (110) des Akkumulierens der Zielzellen der Probe durch Abtrennen der Zielzellen oder der Begleitzellen aus der Probe auf. Auch weist das Verfahren(100) einen Schritt (120) des Aufschließens der Zielzellen durch chemische und/oder physikalische Lyse auf, um ein die Nukleinsäuren der Zielzellen enthaltendes Zielzellen-Lysat zu erzeugen. Ferner weist das Verfahren (100) einen Schritt (130) des Aufreinigens der Nukleinsäuren aus dem Zielzellen-Lysat auf, um die Nukleinsäuren der Zielzellen zu extrahieren.
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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Maskieren einer Oberfläche, insbesondere einer Oberfläche aufweisend Siliziumoxid, Aluminium oder Silizium, aufweisend die Verfahrensschritte: a) Bereitstellen eines Substrats mit einer zu maskierenden Oberfläche, insbesondere mit einer Oberfläche aufweisend Siliziumoxid, Aluminium oder Silizium; und b) Erzeugen eines definierten Maskierungsmusters unter örtlich selektivem Ausbilden von kolloidalem Siliziumoxid auf der Oberfläche Das vorbeschriebene Verfahren erlaubt es, auf einfache und kostengünstige Weise eine gegenüber einer Vielzahl von Ätzmedien, wie insbesondere gegenüber Flusssäure, äußerst stabile Maskierung zu schaffen, um so höchst genaue und definierte Strukturen etwa durch einen Ätzvorgang zu schaffen. Die vorliegende Erfindung betrifft ferner ein elektronisches Bauteil sowie das Verwenden von kolloidalem Siliziumoxid zum örtlich selektiven Maskieren einer zu behandelnden Oberfläche.
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Es werden ein Bauelement mit einer stabilen aber akustisch empfindlichen Mikrofonstruktur vorgeschlagen sowie und ein einfaches und kostengünstiges Verfahren zu dessen Herstellung. Dieses Mikrofonbauelement umfasst eine akustisch aktive Membran (11), die als auslenkbare Elektrode eines Mikrofonkondensators fungiert, ein feststehendes akustisch durchlässiges Gegenelement (12), das als Gegenelektrode des Mikrofonkondensators fungiert, und Mittel zum Erfassen und Auswerten der Kapazitätsänderungen des Mikrofonkondensators. Die Membran (11) ist in einer Membranschicht (3) über dem Halbleitersubstrat (1) des Bauelements realisiert und überspannt eine Schallöffnung (13) in der Substratrückseite. Das Gegenelement (12) ist in einer weiteren Schicht (5) über der Membran (11) ausgebildet. Erfindungsgemäß erstreckt sich diese weitere Schicht (5) im wesentlichen über die gesamte Bauelementfläche und gleicht Niveauunterschiede aus, so dass die gesamte Bauelementoberfläche entsprechend dieser weiteren Schicht (5) weitgehend eben ist. Dadurch kann eine Folie auf den Schichtaufbau der im Waferverbund freigelegten Mikrofonstrukturen aufgebracht werden, die die Vereinzelung der erfindungsgemäßen Bauelemente in einem Standard-Sägeprozess ermöglicht.
摘要:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung mindestens eines mechanisch-elektrischen Energiewandlersystems aus mehreren Einzelteilen, sowie ein mechanisch-elektrisches Energiewandlersystem. Gemäß dem Verfahren werden mehrere verschiedene Einzelteile (2,3,4,15,22,40,41,42) in einer Montagevorrichtung (10, 30) positioniert und in der Montagevorrichtung (10, 30) in den Einzelteilen zugeordneten Fügebereichen (18, 24a, 24b) zusammengefügt, wobei die Einzelteile mindestens ein piezoelektrisches Element (2), eine Trägerstruktur (3), und eine seismische Masse (4) umfassen.
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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung poröser Mikrostrukturen (8, 8') in einem Si-Halbleitersubstrat (1), nach diesem Verfahren hergestellte poröse Mikrostrukturen (8, 8') sowie deren Verwendung.
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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen Strukturen mit reliefartigem Seitenwandverlauf oder einstellbarem Neigungswinkel, wobei man die mikromechanischen Strukturen aus einer auf einem Silizium-Halbleitersubstrat (1, 10) vorhandenen oder abgeschiedenen SiGe-Mischhalbleiterschicht (3a, 3b, 30, 30a, 30b, 50) durch trockenchemisches Ätzen der SiGe-Mischhalbleiterschicht (3 a, 3b, 30, 30a, 30b, 50) herausätzt, wobei man den Seitenwandverlauf der mikromechanischen Struktur durch Variieren des Germaniumanteils in der zu ätzenden SiGe-Mischhalbleiterschicht (3 a, 3b, 30, 30a, 30b, 50) ausbildet, wobei in stärker zu ätzenden Bereichen ein höherer Germaniumanteil vorliegt, wobei man die Variation des Germaniumanteils in der SiGe- Mischhalbleiterschicht (3a, 3b, 30, 30a, 30b, 50) durch ein Verfahren ausgewählt aus der Gruppe umfassend Abscheiden einer SiGe-Mischhalbleiterschicht (3a, 3b, 30, 30a, 30b, 50) mit variierendem Germaniumgehalt, Einbringen von Germanium in eine Silizium- Halbleiterschicht oder SiGe-Mischhalbleiterschicht (3a, 3b, 30, 30a, 30b, 50), Einbringen von Silizium in eine Germaniumschicht oder SiGe-Mischhalbleiterschicht (3a, 3b, 30, 30a, 30b, 50) und/oder durch thermische Oxidation einer SiGe-Mischhalbleiterschicht (3a, 3b, 30, 30a, 30b, 50) einstellt.
摘要:
Verfahren zur Zustandserkennung eines Fahrzeugreifens (2) und/oder einer Fahrbahn (8), wobei mindestens ein im Reifeninneren (10) angeordneter Sensor (3), insbesondere ein Beschleunigungssensor, ein Signal erzeugt, das physikalischen Größen des Fahrzeugreifens (2) und/oder der Fahrbahn (8) zugeordnet ist. Anhand des Signals wird ein Reifenzustand und/oder Eigenschaften der Fahrbahn (8) ermittelt.