公开(公告)号：WO2010147313A3

公开(公告)日：2010-12-23

申请号：PCT/KR2010/003314

申请日：2010-05-26

Applicant: 주식회사 코미코 ,  김원묵

Inventor： 김원묵

IPC: H05K3/46

Abstract: 캐비티를 갖는 다층 세라믹 기판의 제조 방법은 각각 다수 매의 미소결 세라믹 그린 시트를 가압하여 제1 및 제2 미소결 시트스택을 개별 형성하는 1차 가압단계와, 제2 미소결 시트스택에 홀(hole)을 형성하는 단계와, 제1 미소결 시트스택 상에 홀이 형성된 제2 미소결 시트스택을 배치하여 예비 제3 미소결 시트스택을 형성하는 단계와, 예비 제3 미소결 시트스택의 상면 및 하면에 각각 실링용 제1 박막 필름 및 제2 박막 필름을 배치하는 단계와, 제1 및 제2 박막 필름과 예비 제3 미소결 시트스택을 가압하여 제3 미소결 시트스택을 형성하는 2차 가압 단계, 그리고 제3 미소결 시트스택을 소결하는 단계를 포함한다. 따라서 캐비티의 형상에 구애받지 않고 평판형 몰드를 통해 다수 매의 세라믹 그린 시트를 적층할 수 있어 제조 공정을 간소화하고 안정적으로 수행할 수 있다.

公开(公告)号：WO2010027211A2

公开(公告)日：2010-03-11

申请号：PCT/KR2009/005011

申请日：2009-09-04

Applicant: 주식회사 코미코 ,  재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원 ,  황철호 ,  김형인 ,  서준호

Inventor： 황철호 ,  김형인 ,  서준호

IPC: B05D1/02

CPC classification number: B01J2/18

Abstract: 개시된 코팅 방법 및 장치는 진동에 의해 30 내지 5,000㎚의 평균 입경을 갖는 분말을 응집시켜 상기 분말을 1 내지 20㎛의 평균 입경을 갖는 그레뉼로 형성하고, 회전에 의해 상기 그레뉼을 파쇄시켜 상기 그레뉼을 30 내지 5,000㎚의 평균 입경을 갖는 코팅용 분말로 형성한 후, 상기 코팅용 분말을 용사재로 사용하는 대기 플라즈마 용사 코팅 공정을 수행하여 모재를 코팅시킨다.

Abstract translation: 本发明涉及涂布方法和涂布装置，其通过振动使平均粒径为30〜5000nm的粉末凝固，从而将粉末形成为平均粒径为1〜20μm的颗粒，粉碎颗粒 通过旋转将颗粒形成平均粒径为30至5000nm的涂层粉末，并使用涂覆粉末作为喷涂材料涂覆基材进行大气等离子体喷涂。

公开(公告)号：WO2013062245A2

公开(公告)日：2013-05-02

申请号：PCT/KR2012/007811

申请日：2012-09-27

Applicant: 주식회사 코미코 ,  최성호 ,  한기문 ,  임종식 ,  박광연

Inventor： 최성호 ,  한기문 ,  임종식 ,  박광연

IPC: H01M8/02 ,  C04B38/02

CPC classification number: C04B38/02 ,  C04B35/532 ,  C04B38/0022 ,  C04B2111/00853 ,  C04B2235/422 ,  C04B2235/424 ,  C04B2235/425 ,  C04B2235/48 ,  H01M8/1226 ,  H01M8/124 ,  H01M8/1286 ,  H01M2008/1293 ,  Y02P70/56 ,  C04B35/52 ,  C04B38/0054

Abstract: 고체산화물 연료전지용 지지체를 제조하는 방법이 개시된다. 고체산화물 연료전지용 지지체를 제조하기 위하여, 우선, 수용성 결합제를 용매에 용해시켜 결합용액을 형성하고, 지지체 원료 분말을 형성할 수 있다. 이어서, 상기 결합용액과 상기 지지체 원료 분말을 혼합하여 성형용 페이스트를 형성할 수 있다. 그 후, 상기 성형용 페이스트를 성형하여 지지체를 형성할 수 있다.

Abstract translation: 公开了制造用于固体氧化物燃料电池的载体的方法。 为了制备固体氧化物燃料电池的载体，首先，将水溶性粘合剂溶解在溶剂中以形成粘合溶液，并且可以形成载体原料粉末。 接下来，可以将粘结溶液和载体材料粉末混合以形成模塑膏。 然后，成型膏可以模制成支撑。

公开(公告)号：WO2012011703A2

公开(公告)日：2012-01-26

申请号：PCT/KR2011/005260

申请日：2011-07-18

Applicant: 주식회사 코미코 ,  최정덕 ,  육현미 ,  최진식 ,  박창현

Inventor： 최정덕 ,  육현미 ,  최진식 ,  박창현

IPC: H01H59/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/014 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/019

Abstract: 멤스 스위치 및 이의 제조방법에 있어서, 멤스 스위치는 기판과, 기판 상에 형성된 제1 단자와, 기판 상에 형성되고 제1 단자와 간격을 두고 위치한 제2 단자와, 제2 단자 상에 형성되는 도전성 지지대와, 지지대에 캔틸레버(cantilever) 형태로 연결되고 기판과 평행한 방향으로 연장되어 일 단부가 제1 단자의 상방에 위치하며 외부의 충격에 의한 휘어짐으로 제1 단자와 접촉하는 도전성 구동빔을 포함한다. 이에, 초소형 사이즈의 스위치 형성이 가능하고, 안정적인 스위치 동작이 가능하다.

Abstract translation: 和

MEMS开关，和在其制备中，MEMS开关形成在第一端子和形成在基板和基板位于距离的第二端子的第一端子上的基板上， 形成在第二端子上的导电支撑件，连接到支撑件并在平行于基板的方向上延伸的悬臂，一端位于第一端子上方， 在这个实施例中， 因此，可以形成非常小尺寸的开关并且可以进行稳定的开关操作。

公开(公告)号：WO2011021824A2

公开(公告)日：2011-02-24

申请号：PCT/KR2010/005408

申请日：2010-08-17

Applicant: 주식회사 코미코 ,  성진일 ,  예경환 ,  오치원 ,  유충렬

Inventor： 성진일 ,  예경환 ,  오치원 ,  유충렬

IPC: H01L21/687

CPC classification number: H01L21/6833

Abstract: 정전척은 베이스 기재와, 베이스 기재 상에 형성된 비정질의 제1 절연층과, 제1 절연층 상에 형성된 정전기력 발생용 전극층과, 전극층 상에 형성된 유전층을 포함한다. 따라서, 정전척은 누설 전류에 의한 아킹 발생을 억제하고 전기적 특성 및 내구성이 향상된다.

Abstract translation: 该静电吸盘包括基础基底，形成在基础基底上的非晶形第一绝缘层，形成在第一绝缘层上的静电力产生电极层以及形成在电极层上的电介质层。 因此，静电卡盘抑制了由漏电流引起的电弧放电的发生，并改善了电特性和耐用性。

公开(公告)号：WO2009091214A2

公开(公告)日：2009-07-23

申请号：PCT/KR2009/000247

申请日：2009-01-16

Applicant: 주식회사 코미코 ,  이범술 ,  채제호 ,  이성민

Inventor： 이범술 ,  채제호 ,  이성민

IPC: H01L21/205

CPC classification number: H01L21/67103 ,  C23C16/4586

Abstract: 기판 지지 장치는 기판을 지지하는 상부 플레이트와, 상부 플레이트의 하부에 위치하는 하부 플레이트와, 상부 플레이트와 하부 플레이트 사이에 개재되는 절연 부재와, 상부 플레이트와 절연 부재 사이에 개재되고, 상부 플레이트에 놓여지는 기판으로 플라즈마를 집중시키기 위한 전극, 그리고 절연 부재와 하부 플레이트 사이에 개재되고, 상부 플레이트에 의해 지지된 기판을 가열하는 히터를 포함한다. 여기서, 절연 부재는 히터와 전극 사이의 누설 전류가 감소되도록 400℃ 내지 800℃의 온도에서 106Ω㎝ 이상의 체적 저항을 갖는 물질을 포함한다.

Abstract translation: 基板支撑设备包括用于支撑基板的上板，位于上板的下部的下板，介于上板和下板之间的绝缘构件， 加热器介于绝缘构件和下板之间并加热由上板支撑的基板。 这里，绝缘构件包括在400℃至800℃的温度下具有不小于10 6Ωcm的体积电阻率的材料，使得加热器和电极之间的泄漏电流减小。

公开(公告)号：WO2013062239A1

公开(公告)日：2013-05-02

申请号：PCT/KR2012/007502

申请日：2012-09-19

Applicant: 주식회사 코미코 ,  한국 세라믹 기술원

Inventor： 박종훈 ,  최진식 ,  이성민 ,  최관영

IPC: C04B35/52 ,  C04B35/64

CPC classification number: C04B35/505 ,  B82Y30/00 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/422 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/5454 ,  C04B2235/77

Abstract: 내플라즈마성 요소는 이트륨산화물 및 약 1㎚ 내지 약 200㎚ 정도의 평균 입자 크기를 갖는 나노 카본을 포함하는 소결체로 구성될 수 있다. 이트륨산화물 분말과 약 1㎚ 내지 약 200㎚의 평균 입자 크기를 갖는 나노 카본 분말을 용매와 혼합하여 액상 혼합물로 형성하고, 스프레이 드라이어를 사용하여 상기 액상 혼합물을 구형 분말 혼합물로 형성한 후, 핫 프레스를 사용하여 상기 구형 분말 혼합물로부터 소결체를 형성하여 상기 내플라즈마성 요소를 수득할 수 있다.

Abstract translation: 耐等离子体元件可以由包含平均粒度为约1nm至200nm的氧化钇和纳米碳的烧结体组成。 耐等离子体元件是通过用溶剂混合氧化钇粉末和平均粒度约为1nm至200nm的纳米碳粉末来形成液体混合物，通过使用喷雾干燥器将液体混合物形成球形粉末混合物 ，并通过热压从球形粉末混合物形成烧结体。

公开(公告)号：WO2013012210A2

公开(公告)日：2013-01-24

申请号：PCT/KR2012/005570

申请日：2012-07-13

Applicant: 주식회사 코미코 ,  윤성희 ,  정관호 ,  김호숙 ,  김세령

Inventor： 윤성희 ,  정관호 ,  김호숙 ,  김세령

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/673 ,  H01L31/18 ,  H01L21/205 ,  C23C16/458

CPC classification number: H01L21/67333 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 기판 적재용 트레이는 몸체, 가이드부 등을 포함할 수 있다. 상기 몸체는 기판들이 적재되는 제1 면을 구비하는 평판 구조를 가질 수 있으며, 탄소-탄소 복합 재료로 구성될 수 있다. 상기 가이드부는 상기 기판들이 각기 소정의 위치들에 적재되도록 상기 몸체 상으로 상기 기판들을 가이딩할 수 있다. 태양 전지용 기판들 상에 박막들을 형성할 경우, 상기 기판 적재용 트레이는 플라즈마 분위기 하의 고온 공정에서도 물리적 특성을 안정적으로 유지할 수 있을 뿐만 아니라 보다 많은 숫자의 기판들을 적재할 수 있는 큰 면적으로 구현될 수 있다.

Abstract translation: 基板装载托盘可以包括主体，引导部分等。 主体可以具有扁平结构，其具有第一表面，基板安装在第一表面上，并且可以由碳 - 碳复合材料形成。 引导部分可以将基板引导到主体上，使得基板被装载在预定位置处。 当在太阳能电池基板上形成薄膜时，即使在等离子体气氛下的高温工艺中，用于保持基板的托盘也可以稳定地保持物理特性，并且可以在能够装载大量基板的大面积

公开(公告)号：WO2011149174A1

公开(公告)日：2011-12-01

申请号：PCT/KR2010/009426

申请日：2010-12-28

Applicant: 주식회사 코미코 ,  최성호 ,  한기문 ,  김종완

Inventor： 최성호 ,  한기문 ,  김종완

IPC: H01M8/12 ,  H01M8/02 ,  H01M8/24

CPC classification number: H01M8/243 ,  H01M8/0252 ,  H01M8/1231 ,  H01M8/2465

Abstract: 고체산화물 연료전지 적층 구조물은 복수의 평관형 단전지들 및 연결재를 포함한다. 복수의 평관형 단전지들 각각은 지지부, 제1 전지부 및 제2 전지부를 포함한다. 지지부는 유로를 구비한다. 제1 전지부는 지지부의 하부에 배치된 제1 연료극, 제1 연료극 하부에 배치된 제1 전해질 및 제1 전해질 하부에 배치된 제1 공기극을 구비한다. 제2 전지부는 지지부의 상부에 배치되고 제1 연료극과 이격된 제2 연료극, 제2 연료극 상에 배치된 제2 전해질 및 제2 전해질 상에 배치되고 제1 공기극과 이격된 제2 공기극을 구비한다. 연결재는 평관형 단전지들의 제1 전지부들과 상기 제2 전지부들을 전기적으로 연결한다. 이러한 고체산화물 연료전지 적층 구조물에 따르면, 고밀도의 전류 또는 고전압을 생성할 수 있다.

Abstract translation: 用于固体氧化物燃料电池的层压结构包括多个扁平管状端电池和连接件。 多个扁平管状端电池中的每一个包括支撑部分，第一电池部分和第二电池部分。 支撑部分设置有流体通道。 第一单元部分在支撑部分的下部设置有第一燃料电极，在第一燃料电极的下部具有第一电解质，在第一电解质的下部设置有第一空气电极。 第二单元部分设置在支撑部分的上部，并且设置有与第一燃料电极间隔开的第二燃料电极，第二燃料电极上的第二电解质和设置在第二电解质上的第二空气电极， 与第一空气电极间隔开。 连接构件电连接管状端电池的第一电池部分和第二电池部分。 用于固体氧化物燃料电池的层压结构可以产生高密度电流或高电压。

公开(公告)号：WO2010030102A2

公开(公告)日：2010-03-18

申请号：PCT/KR2009/005070

申请日：2009-09-08

Applicant: 주식회사 코미코 ,  최진식 ,  최정덕

Inventor： 최진식 ,  최정덕

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H02N13/00

Abstract: 열응력을 흡수하는 버퍼층을 포함하는 정전 척이 개시된다. 정전 척은 관통 홀을 구비하는 바디부, 상기 바디부의 상부에 배치되고 상기 관통 홀에 대응하는 삽입 홀 및 상기 삽입 홀을 통하여 부분적으로 노출되는 전극을 포함하여 상기 전극의 정전기력에 의해 대상체를 고정하는 기저부, 상기 관통 홀 및 삽입 홀을 통하여 상기 전극과 연결되는 접속단자를 구비하는 단자부 및 상기 접속단자와 상기 바디부 및 상기 기저부의 적어도 하나와의 경계면에 배치되어 상기 바디부의 열응력을 흡수할 수 있는 버퍼층을 포함한다. 본 발명에 따르면, 정전 척에 포함되는 버퍼층에 의해 열응력이 흡수됨으로써 열응력으로 인한 크랙 발생이 최소화되고 이에 따라 정전 척의 수명이 연장된다.

Abstract translation: 公开了一种静电卡盘，其包括缓冲层以吸收热应力。 静电吸盘包括：具有横向孔的主体; 基板，其设置在所述主体的上侧，并且包括对应于所述横向孔的插入孔，以及通过所述插入孔部分地露出的电极层，以固定由所述电极层的静电能量保持的物体; 端子单元，具有通过所述横向孔和所述插入孔与所述电极层连接的接触端子; 以及缓冲层，设置在所述接触端子，所述主体和所述基板之间的至少一个边界处，以便能够吸收来自所述主体的热应力。 根据本发明，静电卡盘的缓冲层吸收热应力，从而使由于热应力引起的裂纹最小化并延长卡盘的使用寿命。