公开(公告)号：WO2022106239A1

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：PCT/EP2021/080923

申请日：2021-11-08

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： BRAUER, Ingo ,  WENZEL, Karl ,  LANG, Tobias ,  MUELLER, Renate

IPC: G01N27/18 ,  G01L9/00

Abstract: Es wird ein Sensor (10) zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines fluiden Mediums (12) in mindestens einem Messraum (14) vorgeschlagen. Der Sensor (10) umfasst ein Sensorelement (18) mit mindestens einer beheizbaren Membran (20) und einer elektrischen Messbrücke (48). Die Membran (20) ist mit der elektrischen Messbrücke (48) verbunden. Der Sensor (10) ist weiterhin zur Erfassung eines elektrischen Widerstands der Messbrücke (48) ausgebildet. Der Sensor (10) ist weiterhin zur Erfassung eines Drucks des fluiden Mediums (12) basierend auf dem erfassten elektrischen Widerstand der elektrischen Messbrücke (48) ausgebildet.

公开(公告)号：WO2022102234A1

公开(公告)日：2022-05-19

申请号：PCT/JP2021/033359

申请日：2021-09-10

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 吉田　義浩

IPC: G01L9/00 ,  G01L19/14 ,  H01L29/84

Abstract: 嵌装されたＯリングの抜けを防止することができる半導体装置を提供する。本発明に係る半導体装置１０は、ベース基板１２上に実装され、圧力を検出する検出部１６ｄを備える検出素子１６と、ベース基板１２上に設けられ、検出素子１６が埋設された基部２３と、基部２３から上方へ突出し、検出部１６ｄを上方へ露出させる露出穴２２ａを有する突出部２４と、突出部２４の上面２４ｂに支持されて露出穴２２ａを塞ぐ蓋部材２６とを備える。蓋部材２６の外周部２６ａは、平面視において突出部２４より外側へ延出している。蓋部材２６は、外側面２６ｃに開口されたスリット２７を備える。スリット２７は、露出穴２２ａを半導体装置１０の側方から外部に連通させる。

公开(公告)号：WO2022099254A1

公开(公告)日：2022-05-12

申请号：PCT/US2021/072184

申请日：2021-11-02

Applicant: SCOTT, Nara Gasparian ,  SCOTT, David ,  SCOTT, Emilie

Inventor： SCOTT, Nara Gasparian ,  SCOTT, David ,  SCOTT, Emilie

IPC: G01M3/32 ,  G01M3/38 ,  G01L9/00

Abstract: A system for monitoring pressure within a volume defined by a wall has a housing and a manometer coupled to the housing having fluid therein. The manometer is coupled to the volume and has a fluid level corresponding to a pressure within the volume. A pressure sensor is coupled to the housing and is coupled to volume. The pressure sensor generates a pressure signal corresponding to the pressure within the volume. A controller is coupled to the pressure sensor and is programmed to compare the pressure signal to a threshold and programmed to generate an indicator based on comparing.

公开(公告)号：WO2022097578A1

公开(公告)日：2022-05-12

申请号：PCT/JP2021/040075

申请日：2021-10-29

Applicant: 株式会社デンソー

Inventor： 城森　知也 ,  阿部　竜一郎 ,  小林　太輔 ,  樋口　貴史 ,  早川　裕 ,  酒井　峰一 ,  馬渡　和明 ,  小山　友二 ,  田中　昌明

IPC: H01L41/113 ,  G01L9/00 ,  G01L9/08 ,  H01L41/04 ,  H01L41/047 ,  H01L41/053 ,  H01L41/187 ,  H01L41/313 ,  H01L41/332 ,  H04R17/02

Abstract: 複数の振動領域（２２）は、互いの振動領域（２２）の間がスリット（４１）で分離され、スリット（４１）は、振動領域（２２）における支持体（１０）側と反対側の一面（２２ａ）側から当該一面（２２ａ）と反対側の他面（２２ｂ）側に向かって幅が狭くなるテーパ部（４２）が構成される状態で形成されるようにする。電極膜（６０）は、一面（２２ａ）に対する法線方向において、スリット（４１）よりも内側に配置されるようにし、振動領域（２２）におけるテーパ部（４２）を構成する側面（２２ｃ）と、一面（２２ａ）と平行な面（２２ｂ、Ｓｖ）との成す角度（θ１）が３９～８１°となるようにする。

公开(公告)号：WO2022096214A1

公开(公告)日：2022-05-12

申请号：PCT/EP2021/077535

申请日：2021-10-06

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： SCHMOLLNGRUBER, Peter ,  FRIEDRICH, Thomas ,  MACH, Sophielouise ,  WEBER, Heribert ,  FRITZ, Joachim ,  SCHEURLE, Andreas

IPC: G01L9/00 ,  B81C1/00

Abstract: Mikromechanisches Bauelement (100), aufweisend: - eine Membran (10); wobei - die Membran (10) im Bereich mindestens einer Ankerstruktur (13) und/oder im Bereich mindestens einer Verbindungsstruktur (14) wenigstens eine geometrisch definiert ausgebildete Verstärkungsstruktur (20) aufweist, mittels derer die Membran (10) definiert verstärkt ist.

公开(公告)号：WO2022087645A1

公开(公告)日：2022-05-05

申请号：PCT/AT2021/060398

申请日：2021-10-28

Applicant: SENSIDEON GMBH

Inventor： FACHBERGER, René

IPC: G01D5/48 ,  G01K11/26 ,  G01L1/16 ,  G01L9/00 ,  G01D3/036

Abstract: Es wird ein Verfahren zum Bestimmen des Auslesewertes eines SAW-Sensors, wobei mehrere Auslesesignale gesendet, die zugehörigen Antwortsignale (1, 4) erfasst und ein Antwortsignalmittelwert (8) gebildet wird, und wobei Amplitudenextremwertpositionen der Antwortsignale (1, 4) bestimmt werden, beschrieben. Um ein Verfahren der eingangs geschilderten Art so auszugestalten, dass eine zuverlässige Bestimmung der Auslesewerte mehrerer schnell gegenüber der Ausleseeinheit bewegten SAW-Sensoren ermöglicht wird, wird vorgeschlagen, dass für jedes Antwortsignal (1, 4) aus wenigstens einer Amplitudenextremwertposition des Antwortsignals (1, 4) als Skalar ein Antwortsignalspositionsvektor (6) gebildet wird, wonach die Antwortsignale (1, 4) jener Antwortsignalspositionsvektoren (6) zu einem Antwortsignalmittelwert (8) gemittelt werden, die im von allen Antwortsignalspositionsvektoren (6) aufgespannten Vektorraum in einem vorgegebenen Abstand zueinander liegen und dass für jeden Antwortsignalmittelwert (8) ein Auslesewert (14) bestimmt wird.

公开(公告)号：WO2022050583A1

公开(公告)日：2022-03-10

申请号：PCT/KR2021/010190

申请日：2021-08-04

Applicant: 주식회사 엘지에너지솔루션

Inventor： 이기영 ,  고동완 ,  김두열

IPC: G01L17/00 ,  G01L9/00 ,  H01M10/48

Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 전지셀 압력 측정 장치는, 전지셀; 상기 전지셀의 면압을 측정하는 압력 센서; 및 상기 전지셀과 상기 압력 센서의 사이에서 상기 전지셀 및 상기 압력 센서와 접촉하도록 배치되는 제1 플레이트를 포함한다.

公开(公告)号：WO2022040597A1

公开(公告)日：2022-02-24

申请号：PCT/US2021/047010

申请日：2021-08-20

Applicant: BYONYKS MEDICAL DEVICES, INC.

Inventor： USMAN, Farrukh ,  WOLLOWITZ, Michael ,  IFTIKHAR, Naveed

IPC: A61M1/28 ,  A61M1/00 ,  A61M1/14 ,  A61M1/16 ,  G01L7/00 ,  G01L9/00

Abstract: Pressure sensors, including optical pressure sensors for automated peritoneal dialysis (APD) systems, and associated systems, devices, and methods are disclosed herein. In one embodiment, an APD system includes a diaphragm positioned over an opening in a cavity of a disposable set. The diaphragm has an outer surface and an inner surface opposite the outer surface. The diaphragm is configured to deform in response to a force applied against the diaphragm due to pressure of fluid within the cavity. The APD system further includes a pressure sensor configured to measure a pressure of the fluid within cavity. The pressure sensor includes a light source and a photosensor. The light source is configured to irradiate the outer surface of the diaphragm with light, and the photosensor is configured to measure an amount of the light that is reflected off of the outer surface of the diaphragm and directed toward the photosensor.

公开(公告)号：WO2022039596A1

公开(公告)日：2022-02-24

申请号：PCT/NL2021/050512

申请日：2021-08-18

Applicant: TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT

Inventor： VERBIEST, Gerard Jan ,  STEENEKEN, Peter Gerard ,  ABRAHAMS, Marnix ,  MARTINEZ CASTANEDA, Jorge Abraham

IPC: H04R19/00 ,  H04R17/02 ,  H04R23/00 ,  G01L9/00

Abstract: A micro-electro mechanical systems, MEMS, -based microphone (1) for detecting sound signals. The MEMS-based microphone (1) comprises a body (2), a resonator (3) and a cavity provided in the body (2), the resonator (3) covering at least a part of the cavity (7). The cavity (7) comprises a gas volume. The MEMS-based microphone (1) further comprises a venting system (10) connecting the cavity (7) to an external environment, wherein the resonator (3) is arranged to vibrate at a mechanical resonance frequency higher than a characteristic equilibration frequency, the mechanical resonance frequency being variable in response to a pressure modulation of the gas volume in the cavity (7) caused by a sound signal in the external environment during operation. The characteristic equilibration frequency is dependent on the structure parameters of the cavity (7), and is equal or larger than a maximal frequency of the sound signal to be detected.

公开(公告)号：WO2022021052A1

公开(公告)日：2022-02-03

申请号：PCT/CN2020/105125

申请日：2020-07-28

Applicant: 深圳市汇顶科技股份有限公司

Inventor： 娄迅 ,  沈健 ,  王红超

IPC: G01L9/00

Abstract: 本申请部分实施例提供了一种电容式压力传感器和电子设备。电容式压力传感器包括：衬底(101)；第一电极(103)，第一电极为含有镂空区域的环状电极，第一电极固定于衬底的上表面；第一支撑结构(104)，第一支撑结构为绝缘的空心柱体结构，第一支撑结构固定于衬底的上表面，并环绕于第一电极的周围，第一支撑结构的上表面与所述第一电极之间具有一高度差；以及第二电极(105)，所述第二电极为实心电极，所述第二电极的外围部分固接于所述第一支撑结构的上表面，并与所述第一电极、所述第一支撑结构以及所述衬底围合出第一空腔(106)。采用本申请的实施例，有利于在不增加电容式压力传感器的尺寸的同时，提高电容式压力传感器的线性度。