ドライエッチング方法、ドライエッチングガスおよびパーフルオロ−2−ぺンチンの製造方法
    22.
    发明申请
    ドライエッチング方法、ドライエッチングガスおよびパーフルオロ−2−ぺンチンの製造方法 审中-公开
    干蚀刻方法,干燥气体的干燥方法和生产全氟-2-戊烯的方法

    公开(公告)号:WO2004008515A1

    公开(公告)日:2004-01-22

    申请号:PCT/JP2003/009023

    申请日:2003-07-16

    Abstract: レジスト膜に波長が195nm以下の放射線を照射して最小線幅200nm以下のレジストパターンを形成し、次いで、エッチングガスとして少なくとも1つの不飽和結合を有する炭素数4~6のフッ素系化合物を用いて該レジストパターンをドライエッチングすることからなるドライエッチング方法。該フッ素系化合物としては、パーフルオロ−2−ペンチン、パーフルオロ−2−ブチン、ノナフルオロ−2−ペンテン、ノナフルオロ−2−ペンテンおよびパーフルオロ−2−ペンテンが好ましく用いられる。パーフルオロ−2−ペンチンは、1,1,1−トリハロ−2,2,2−トリフルオロエタンとペンタフルオロプロピオンアルデヒドを反応させて2−ハロ−1,1,1,4,4,5,5,5−オクタフルオロ−2−ペンテンとし、次いで、該2−ペンテンを脱ハロゲン化水素することにより合成される。

    Abstract translation: 一种干蚀刻方法,包括将抗蚀剂膜暴露于195nm或更小波长的辐射,以形成200nm或更小的最小线宽的抗蚀剂图案,并使用C4-C6的氟化化合物对抗蚀剂图案进行干蚀刻 具有至少一个不饱和键作为蚀刻气体。 作为含氟化合物,优选使用全氟-2-戊炔,全氟-2-丁炔,九氟-2-戊烯,全氟-2-戊烯。 全氟-2-戊炔可以通过1,1,1-三卤代-2,2,2-三氟乙烷与五氟丙烯醛反应,合成2-卤代-1,1,1,4,4,5,5,5 并从该2-戊烯中除去卤化氢。

    HETEROCYCLIC COMPOUNDS, THEIR PREPARATION AND USE
    25.
    发明申请
    HETEROCYCLIC COMPOUNDS, THEIR PREPARATION AND USE 审中-公开
    杂环化合物,其制备和使用

    公开(公告)号:WO1996015100A1

    公开(公告)日:1996-05-23

    申请号:PCT/DK1995000444

    申请日:1995-11-08

    Inventor: NOVO NORDISK A/S

    Abstract: The present invention relates to therapeutically active heterocyclic compounds of formula (I), wherein n is 0, 1 or 2; and X is -O-, -S, -N(R )- or -CH2-; and R is H, NH2, NHR or OH; and R and R independently are H, COOH; COOR , CONH2, CONHR , CON(R )2, CONHSO2R or tetrazole; and R is H, OH, NH2, NHR ; CF3, C1-8-alkyl, C2-8-alkenyl, C2-8-alkynyl, C3-6-cycloalkyl, phenyl or C1-4-alkoxy; and R is H, C1-8-alkyl, C2-8-alkenyl, C2-8-alkynyl, phenyl or C3-6-cycloalkyl; and ring A can be partly or completely saturated or aromatic, or a salt thereof with a pharmaceutically acceptable acid or base, a method of preparing the same and to pharmaceutical compositions comprising the compounds. The novel compounds are useful in treating diseases in the central nervous system related to the metabotropic glutamate receptor system.

    Abstract translation: 本发明涉及式(I)的治疗活性杂环化合物,其中n为0,1或2; 并且X是-O - , - S,-N(R 5) - 或-CH 2 - ; 并且R 1是H,NH 2,NHR 5或OH; R 2和R 3独立地为H,COOH; COOR 5,CONH 2,CONHR 5,CON(R 5)2,CONHSO 2 R 5或四唑; 且R 4为H,OH,NH 2,NHR 5; CF 3,C 1-8烷基,C 2-8 - 烯基,C 2-8 - 炔基,C 3-6 - 环烷基,苯基或C 1-4 - 烷氧基; R 5为H,C 1-8 - 烷基,C 2-8 - 烯基,C 2-8 - 炔基,苯基或C 3-6 - 环烷基; 并且环A可以是部分或完全饱和的或芳族的,或其与药学上可接受的酸或碱的盐,其制备方法和包含该化合物的药物组合物。 该新化合物可用于治疗与代谢型谷氨酸受体系统相关的中枢神经系统疾病。

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