公开(公告)号：WO99052004A1

公开(公告)日：1999-10-14

申请号：PCT/JP1999/001807

申请日：1999-04-06

IPC: G02B17/08 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G02B17/0892 ,  G02B17/08 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70241 ,  G03F7/70358 ,  G03F7/70958

Abstract: A projection exposure apparatus comprises an illumination optical system (3) for illuminating a mask (4) on which a pattern is formed and a projection optical system (7) for forming the image of the pattern on a work (8) based on radiation from the mask. The illumination optical system supplies illumination light with a center wavelength of below 180 nm, and the projection optical system has at least one concave mirror, at most 15 refraction lens, and at least 4 aspherical surfaces.

Abstract translation: 投影曝光装置包括用于照亮其上形成有图案的掩模（4）的照明光学系统（3）和用于在工件（8）上形成图案的图像的投影光学系统（7），其基于来自 面具。 照明光学系统提供具有低于180nm的中心波长的照明光，并且投影光学系统具有至少一个凹面镜，至多15个折射透镜和至少4个非球面。

公开(公告)号：WO1991018312A1

公开(公告)日：1991-11-28

申请号：PCT/US1991003226

申请日：1991-05-09

Applicant: GENERAL SIGNAL CORPORATION

Inventor： GENERAL SIGNAL CORPORATION ,  MARKLE, David, A.

IPC: G02B17/00

CPC classification number: G03F1/62 ,  G02B13/26 ,  G02B17/008 ,  G02B17/08 ,  G02B17/0892 ,  G03F1/26 ,  G03F1/52 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70283

Abstract: An optical projection system has been provided which is particularly suited for use in microlithography and includes a source of exposure energy (40) for generating a beam of energy. A primary lens (50) and mirror are located in the path of the beam for receiving the beam and passing only a portion of the beam therethrough. A refractive lens group (58) is located in the path of the portion of the beam for receiving and transmitting that portion. A reticle element (80) is located in the path of the portion of the beam and has a uniform thickness having a pattern on one surface thereof and an unpatterned portion adjacent thereto. The reticle element (80) is positioned for permitting the portion of the beam to pass through its thickness and for reflecting the portion of the beam back through its thickness and the refractive lens group (58) to primary lens and mirror (50).

Abstract translation: 已经提供了一种光学投影系统，其特别适用于微光刻，并且包括用于产生能量束的曝光能量源（40）。 主透镜（50）和反射镜位于光束的路径中，用于接收光束并且仅使一部分光束通过其中。 折射透镜组（58）位于用于接收和传输该部分的光束部分的路径中。 光栅元件（80）位于光束的部分的路径中，并且具有在其一个表面上具有图案的均匀厚度和与其相邻的未图案化部分。 光栅元件（80）被定位成允许光束的一部分穿过其厚度并且用于将光束的该部分反射回其厚度，并将折射透镜组（58）反射到主透镜和反射镜（50）。

公开(公告)号：WO2019106969A1

公开(公告)日：2019-06-06

申请号：PCT/JP2018/037793

申请日：2018-10-10

Applicant: コニカミノルタ株式会社

Inventor： 金野　賢治

IPC: G02B27/02 ,  G02B5/04 ,  G02B5/08 ,  G02B5/26 ,  G02B5/28 ,  G02B17/08 ,  H04N5/64

CPC classification number: G02B5/04 ,  G02B5/08 ,  G02B5/26 ,  G02B5/28 ,  G02B17/08 ,  G02B27/02 ,  H04N5/64

Abstract: 画像表示装置は、表示素子からの映像光と外界風景からの外界光とを同時に観察者眼に導くコンバイナーと、外界光に対して平行平面板として作用するように接合されると共に、その接合面でコンバイナー３を支持する樹脂プリズムと、を有する。接合面はプリズム凸面とプリズム凹面とからなり、コンバイナーは少なくとも１つの特定波長の光のみを選択的に反射する特性を有する誘電体多層膜からなる。誘電体多層膜は、映像光に対して凹面反射面として作用するようにプリズム凸面に蒸着により形成され、かつ、残留応力として圧縮応力を有するか、又は、誘電体多層膜が、映像光に対して凹面反射面として作用するようにプリズム凹面に蒸着により形成され、かつ、残留応力として引っ張り応力を有する。

公开(公告)号：WO2018179607A1

公开(公告)日：2018-10-04

申请号：PCT/JP2017/044305

申请日：2017-12-11

Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社

Inventor： 内田　恒夫 ,  山田　克

IPC: G02B17/08 ,  G02B13/16 ,  G02B13/18

CPC classification number: G02B13/16 ,  G02B13/18 ,  G02B17/08

Abstract: 投写光学系（１００）は、被投写面（ＳＣ）に画像を投写するために用いられ、縮小側の像面と被投写面（ＳＣ）側の像面とを共役の関係にする投写光学系であって、透過光学系（１１０）と、反射光学系（１２０）とを備える。透過光学系（１１０）は、開口絞りと、それぞれパワーを有する複数のレンズとを含む。反射光学系（１２０）は、透過光学系（１１０）からの射出光を反射する。基準光線の主光線は、被投写面（ＳＣ）の最も投写光学系（１００）側に投写される光線のうち開口絞りの中心を通る光線である。投写光学系（１００）は、縮小側の像面と共役な中間像面を透過光学系（１１０）と反射光学系（１２０）の間に有し、０．７０＜｜Ｐｅｘ｜／Ｔｌ＜４０を満足する。

公开(公告)号：WO2018042936A1

公开(公告)日：2018-03-08

申请号：PCT/JP2017/026395

申请日：2017-07-21

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 中原　基博 ,  照井　博

IPC: G02B6/26 ,  G02B6/28 ,  G02B6/32 ,  G02B13/18 ,  G02B17/08 ,  H01L31/0232

CPC classification number: G02B6/26 ,  G02B6/28 ,  G02B6/32 ,  G02B13/18 ,  G02B17/08 ,  H01L31/0232

Abstract: 本開示は、反射型のレンズ－光ファイバ結合系において、モニタ用に一部分岐された後の再び光ファイバに戻るべき光を光ファイバに効率よく結合させることを目的とする。　本開示に係る平凸レンズは、平坦面（２１）及び凸面（２３）を備える平凸レンズであって、凸面（２３）は、第１の位置（Ｐ１）及び第２の位置（Ｐ２）に端面が配置された２本の光ファイバ（１１）の端面から出射された光を平行光にする第１の非球面（Ａ１）及び第２の非球面（Ａ２）を有し、第１の非球面（Ａ１）から入射された平行光が平坦面（２１）に形成された反射面で反射された場合、第２の非球面（Ａ２）が当該平行光を第２の位置（Ｐ２）に集光する。

Abstract translation: 本公开的目的是实现一种反射式透镜 - 光纤耦合系统，其中已经被分离用于监视器并返回到光纤的一部分光被有效耦合到光纤中。 本发明的平凸透镜具有平坦面（21）和凸面（23），凸面（23）具有第一非球面（A1）和第二非球面（A2） ），其将从两根光纤（11）的端面发射的光线转换成平行光线，所述端面分别设置在第一位置（P1）和第二位置（P2）; 并且在进入第一非球面（A1）的平行光线在形成于平坦表面（21）上的反射表面上反射的情况下，第二非球面表面（A2）将平行光线聚焦在第二位置（P2）上。

公开(公告)号：WO2017126028A1

公开(公告)日：2017-07-27

申请号：PCT/JP2016/051418

申请日：2016-01-19

Applicant: 日立マクセル株式会社

Inventor： 平田　浩二 ,  谷津　雅彦 ,  松宮　有紀 ,  高治　政徳

IPC: G02B13/16 ,  G02B3/08 ,  G02B13/18 ,  G02B17/08 ,  G03B21/14

CPC classification number: G02B3/08 ,  G02B13/16 ,  G02B13/18 ,  G02B17/08 ,  G03B21/14

Abstract: 　投写距離の大幅な短縮と大画像化の要求を十分に満足させ、装置全体の小型化と製造のし易さをも実現した投写光学系を備えた投写型映像表示装置を提供する。光源と、前記光源からの光の強度を映像信号に応じて変調する映像表示素子と、前記映像表示素子からの変調された映像光を投写面に対して斜め方向から投影する複数のレンズを含む投写レンズ系を筐体内に備えた傾斜型の投写映像表示装置であって、前記投写レンズ系は、非球面のレンズ面と自由曲面のレンズ面を一体に有するレンズを備えており、当該非球面のレンズ面と自由曲面のレンズ面を一体に有するレンズは、前記投写レンズ系において光束が互いに分離する位置に配置されている投写映像表示装置。

Abstract translation: 具有投影光学系统的投影型视频完全满足大大缩短投影距离和大图像的要求，实现了整个装置的小型化和易于制造 由此提供显示装置。 一种图像显示元件，其根据视频信号来调制来自光源的光的强度，所述多个透镜将来自图像显示元件的调制图像光从相对于投影面的倾斜方向投影 一种倾斜型投影型图像显示装置，其特征在于，在壳体内具有投影透镜系统，所述投影透镜系统包括具有非球面透镜面和自由曲面的透镜面的透镜，所述非球面 其中具有与自由曲面的透镜表面整体形成的透镜表面的透镜设置在投影透镜系统中光束彼此分离的位置处。

公开(公告)号：WO2017104195A1

公开(公告)日：2017-06-22

申请号：PCT/JP2016/076995

申请日：2016-09-13

Applicant: 株式会社 東芝

Inventor： 林原　弘道 ,  大野　博司 ,  鈴木　智之 ,  高松　伴直 ,  森野　剛志

IPC: F21S2/00 ,  F21V8/00 ,  G02B5/10 ,  G02B6/00 ,  G02B17/08 ,  H01L33/00 ,  H01L33/58 ,  H01L33/60 ,  F21Y115/10

CPC classification number: F21S2/00 ,  G02B5/10 ,  G02B6/00 ,  G02B17/08 ,  H01L33/00 ,  H01L33/58 ,  H01L33/60

Abstract: 【課題】ＬＥＤの高い輝度をそのままに全方位に配光することのできる光学素子およびＬＥＤ照明装置を提供する。 【解決手段】本実施形態の光学素子は、光源に対向する入射面と、前記入射面と交わる側面と、前記入射面に対向しかつ前記側面と交わり前記入射面に向かって凸となる形状を有する窪み面と、を含む光学素子であって、前記窪み面は、前記入射面の中心部と前記窪み面の中心部とを結ぶ中心軸が通る曲面形状の第１の面と、前記第１の面に接続されるとともに前記側面に接続された第２の面と、を有し、前記第１の面は光を透過し、前記第２の面には光を反射する部材が設けられ、前記中心軸に直交する断面の外形形状が一定である。

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种光学元件和LED照明装置，其能够以不变的LED的高亮度在所有方向上分配光。 根据本实施例的光学元件具有面向光源的入射面，与入射面相交的侧面，面向入射面并与侧面交叉且向入射面凸出的形状 其中凹入表面包括具有曲面形状的第一表面，连接入射表面的中心部分和凹入表面的中央部分的中心轴穿过该第一表面， 以及第二表面，连接到所述侧表面并连接到所述侧表面，其中所述第一表面透射光，反射光的构件设置在所述第二表面上， 与中心轴正交的截面的外形是恒定的。

公开(公告)号：WO2017061263A1

公开(公告)日：2017-04-13

申请号：PCT/JP2016/077619

申请日：2016-09-20

Applicant: 富士フイルム株式会社

Inventor： 小野　修司

IPC: G02B13/00 ,  G02B7/04 ,  G02B15/16 ,  G02B17/08 ,  G03B15/00 ,  G03B19/07

CPC classification number: G02B7/04 ,  G02B13/00 ,  G02B15/16 ,  G02B17/08 ,  G03B15/00 ,  G03B19/07

Abstract: 軽量かつコンパクトで焦点深度の深いレンズ装置、撮像ユニット及び撮像装置を提供する。レンズ装置１０を構成する第１光学系２０及び第２光学系３０は、同じ光軸Ｌを有し、かつ、互いに異なる撮像特性を有する。第２光学系３０は、第１光学系２０と同軸上に配置可能な環状の光学系Ｘの一部により構成される。

Abstract translation: 提供了具有高焦距的轻巧紧凑的透镜装置，成像单元和成像装置。 配置透镜装置10的第一光学系统20和第二光学系统30具有相同的光轴L，并且具有相互不同的成像特性。 第二光学系统30由可与第一光学系统20同轴布置的环形光学系统X的一部分构成。

公开(公告)号：WO2017046901A1

公开(公告)日：2017-03-23

申请号：PCT/JP2015/076333

申请日：2015-09-16

Applicant: オリンパス株式会社

Inventor： 研野　孝吉

IPC: G02B17/08 ,  G02B13/18 ,  G03B15/00

CPC classification number: G02B13/18 ,  G02B17/08 ,  G03B15/00

Abstract: 【課題】　小型で観察画角が広く、且つ、後群を含めた光学系全体でＦ－θ特性を有する高解像な光学系及び撮像装置を提供する。 【解決手段】　光学系１は、像面Ｉｍの中心を通る単一の回転対称軸Ｃに対して回転対称な前群Ｇｆと、回転対称軸Ｃに対して回転対称な後群Ｇｂと、開口Ｏｐと、を備え、前群Ｇｆは、第１反射面Ｌｆ 1 及び第２反射面Ｌｆ 2 を有し、物体面から前群Ｇｆに入射する光束は、物体側に凸面を向けた負の屈折力を有する第１反射面Ｌｆ 1 で物体側に反射し、回転対称軸と交差しないで第２反射面Ｌｆ 2 で像側に反射する光路を形成し、後群Ｇｂと開口Ｏｐを通過し、前群Ｇｆへの入射光束は、回転対称軸Ｃを含む断面内で中間結像すること無く、像面Ｉｍの回転対称軸Ｃから離れた位置に結像し、光学系全系で、以下の条件式（１）を満足することを特徴とする。　Ｙ＝Ａ＋Ｆ×θ　（１） ただし、 Ｙは、Ｙ－Ｚ平面での回転対称軸Ｃからの距離、 Ａは、正の任意の定数、 Ｆ＝ｈ／β 0 であって、 Ｆは、光学系１の全系の焦点距離、 ｈは、光学系１の画角中心から入射する中心主光線Ｌｃと、光学系１に中心主光線Ｌｃに平行に入射する従属光線Ｌｓとの間の距離、 β 0 は、光学系１の最終面から像面に入射する中心主光線Ｌｃと従属光線Ｌｓとで形成される角度、 θは、光学系１への中心主光線Ｌｃの入射角、 である。

Abstract translation: [问题]提供：小分辨率的高分辨率光学系统，具有宽观察视角，并且对于包括后组的整个光学系统具有F-θ特性; 和图像拾取装置。 本发明的特征在于：光学系统1包括相对于穿过图像表面Im的中心的单个旋转对称轴C旋转对称的前组Gf，后组Gb 相对于旋转对称轴C旋转对称，开口Op; 前组Gf包括第一反射表面Lf1和第二反射表面Lf2; 从物体表面入射到前组Gf的光束被其凸面朝向物体侧并具有负折光力的第一反射面Lf1反射到物体侧，形成反射的光路 通过第二反射面Lf2到图像侧，而不与旋转对称轴相交，并且穿过后组Gb和开口Op; 入射到前组Gf的入射光束在与图像表面Im的旋转对称轴C分离的位置处形成图像，而不在包括旋转对称轴C的横截面内形成中间图像; 并且整个光学系统满足以下条件式（1）。 （1）：Y = A + F×θ。 在条件公式中：Y是在Y-Z平面中旋转对称轴C的距离; A是任何正常数，F = h /β0; F是整个光学系统1的焦距; h是从光学系统1的视角中心进入的中心主光线Lc与入射在光学系统1上的平行于中心主光线Lc的下级光线Ls之间的距离; β0是从入射到光学系统1的最终表面的图像表面上的中心主光线Lc和从属光线Ls形成的角度; θ是入射在光学系统1上的中心主光线Lc的入射角。

公开(公告)号：WO2016181460A1

公开(公告)日：2016-11-17

申请号：PCT/JP2015/063490

申请日：2015-05-11

Applicant: オリンパス株式会社

Inventor： 高橋　浩一

IPC: G02B27/02 ,  G02B17/08

CPC classification number: G02B17/086 ,  G02B17/08 ,  G02B27/0172 ,  G02B27/0176 ,  G02B27/02 ,  G02B2027/015 ,  G02F1/133553

Abstract: 【課題】　非常に小さく、軽量でかつ形状の自由度が高い光学素子を含み、画像周辺まで高い解像性能を有し、画像表示素子の画像を虚像として観察者眼球に投影することが可能なプリズム光学系を提供する。 【解決手段】　プリズム光学系１は、光学作用を有する少なくとも３面の光学面を有し、入射した光が少なくとも３回の内部反射をした後に射出して像を形成する光学素子１０を含み、光学素子１０は、光が入射した直後に反射する入射側反射面１２と、光が射出する直前に反射する射出側反射面１４と、光路上の入射側反射面１２と射出側反射面１４の間で反射する中間反射面１３と、を有し、原点である入射瞳中心を通り、入射瞳を形成する面に垂直な中心主光線の進行方向に沿った方向をＺ軸正方向とし、Ｚ軸と像面中心を含む平面をＹ－Ｚ平面とし、原点を通りＹ－Ｚ平面に直交する方向をＸ軸正方向とし、Ｘ軸、Ｚ軸と右手直交座標系を構成し、原点から像面中心に近づく方向に向かう軸をＹ軸とするとき、Ｘ－Ｚ平面内における中間反射面１３を含む中間領域Ａｎの厚さＴｃは、入射側反射面１２を含む入射側領域Ａｃの厚さＴｃ又は射出側反射面１４を含む射出側領域Ａｓの厚さＴｓよりも厚いことを特徴とする。

Abstract translation: [问题]提供一种棱镜光学系统，其包括非常小的光学元件，重量轻，并且在形状方面具有高度的柔性; 具有高达图像外围的高分辨率性能; 并且可以将图像从图像显示元件投影到观察者的眼睛作为虚拟图像。 [解决方案]棱镜光学系统1的特征在于具有至少三个具有光学作用的光学表面，并且通过包括光学元件10，其中入射光在形成至少三个内部反射之后离开时形成图像，所述光学元件10 具有反射光入射后的光的入射侧反射面12，反射光出射前的光的出射侧反射面14以及入射侧的反射面13， 侧面反射面12和出射侧反射面14.棱镜光学系统1的特征还在于，如果沿着中心主光路的前进方向的方向通过入射光瞳的中心，即入射光 原点，并且垂直于形成入射光瞳的表面被认为是Z轴的正方向，包含 Z轴，图像面的中心为YZ平面，穿过原点并与YZ平面正交的方向取为X轴的正方向，形成轴的方向 X轴和Z轴的右侧正交坐标系和从原点接近图像中心的方向的头被取为Y轴，中间区域A的厚度Tn包含 XZ平面中的中间反射面13大于包含入射侧反射面12的入射侧区域Ac的厚度Tc，或包含出射侧反射面14的出射侧区域As的厚度Ts 。