公开(公告)号：WO2012150877A2

公开(公告)日：2012-11-08

申请号：PCT/RU2012/000340

申请日：2012-04-28

Applicant: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИE "НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКОЙ АППАРАТУРЫ ИМ. Д.В.ЕФРЕМОВА" (ФГУП "НИИЭФА ИМ. Д.В.ЕФРЕМОВА") ,  КАРПОВДмитрий Алексеевич ,  ЛИТУНОВСКИЙВладимир Николаевич

Inventor： КАРПОВДмитрий Алексеевич ,  ЛИТУНОВСКИЙВладимир Николаевич

IPC: C23C14/22

CPC classification number: C23C14/325 ,  C21D1/08 ,  C21D1/38 ,  C21D1/74 ,  C21D1/773 ,  C23C14/54 ,  H01J37/32055 ,  H01J37/3266

Abstract: Способ относится к области пучково-плазменных технологий и основан на использовании воздействия на материал (изделие) катодных пятен вакуумного дугового разряда, возбуждаемого в условиях вакуума между анодом и катодом, которым служит обрабатываемое изделие. Способ включает загрузку материалов (изделий) в камеру, вакуумную откачку камеры, плазменную обработку материалов (изделий) и их выгрузку из камеры. Модификация поверхностных свойств материалов (изделий) осуществляется при инициации в условиях вакуума на их поверхности катодных пятен 1 и/или 2 и/или 3 типа вакуумного дугового разряда и обработкой ими модифицируемой поверхности с поверхностным переплавом. Для реализации этого режима величина давления в камере должна быть не более 1 Па, постоянное или импульсно-периодическое напряжение вакуумного дугового разряда не менее 10 В, ток вакуумного дугового разряда не менее 1 А. Возбуждение и поддержание вакуумного дугового разряда проводят в остаточном газе, либо в среде нейтрального и/или рабочего газа,а локализацию катодных пятен на обрабатываемой поверхности и управление их перемещением по поверхности осуществляют магнитным полем.

Abstract translation: 该方法涉及光束和等离子体技术的领域，并且基于对由在物品组成的阳极和阴极之间的真空中产生的真空电弧放电的阴极点的材料（物品）的影响， 被处理。 该方法包括将材料（制品）装入室中，真空泵送室，等离子体处理材料（物品）并从室中移除。 材料（制品）的表面性质被修改为类型1和/或2和/或3真空电弧放电阴极点在真空中在所述材料（制品）的表面上开始并且通过用 所述阴极点为了产生表面熔化。 为了实现这一制度，室内的压力水平不能大于1Pa，真空电弧放电的恒定或脉冲电压不得小于10V，真空电弧放电的电流不能为 小于1A。真空电弧放电被激发并保持在残留气体中或在中性和/或工作气体环境中，并且使用磁场来定位待处理的表面上的阴极点并控制 所述阴极点穿过所述表面的运动。