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公开(公告)号：WO2004102606A1
公开(公告)日：2004-11-25
申请号：PCT/JP2004/006885
申请日：2004-05-14
IPC: H01J11/02
Abstract: ガス吸着部材を備える構成のプラズマディスプレイパネルにおいて、ガス吸着作用が十分に得られ、また排気ベーキング工程において排気に支障が発生しないプラズマディスプレイパネルである。内部に放電空間（１６）を形成するように対向配置した一対の基板である前面板（２）および背面板（３）とを備え、基板の少なくとも一方は内部と連通する連通孔（１５）を有し、この連通孔（１５）の近傍にガス吸着部材（２０）を配設し、ガス吸着部材（２０）が孔部（２０ａ）を有する構成としている。
Abstract translation: 公开了一种包括气体吸附构件的等离子体显示面板，其具有足够的气体吸附功能，并且在排气烘烤步骤期间没有排气故障。 等离子体显示面板包括彼此相对布置的一对基板，即前板（2）和后板（3），从而在内部形成放电空间（16）。 至少一个基板具有与面板内部连通的连通孔（15）。 具有孔部（20a）的气体吸附构件（20）配置在连通孔（15）附近。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2004102605A1
公开(公告)日：2004-11-25
申请号：PCT/JP2004/006876
申请日：2004-05-14
IPC: H01J11/02
Abstract: 前面基板（４）上に形成した走査電極（５）および維持電極（６）を覆うように誘電体層（９）を形成し、その誘電体層（９）上に保護層（１０）を形成したプラズマディスプレイパネルであって、保護層（１０）は珪素および窒素を含む。さらに、保護層（１０）は、原子数が５×１０ １８ 個／ｃｍ ３ ～２×１０ ２１ 個／ｃｍ ３ の珪素と、原子数が１×１０ １８ 個／ｃｍ ３ ～８×１０ ２１ 個／ｃｍ ３ の窒素とを含む酸化マグネシウムである。このような構成により、放電遅れ時間が短く電圧印加に対する放電発生の優れた応答性を有するとともに、その放電遅れ時間の温度に対する変化を抑制するプラズマディスプレイパネルを提供する。
Abstract translation: 一种等离子体显示面板，包括形成为覆盖形成在前基板（4）上的扫描电极（5）和维持电极（6）的电介质层（9）和形成在电介质上的保护层（10） 公开了其中保护层（10）含有硅和氮的层（9）。 保护层（10）由含有5×10 18原子/ cm 3至2×10 21原子/ cm 3浓度的硅的氧化镁组成，浓度为1× 10 18原子/ cm 3至8×10 21原子/ cm 3。 利用这种结构，等离子体显示面板具有短的放电延迟和对施加电压的优异的放电产生响应，并且能够抑制对温度变化的放电延迟的变化。
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公开(公告)号：WO2007032302A1
公开(公告)日：2007-03-22
申请号：PCT/JP2006/317965
申请日：2006-09-11
CPC classification number: C23C14/081 , C03C17/245 , C03C2217/228 , C03C2218/152 , C23C14/0021 , C23C14/544 , C23C16/403 , C23C16/52 , C23C16/545 , H01J9/02 , H01J2211/40
Abstract: 蒸着室（２０１）において前面ガラス基板（１１）上に酸化マグネシウムの保護膜を形成する保護膜形成装置であって、酸素を蒸着室（２０１）へ導入する酸素吐出口（２２２）と、前面ガラス基板（１１）搬送方向の下流から水蒸気を蒸着室（２０１）へ導入する水蒸気吐出口（２１０）と、蒸着室（２０１）内の水素イオン強度と酸素イオン強度とを測定する質量分析器（２２４）と、質量分析器（２２４）により測定されたイオン強度によって水蒸気の導入流量を制御するマスフローコントローラ（２１５）と酸素の導入流量を制御するマスフローコントローラ（２２１）とを備えている。
Abstract translation: 公开了一种用于在沉积室（201）中的前玻璃基板（11）上形成氧化镁保护膜的保护膜形成装置。 该保护膜形成装置包括用于将氧气引入沉积室（201）的氧气排出口（222），用于将水蒸汽从下游侧引入淀积室（201）的水蒸气排出口（210） 前置玻璃基板（11）的传送方向，用于测量沉积室（201）中的氢离子强度和氧离子强度的质量分析器（224），用于控制水的引入速率的质量流量控制器（215） 基于由质量分析器（224）测量的离子强度的蒸汽和用于根据由质量分析器（224）测量的离子强度来控制氧气引入速率的质量流量控制器（221）。
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公开(公告)号：WO2004079769A1
公开(公告)日：2004-09-16
申请号：PCT/JP2004/002597
申请日：2004-03-03
IPC: H01J11/02
Abstract: 放電遅れ時間を短くして電圧印加に対する放電発生の優れた応答性を有すると同時に、その放電遅れ時間の温度に対する変化を抑制したプラズマディスプレイパネルである。前面基板（４）上に形成した走査電極（５）および維持電極（６）を覆うように誘電体層（９）を形成し、その誘電体層（９）上に保護層（１０）を形成したプラズマディスプレイパネルであって、保護層（１０）は炭素および珪素を含む。さらに、保護層（１０）は、原子数が５×１０ １８ 個／ｃｍ ３ ～２×１０ ２１ 個／ｃｍ ３ の珪素と、原子数が１×１０ １８ 個／ｃｍ ３ ～２×１０ ２１ 個／ｃｍ ３ の炭素とを含む酸化マグネシウムである。
Abstract translation: 一种等离子体显示面板，由于放电时间滞后的缩短以及随着温度的放电时间延迟的变化较小，具有通过电压施加产生放电的良好响应。 扫描电极（5）和维持电极（6）设置在前基板（4）上，形成覆盖扫描电极（5）和维持电极（6）的电介质层（9）。 在电介质层（9）上形成保护层（10）。 保护层（10）含有碳和硅。 保护层（10）包括以5×10 18至2×10 21原子/ cm 3的密度加入硅的氧化镁，并以1×10 18至2×10 21的密度加入碳， 原子/ cm <3>。
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公开(公告)号：WO2007032303A1
公开(公告)日：2007-03-22
申请号：PCT/JP2006/317966
申请日：2006-09-11
CPC classification number: C23C14/564 , C23C14/081 , C23C14/54 , H01J9/02 , H01J11/12 , H01J11/40
Abstract: 成膜室（３２）と、成膜室（３２）に少なくともガスを導入するガス導入口（４７）と、成膜室（３２）を排気する排気ポンプ（４３）と、排気ポンプ（４３）と独立して水の排気速度を制御するクライオトラップと、クライオトラップの冷却温度を制御する温度制御部を備え、クライオトラップの冷却温度を制御して水の排気速度を制御することにより、水の分圧の影響を受けやすい保護膜を常に同一条件で安定して製造し、耐スパッタ性を有した２次電子放出特性に優れた保護膜を実現する。
Abstract translation: 公开了一种用于制造保护膜的设备，其包括成膜室（32），用于将至少一种气体引入成膜室（32）中的气体供给口（47），排气泵 成膜室（32），用于独立于排气泵（43）控制水的排气速率的低温回路，以及用于控制冷冻机的冷却温度的温度控制单元。 通过控制冷冻机的冷却温度控制水的排出速度，可以在相同的条件下稳定地产生可能受到水分压影响的保护膜。 因此，可以获得具有优异的二次电子发射特性的具有溅射电阻的保护膜。
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公开(公告)号：WO2004102607A1
公开(公告)日：2004-11-25
申请号：PCT/JP2004/006881
申请日：2004-05-14
IPC: H01J17/24
Abstract: プラズマディスプレイパネル内の不純物ガスを除去し蛍光体の特性劣化を抑制して信頼性の高いプラズマディスプレイパネルを提供する。互いに平行に配置された複数の走査電極（６）および複数の維持電極（７）を有する前面板（２）と、平行に配置された複数のデータ電極（１２）および隔壁と排気孔（１５）を有する背面板（３）とを、前面板（２）の走査電極（６）および維持電極（７）と背面板（３）のデータ電極（１２）とが交差する方向に対向配置して、排気孔（１５）の近傍のプラズマディスプレイパネル（１）内部に、ゼオライトなどの非蒸発型のゲッター（１９）を配設する。
Abstract translation: 公开了一种高度可靠的等离子体显示面板，其中去除等离子体显示面板内的杂质气体，从而抑制荧光体特性的劣化。 等离子体显示面板（1）包括具有多个扫描电极（6）的前板（2）和彼此平行配置的多个维持电极（7）和具有多个数据电极 （12），分隔壁和排气孔（15）。 前板（2）和背板（3）以使得前板（2）的扫描电极（6）和维持电极（7）与数据电极（12）交叉的方式彼此相对布置， 的背板（3）。 诸如沸石的非蒸发吸气剂（19）放置在排气孔（15）附近的等离子体显示面板（1）的内部。
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