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公开(公告)号：WO2011083512A1
公开(公告)日：2011-07-14
申请号：PCT/JP2010/000069
申请日：2010-01-07
Applicant: パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社 , 吉成正樹 , 秋山周哲 , 中井淳
CPC classification number: H01J31/127 , H01J29/467
Abstract: 本発明は、集束電極層（８）を設けても、ゲート電極層（６）および集束電極層が炭素層（１１）によって導通することのない面放出型の電子放出素子（１）およびこれを備えた撮像装置を提供することを課題としている。上記の課題の解決手段として、電子放出素子は、面放出部（９）から電子を放出する電子放出層（３）と、第１絶縁体層（５）を介して電子放出層の表面に成膜されたゲート電極層と、第２絶縁体層（７）を介してゲート電極層の表面に成膜され、放出された電子を集束させる集束電極層と、集束電極層、第２絶縁体層、ゲート電極層および第１絶縁体層を貫通して、面放出部の表面に凹状に開口する放出凹部（１０）と、集束電極層の表面から放出凹部の内周面に亘って成膜された炭素層と、を備え、炭素層は、第２絶縁体層の層端が臨む放出凹部の成膜部分に、環状の不連続部（１１ａ）を有している。
Abstract translation: 公开了一种表面发射型电子发射元件（1），其中即使在其中设置聚焦电极层（8）时，栅电极层（6）和聚焦电极层也不通过碳层（11 ）。 还公开了一种具有电子发射元件的图像拾取装置。 具体公开了一种电子发射元件，其具有：用于从表面发射部分（9）发射电子的电子发射层（3）。 形成在电子发射层的表面上的第一绝缘层（5）的栅极电极层; 聚焦电极层，其形成在所述栅极电极层的表面上，其间具有第二绝缘层（7），并且聚焦发射的电子; 穿过聚焦电极层，第二绝缘层，栅极电极层和第一绝缘层的发射凹部（10），并形成到表面发射部分的表面的凹形开口; 以及从聚焦电极层的表面到发光凹部的内表面形成的碳层。 碳层在发光凹部的成膜部分具有环形不连续部分（11a），第二绝缘层的层端面朝向该环状不连续部分。
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公开(公告)号：WO2011074038A1
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：PCT/JP2009/006958
申请日：2009-12-17
Applicant: パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社 , 吉成正樹
Inventor： 吉成正樹
CPC classification number: H01J29/04 , H01J29/467 , H01J29/481 , H01J31/127 , H01J2329/4604 , H01J2329/4669
Abstract: 本発明は、集束電極層（６）を設けても、ゲート電極層（８）および集束電極層が炭素層（１１）によって導通することのない面放出型の電子放出素子（１）およびこれを備えた撮像装置を提供することを課題としている。上記の課題の解決手段として、電子放出素子に、面放出部（９）から電子を放出する電子放出層（３）と、第１絶縁体層（５）を介して電子放出層の表面に成膜され、放出された電子を集束させる集束電極層と、第２絶縁体層（７）を介して、集束電極層の表面に成膜されたゲート電極層と、ゲート電極層、第２絶縁体層、集束電極層および第１絶縁体層を貫通して、面放出部の表面に凹状に開口する放出凹部（１０）と、ゲート電極層の表面から放出凹部の内周面に亘って成膜された炭素層と、集束電極層と炭素層とを絶縁する部分絶縁部（１２ｂ）と、を備えた。
Abstract translation: 公开了一种表面发射型电子发射元件（1），其中即使在其中设置聚焦电极层（6）时，栅电极层（8）和聚焦电极层也不通过碳层（11）电连接 ）。 还公开了一种具有电子发射元件的图像拾取装置。 具体公开了一种电子发射元件，其具有：用于从表面发射部分（9）发射电子的电子发射层（3）。 在电子发射层的表面上形成有第一绝缘层（5）并聚焦发射的电子的聚焦电极层; 形成在聚焦电极层的表面上的第二绝缘层（7）的栅极电极层; 穿过所述栅电极层，所述第二绝缘层，所述聚焦电极层和所述第一绝缘层的发射凹部（10），并且在所述表面发射部分的表面上形成凹形开口; 由所述栅电极层的表面到所述排出凹部的内表面形成的碳层; 以及用于将聚焦电极层与碳层绝缘的部分绝缘部分（12b）。
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