公开(公告)号：WO2008084537A1

公开(公告)日：2008-07-17

申请号：PCT/JP2007/050214

申请日：2007-01-11

Applicant: 株式会社アドバンテスト ,  電気化学工業株式会社 ,  安田 洋 ,  原口 岳士 ,  照井 良典 ,  坂輪 盛一 ,  野々垣 良三

Inventor： 安田 洋 ,  原口 岳士 ,  照井 良典 ,  坂輪 盛一 ,  野々垣 良三

IPC: H01J37/063 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01J37/3174 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/065 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/06375

Abstract: 本願は輝度を向上した電子銃とそれを用いることにより、スループットを向上した電子ビーム露光装置に関するものである。 六ホウ化ランタン（ＬａＢ6）又は六ホウ化セリウム（ＣｅＢ6）からなる電子源（２０）と、サプレッサ電極（２４）と加速電極（２１）からなる電子銃において、前記電子源の先端部が前記サプレッサ電極と前記加速電極との間に配置され、前記電子源は、電子放出領域と電子放出制限領域を有し、前記電子放出制限領域は、前記電子源先端部の電子放出面以外の該電子源側面であって、カーボン（３０）で覆われている。前記電子源は、その先端部が直径１０μｍ～１００μｍの円柱形状からなるようにしても良く、前記電子源の先端部が前記サプレッサ電極上面から２．５ｍｍ以上突き出していて、電子源先端と加速電極との距離が５ｍｍ以下に配置されるようにしても良い。

Abstract translation: 提高亮度的电子枪，以及通过使用这种电子枪提高生产量的电子束曝光装置。 电子枪包括六硼化镧（LaB6）或六硼化铈（CeB6）的电子源（20），抑制电极（24）和加速电极（21）。 电子源的前端配置在抑制电极和加速电极之间，电子源具有电子放电区域和电子放电限制区域，其中电子放电限制区域是除电子放电面外的电子源侧面 电子源的末端并用碳（30）覆盖。 电子源可以在距离抑制电极的上表面突出2.5mm以上的远端形成具有10〜100μm的直径的柱状，并且其可以被布置成使得远端 的电子源和加速电极为5mm以下。

公开(公告)号：WO2008029731A1

公开(公告)日：2008-03-13

申请号：PCT/JP2007/067008

申请日：2007-08-31

Applicant: 電気化学工業株式会社 ,  照井 良典 ,  坂輪 盛一

Inventor： 照井 良典 ,  坂輪 盛一

IPC: H01J1/304 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J1/144 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/065 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/28

Abstract: 　本願発明の電子源は、絶縁碍子（５）に設けた一対の導電端子（４）間に張ったヘアピン型のフィラメント（３）に、電子放射部となる尖鋭化した端部を有するロッド状の陰極（１）を接合してなる電子源であって、陰極の電子放射部とは異なる端部（８）が、絶縁碍子（５）に固定されていることを特徴とする電子源である。より好ましくは、陰極の電子放射部とは異なる端部が、絶縁碍子にろう付けされた金属ピンを介して絶縁碍子に固定されている。当該構成の電子源を用いることによって、電子源を用いる装置が外部から振動を受けても、安定した電子線を与えることができる。

Abstract translation: 提供一种电子源，其通过将具有锐化端部的棒状阴极（1）接合成为电子发射部分而制成到张紧在一对导电端子（4）之间的发型灯丝（3） ）设置在绝缘体瓷（5）中。 电子源的特征在于除了电子发射部分之外的阴极的端部（8）固定在绝缘体瓷（5）中。 更优选地，除了电子发射部分之外的阴极的端部通过焊接到绝缘体瓷的金属销固定在绝缘体瓷器中。 通过使用如此构成的电子源，即使使用电子源的器件从外部振动，也能够产生稳定的电子束。

公开(公告)号：WO2007055154A1

公开(公告)日：2007-05-18

申请号：PCT/JP2006/321991

申请日：2006-11-02

Applicant: 株式会社アドバンテスト ,  電気化学工業株式会社 ,  安田 洋 ,  原口 岳士 ,  大饗 義久 ,  佐藤 高雅 ,  照井 良典 ,  坂輪 盛一 ,  野々垣 良三

Inventor： 安田 洋 ,  原口 岳士 ,  大饗 義久 ,  佐藤 高雅 ,  照井 良典 ,  坂輪 盛一 ,  野々垣 良三

IPC: H01J37/073 ,  H01J37/305 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01J37/073 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/3175

Abstract: [PROBLEMS] An electron gun capable of reducing a sublimation amount by the heat of an electron source emitting electrons, and being used constantly over a long period of time; an electron beam exposure system and an exposure method using the electron gun. [MEANS OF SOLVING PROBLEMS] An electron gun (101) comprising an electron source (20) emitting electrons, wherein the electron source (20) has an electron emitting area (20a) and an electron emission limiting area (30); the electron emission limiting area (30) is the side surface of the electron source (20) excluding an electron emission surface at the tip end of the electron source (20), is covered with a material different from that of the electron source (20), and applies an electric field to the tip end to emit thermal field radiating electrons while keeping temperature at a level low enough not to produce the sublimation of the material of the electron source (20). The material of the electron source (20) may be lanthanum hexaboride (LaB 6 ) or cerium hexaboride (CeB 6), and the electron emission limiting area (30) may be covered with carbon. The temperature may range from 1100°C to 1300°C.

Abstract translation: 本发明提供一种能够通过发射电子的电子源的热量而降低升华量并且长时间不间断地使用的电子枪。 电子束曝光系统和使用电子枪的曝光方法。 解决问题的手段一种包含发射电子的电子源（20）的电子枪（101），其中电子源（20）具有电子发射区（20a）和电子发射限制区（30）。 电子发射限制区域（30）是除电子源（20）的末端外的电子发射表面的电子源（20）的侧表面被不同于电子源（20）的材料覆盖 ），并且向顶端施加电场以发射热场辐射电子，同时将温度保持在足够低的水平，不会产生电子源（20）的材料的升华。 电子源（20）的材料可以是六硼化镧（LaB 6 N 6）或六硼化铈（CeB 6），并且电子发射限制区域（30）可以是 覆盖着碳。 温度可以在1100℃至1300℃的范围内。

公开(公告)号：WO2004073010A1

公开(公告)日：2004-08-26

申请号：PCT/JP2004/001686

申请日：2004-02-17

Applicant: 電気化学工業株式会社 ,  照井 良典 ,  野々垣 良三 ,  坂輪 盛一

Inventor： 照井 良典 ,  野々垣 良三 ,  坂輪 盛一

IPC: H01J37/073

CPC classification number: H01J1/16 ,  H01J1/146 ,  H01J1/20 ,  H01J9/04 ,  H01J9/042 ,  H01J37/065 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/25 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/3175

Abstract: An electron source suitable for an electron beam exposure system, an Auger electronic spectrometer or the like, and provides a small total emission current amount even during a high-angular-current-density operation. An electron gun provided with a cathode (1) consisting of tungsten or molybdenum single crystal and provided on the surface thereof with a coating layer consisting of oxygen and at least one kind of metal element selected from a group consisting of 2A group, 3A group and 4A group, characterized in that the end of the cathode (1) has a conical trapezoid shape, a total conical angle of a conical trapezoid portion (8) is between 25° and 95°, and the diameter of the top face (9) is 5mum through 200mum.

Abstract translation: 适用于电子束曝光系统的电子源，俄歇电子光谱仪等，甚至在高角度 - 电流密度的操作中也提供小的总发射电流量。 一种具有由钨或钼单晶组成的阴极（1）的电子枪，其表面上设置有由氧组成的涂层和至少一种选自2A组，3A组和 4A，其特征在于，阴极（1）的端部具有锥形梯形形状，锥形梯形部分（8）的总锥形角在25°和95°之间，并且顶面（9）的直径 是5mum到200mum。

公开(公告)号：WO2006075715A1

公开(公告)日：2006-07-20

申请号：PCT/JP2006/300394

申请日：2006-01-13

Applicant: 電気化学工業株式会社 ,  坂輪 盛一 ,  照井 良典

Inventor： 坂輪 盛一 ,  照井 良典

IPC: H01J1/304 ,  H01J1/30 ,  H01J9/20 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J1/16 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J9/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/25 ,  H01J2237/28

Abstract: An electron source having excellent uniformity in current irradiation distribution is surely provided at a low cost. A method for manufacturing the electron source having an electron emitting section at one end of a rod is characterized in that it includes a step of forming the electron emitting section by machining, and a step of removing a damaged layer (19) on the surface of the formed electron emitting section by chemical polishing or electrolytic polishing.

Abstract translation: 确保以低成本提供电流照射分布具有优异均匀性的电子源。 一种在棒的一端具有电子发射部分的电子源的制造方法的特征在于，其包括通过机械加工形成电子发射部分的步骤，以及去除表面上的损伤层（19）的步骤 通过化学抛光或电解抛光形成的电子发射部分。

公开(公告)号：WO2008038684A1

公开(公告)日：2008-04-03

申请号：PCT/JP2007/068722

申请日：2007-09-26

Applicant: 電気化学工業株式会社 ,  照井 良典 ,  中原 史博 ,  坂輪 盛一

Inventor： 照井 良典 ,  中原 史博 ,  坂輪 盛一

IPC: H01J1/304 ,  H01J37/063 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J37/065 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/065 ,  H01J2237/2817

Abstract: 　高角電流密度動作時にも余剰電流が小さい電子源を提供する。 電子放出部（８）と、サプレッサー電極と、引き出し電極とを有する電子源であって、前記電子放出部（８）が、第１の円錐台部分または円錐部分（２３）とそれに続く第２の円錐台部分（２２）とからなる形状を有する単結晶ロッドの一端の先端に位置することを特徴とする電子源である。好ましくは、単結晶ロッドが、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、及びランタノイド系列からなる群から選ばれた金属元素の酸化物を拡散源として有し、かつ、タングステンまたはモリブデンの＜１００＞方位からなることを特徴とする電子源である。

Abstract translation: 即使在高角度电流密度下也能实现低电流的电子源。 电子源是具有电子发射部分（8），抑制电极和引出电极的电子源，其特征在于电子发射部分（8）位于单晶棒的一端的顶点，单晶棒的一端由 第一圆锥形截锥体部分或圆锥形部分（23），并且与其相连，具有第二圆锥形部分（22）。 优选地，电子源的特征在于，单晶棒含有选自由Ca，Sr，Ba，Sc，Y，La，Ti，Zr，Hf和镧系元素组成的组中的金属元素的氧化物作为扩散源， 由钨或钼的取向组成。

公开(公告)号：WO2007148507A1

公开(公告)日：2007-12-27

申请号：PCT/JP2007/060620

申请日：2007-05-24

Applicant: 電気化学工業株式会社 ,  照井 良典 ,  坂輪 盛一

Inventor： 照井 良典 ,  坂輪 盛一

IPC: H01J1/304

CPC classification number: H01J1/14 ,  H01J1/30

Abstract: 　余剰電流が従来のものより格段に少ない電子源を提供する。 　タングステンまたはモリブデンからなる＜１００＞方位の単結晶ロッドを有し、該ロッドの一端部が電子放出部８であり、また該ロッドの一部にＣａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、及びランタノイド系列元素からなる群から選ばれた少なくとも１種の金属元素の酸化物を拡散源として有する電子源であって、該ロッドの側面１０に該ロッドの中心軸と平行な｛１００｝面が現れていないことを特徴とする電子源。

Abstract translation: 本发明提供了一种电子源，其中过电流远低于常规产品。 电子源包括具有取向的钨或钼的单晶棒。 杆的一端构成电子释放部分（8）。 电子源的特征在于，选自由Ca，Sr，Ba，Sc，Y，La，Ti，Zr，Hf和镧系元素组成的组中的至少一种金属元素的氧化物作为扩散源 棒的一部分和{100}面平行于杆的中心轴线不会出现在杆的侧面（10）上。