公开(公告)号：WO2010146773A1

公开(公告)日：2010-12-23

申请号：PCT/JP2010/003504

申请日：2010-05-26

Applicant: 株式会社 日立ハイテクノロジーズ ,  廣岡誠之 ,  岡井誠

Inventor： 廣岡誠之 ,  岡井誠

IPC: G01Q60/10 ,  G01Q30/02 ,  G01Q70/12 ,  G01R1/06 ,  G01R1/073 ,  G01R31/28

CPC classification number: G01Q60/40 ,  G01Q70/12 ,  G01R1/06727 ,  G01R1/06744 ,  G01R31/2887

Abstract: 　導電性のナノチューブやナノワイヤ、またはナノピラー探針を搭載した微小接触式プローバにおける探針－測定サンプル間の接触応力を向上し、かつ接触界面の絶縁層を除去することで、接触抵抗を低減し、半導体デバイス検査の性能を向上することにある。　微小接触式プローバにおいて、カンチレバー型のプローブを有し、カンチレバーは先端に設置されたホルダーより長さ５０～１００ｎｍで突出したナノワイヤやナノピラー、または金属被覆のカーボンナノチューブ探針と、各カンチレバーを被検体に対して水平方向に振動させるための加振機構を設置する。ホルダーの先端部は前記カンチレバーの自由端よりも突出してよく、カンチレバー上部よりホルダー先端を確認することができる。

Abstract translation: 当使用具有导电纳米管，纳米线或纳米柱探针的微探针探针时，探针和测量样品之间的接触引起的应力得到改善，接触界面处的绝缘层被去除，从而降低了接触电阻，并且性能 的半导体器件检查得到改进。 微接触探针包括悬臂探针，其中每个悬臂设置有从设置在前端的保持器突出50至100nm的纳米线，纳米柱或金属涂覆的碳纳米管探针和用于水平振动悬臂的振动机构 关于这个问题。 支架的前端可以从悬臂的自由端突出，并且可以从悬臂上方检查支架的前端。

公开(公告)号：WO2010004681A1

公开(公告)日：2010-01-14

申请号：PCT/JP2009/002305

申请日：2009-05-26

Applicant: 株式会社日立製作所 ,  岡井誠

Inventor： 岡井誠

IPC: H01L29/06 ,  H01L21/336 ,  H01L27/15 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L29/1606 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02488 ,  H01L21/02527 ,  H01L29/7781 ,  H01L29/7843 ,  H01L29/78684 ,  H01L29/78696 ,  H01L33/0041 ,  H01L33/40 ,  H01L51/0558

Abstract: 　グラフェンシートの電子構造を制御し、そのバンドギャップを制御することが可能な電子デバイス、受光・発光デバイス、それを用いた電子集積回路および光集積回路を提供する。グラフェンシートを湾曲させることにより、その電子構造を制御する。グラフェンシートを凸構造または凹構造を有する下地膜の上に形成することにより、湾曲させることが可能である。グラフェンシートを湾曲させることにより、湾曲部分に局所的な電子状態を形成することができる。これにより、ナノチューブのシリンダー部分やキャップ部分と同様の電子状態を実現することができ、逆格子空間のＫ点においてバンドギャップを形成することが可能である。

Abstract translation: 提供一种可以控制石墨烯片的电子结构及其带隙的电子器件和光接收和发光器件，以及使用该器件的电子集成电路和光学集成电路。 通过将石墨烯片成形为曲线，可以控制其电子结构。 石墨烯片可以通过在具有凸结构或凹结构的基膜上形成片而成形为曲线。 弯曲部分中的局部电子态可以通过弯曲石墨烯片来形成。 因此，可以实现与纳米管的圆筒或帽部分相同的电子状态，并且可以形成在互易格子空间中K点处的带隙。