研磨用組成物
    3.
    发明申请
    研磨用組成物 审中-公开
    抛光组合物

    公开(公告)号:WO2008146641A1

    公开(公告)日:2008-12-04

    申请号:PCT/JP2008/059143

    申请日:2008-05-19

    CPC classification number: C09G1/02 C09K3/1409

    Abstract:  脆性材料を研磨するための研磨用組成物において、砥粒と研磨促進剤としての水酸化セリウムとを含有する構成とすることで、研磨速度を向上させることができると共に、表面研磨傷を防止することができる研磨用組成物を提供する。

    Abstract translation: 公开了一种用于抛光含有磨料颗粒和氢氧化铈作为抛光加速剂的脆性材料的抛光组合物。 通过具有这种结构,抛光组合物能够提高抛光速率,同时防止抛光在表面上的划痕。

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