公开(公告)号：WO2011096018A1

公开(公告)日：2011-08-11

申请号：PCT/JP2010/000751

申请日：2010-02-08

Applicant: トーヨーエイテック株式会社 ,  大矢純 ,  濱崎辰己 ,  吉村浩幸 ,  福万勝

Inventor： 大矢純 ,  濱崎辰己 ,  吉村浩幸 ,  福万勝

IPC: B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/045 ,  B23D57/0069 ,  B24B27/0633

Abstract: この発明は、ワイヤソーにおけるワイヤの張力を所定の目標張力に近付けるための張力調整装置を利用して巻取側のワイヤの張力のみを有効に低減しながら効率よくかつ高精度でワークの切断を行う方法を提供する。この方法は、ワイヤ（Ｗ）を前進させながらワーク（２８）を切断する前進駆動切断工程と、ワイヤ（Ｗ）の駆動方法を反転させるための第１の切換工程と、ワイヤ（Ｗ）を後退させながらワーク（２８）を切断する後退駆動切断工程と、ワイヤ（Ｗ）の駆動方向を反転させて前記前進駆動切断工程に復帰するための第２の切換工程とを含み、これらが順に繰り返される。前記両切断工程では張力操作装置（１８Ａ、１８Ｂ）により巻取り側のワイヤ張力のみ下げられる。そのためのワイヤ目標張力の低下は各切換工程においてワイヤ（Ｗ）の減速が終了してから行われる。

Abstract translation: 提供了一种以高精度地高效地切割工件的方法，即通过使用张力调节装置，只有有效地减少绕线侧的线的部分的张力，所述张力调节装置用于接近张力 在电线锯上的电线上达到预定的目标张力。 该方法包括提前驱动切割处理，其中在线（W）前进时切割工件（28）; 用于反转线（W）驱动方法的第一切换处理; 一个回退驱动切割过程，其中在线（W）被移回的同时切割工件（28）; 以及用于使线（W）驱动方向反转的第二切换处理，从而将操作返回到前进驱动切割处理。 这些过程按顺序重复。 在两个切割过程中，仅通过张力操纵装置（18A，18B）减小了卷绕侧的线的部分的张力。 在切换过程中线（W）的减速后，进行目的线张力的降低。