公开(公告)号：WO2015029323A1

公开(公告)日：2015-03-05

申请号：PCT/JP2014/003889

申请日：2014-07-24

Applicant: 信越半導体株式会社

Inventor： 上林　佳一

IPC: B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/045 ,  B24B27/0633 ,  B28D5/0076 ,  B28D5/0082

Abstract: 本発明は、複数のワイヤガイド間に螺旋状に巻回された軸方向に走行するワイヤでワイヤ列を形成し、インゴットとワイヤとの接触部に加工液を供給しながら、ワイヤ列にインゴットを押し当てることで、インゴットをウェーハ状に切断するインゴットの切断方法であって、ワイヤを交換した後の１本目のインゴットを切断する際の、インゴットの中央部分の切断時に対する切断開始部分の切断時の単位時間当たりのワイヤ新線供給量の比率が、ワイヤを交換した後の２本目以降のインゴットを切断する際の前記比率の１／２以下となるように制御することを特徴とするインゴットの切断方法である。これにより、ワイヤを交換した後の１本目と２本目以降のインゴットから切り出されるウェーハの間の厚さムラのバラツキを抑制するインゴットの切断方法及びワイヤソーが提供される。

Abstract translation: 本发明是一种锭切割方法，其特征在于，在多根线引导件之间形成以螺旋形状缠绕的线状丝线，并且在将锭子与线列接触的同时将锭处理液供给到接触部 在锭和线之间，由此将锭切成晶片，其特征在于，在更换线之后切割第一锭时，每单位时间提供的新丝的量的比例用于切割 在更换线之后，当切割第二个或后续的锭时，初始切割部分相对于锭的中心部分的切割被控制为该比率的1/2或更小。 由此提供了一种锭切割方法和线锯，用于抑制在更换线之后从第一锭切割的晶片和第二或后续锭块之间的厚度不均匀性的变化。

公开(公告)号：WO2014129304A1

公开(公告)日：2014-08-28

申请号：PCT/JP2014/052540

申请日：2014-02-04

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 田中　利幸 ,  橋本　靖行 ,  橋井　友裕

IPC: H01L21/304 ,  B24B27/06 ,  B24B37/08

CPC classification number: H01L21/02013 ,  B24B7/228 ,  B24B27/0633 ,  B24B37/08 ,  B24B37/107 ,  B28D5/045

Abstract: 　半導体単結晶インゴットをワイヤーソー装置を用いてスライスして得たウェーハの一方の面全面に硬化性材料を塗布した平坦な表面を基準面としてウェーハの他方の面を平面研削し、平面研削したウェーハの他方の面を基準面としてウェーハの一方の面を平面研削するウェーハの加工方法において、ウェーハをスライスした直後にウェーハの両面を同時に平坦化加工する。

Abstract translation: 一种用于处理晶片的方法，其中：通过使用线锯装置切割半导体单晶锭获得晶片; 使用通过将可固化材料施加到晶片的另一表面的整体而获得的平坦表面作为参考表面将晶片的一个表面研磨成平坦的表面; 使用已经被研磨成平坦的晶片的一个表面作为基准面，将晶片的另一个表面研磨成平面; 其中晶片的两个表面在晶片被切片之后立即被平坦化。

公开(公告)号：WO2014109149A1

公开(公告)日：2014-07-17

申请号：PCT/JP2013/082639

申请日：2013-12-04

Applicant: 株式会社TKX

Inventor： 池内　正彦

IPC: B24D11/00 ,  B24B27/06 ,  B24D3/28

CPC classification number: B24B27/0633 ,  B23D61/185 ,  B24D3/28

Abstract: 【課題】切断性能が良好で長寿命のレジンボンドワイヤーソーを提供する。 【解決手段】ノボラック型フェノール樹脂とレゾール型フェノール樹脂とアミン系シランカップリング剤を含むレジンボンドにより、ワイヤーの表面に砥粒が固定されたレジンボンドワイヤーソー。レジンボンドは、ＭＡＬＤＩ－ＴＯＦ－ＭＳ法による質量分析において、陽イオンに、フラグメントを表わす、２０８（ｍ／ｚ）間隔の複数のピークを示し、ＴＧ－ＤＴＡ法による示差熱分析において、１７５℃～１８２℃に軟化点に相当するピークを示す。

Abstract translation: [问题]提供具有良好切割性能和长寿命的树脂粘合线锯。 [解决方案]通过含有酚醛清漆型酚醛树脂，甲阶酚醛树脂型酚醛树脂和胺类硅烷偶联剂的树脂粘合剂将磨粒固定在丝网表面上的树脂粘合线锯。 树脂键在MALDI-TOF-MS（质谱）中以208（m / z）的间隔显示出正数离子中的片段的多个峰，对应于175℃至182°的软化点的峰 C（TG-DTA）（差热分析）。

公开(公告)号：WO2014061053A1

公开(公告)日：2014-04-24

申请号：PCT/JP2012/006589

申请日：2012-10-15

Applicant: トーヨーエイテック株式会社

Inventor： 今久留主　昌治 ,  岩井　利光 ,  大矢　純 ,  福万　勝

IPC: B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B23D61/185 ,  B23D57/0061 ,  B24B27/0633 ,  B28D5/045

Abstract: 　ワイヤソー装置１は、複数のワイヤガイド２に螺旋状に巻き付けられた切断用ワイヤ３を走行させると同時にワイヤガイド２と共に切断用ワイヤ３を揺動させながら、切断用ワイヤ３に被加工物Ｗを押し当てて切断加工を行う。ワイヤソー装置１は、被加工物Ｗが円弧状の加工形状を持つように、被加工物Ｗを保持する保持手段５１の位置を切断用ワイヤ３の揺動角度に応じて制御する制御手段８を備えている。

Abstract translation: 在线锯装置（1）中，使卷绕成多根导线器（2）的螺旋状的切割线（3）行进，同时将工件（W）压在切割线（3）上， 切割线（3）与导线器（2）一起摆动的同时进行切割加工。 线锯装置（1）设置有用于控制用于保持工件（W）的保持装置（51）的位置的控制装置（8），使得工件（W）被加工成弧形，位置 根据切割线（3）的摆动角度进行控制。

公开(公告)号：WO2014004991A1

公开(公告)日：2014-01-03

申请号：PCT/US2013/048511

申请日：2013-06-28

Applicant: SAINT-GOBAIN ABRASIVES, INC. ,  SAINT-GOBAIN ABRASIFS

Inventor： TIAN, Yinggang ,  REHRIG, Paul W. ,  KHAUND, Arup K. ,  JAIN, Avanti ,  CHE, Wei ,  LIEBELT, Susanne ,  TESI, Vincent

IPC: B24D3/22 ,  C09K3/14 ,  B24D18/00 ,  C09C1/68

CPC classification number: B24D3/007 ,  B23D61/185 ,  B23D65/00 ,  B24B27/0633 ,  B24D99/00

Abstract: An abrasive article including a substrate having an elongated body, a tacking layer overlying the substrate, and a first type of abrasive particle overlying the tacking layer and defining a first abrasive particle concentration at least about 10 particles per mm of substrate.

Abstract translation: 一种磨料制品，包括具有细长体的衬底，覆盖衬底的粘合层和覆盖粘合层的第一类磨料颗粒，并且限定每mm衬底至少约10个颗粒的第一磨料颗粒浓度。

公开(公告)号：WO2013049204A3

公开(公告)日：2013-05-30

申请号：PCT/US2012057334

申请日：2012-09-26

Applicant: SAINT GOBAIN ABRASIVES INC ,  SAINT GOBAIN ABRASIFS SA

Inventor： REHRIG PAUL W ,  TIAN YINGGANG ,  KHAUND ARUP K

IPC: B24D3/20 ,  C09C1/68 ,  C09K3/14

CPC classification number: B24D18/00 ,  B23D61/185 ,  B23D65/00 ,  B24B27/0633 ,  B24D3/06

Abstract: An abrasive article including a substrate in the form of an elongated member having a core and a barrier layer in direct contact with an peripheral surface of the core. The barrier layer consists essentially of tin. A bonding layer is overlying the elongated substrate and abrasive particles are secured in the bonding layer

Abstract translation: 一种磨料制品，其包括呈细长构件形式的基底，所述基底具有芯部和与芯部的周边表面直接接触的阻挡层。 阻挡层基本上由锡组成。 粘合层覆盖在细长的基底上，磨粒固定在粘合层中

公开(公告)号：WO2013061695A1

公开(公告)日：2013-05-02

申请号：PCT/JP2012/072878

申请日：2012-09-07

Applicant: パレス化学株式会社 ,  鈴木 清史 ,  戸嶋 清斗

Inventor： 鈴木　清史 ,  戸嶋　清斗

IPC: H01L21/304 ,  B24B27/06 ,  B28D5/02 ,  B28D7/02 ,  C09K3/14

CPC classification number: B24B27/0633 ,  B24B57/02 ,  B28D5/0076

Abstract: 　泡立ちが少なく、切断性能が高い固定砥粒ワイヤーソー用水溶性切断液、それを用いた切断方法及びそのリサイクル方法を提供する。　（ａ）テルペンアルキレンオキサイドブロックコポリマーと、（ｂ）グリコール、ポリアルキレングリコール、グリコールエーテル及びポリアルキレングリコールエーテルの少なくとも１種と、（ｃ）水とを含むことを特徴とする固定砥粒ワイヤーソー用水溶性切断液である。また、上記固定砥粒ワイヤーソー用水溶性切断液を用いて、固定砥粒ワイヤーソーによりシリコンのインゴットを切断することを特徴とするインゴットの切断方法及び固定砥粒ワイヤーソー用水溶性切断液のリサイクル方法である。

Abstract translation: 提供了一种用于固定磨粒锯线锯的水溶性切削液，几乎没有起泡和达到高切削性能; 使用其的切割方法; 及其回收利用方法。 一种用于固定磨粒锯线锯的水溶性切削液，其特征在于包括（a）萜烯 - 环氧烷嵌段共聚物，（b）至少一种选自二醇，聚亚烷基二醇，二醇醚和聚亚烷基二醇醚的组分， 和（c）水; 一种锭切割方法，其特征在于用固定的磨粒锯线切割硅锭，同时将固定的磨粒锯线的水溶性切削液 以及用于固定磨粒锯线的水溶性切削液的再循环方法。

公开(公告)号：WO2011096019A1

公开(公告)日：2011-08-11

申请号：PCT/JP2010/000752

申请日：2010-02-08

Applicant: トーヨーエイテック株式会社 ,  星山豊宏 ,  今久留主昌治 ,  吉村浩幸 ,  濱崎辰己

Inventor： 星山豊宏 ,  今久留主昌治 ,  吉村浩幸 ,  濱崎辰己

IPC: B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B26B27/002 ,  B23D57/0023 ,  B23D57/0053 ,  B23D57/0069 ,  B24B27/0633 ,  B28D5/045

Abstract: この発明は、切断用ワイヤを用いてワークを切断するワイヤソーであって、ワイヤ張力の高い応答性で行うことが可能なものを提供する。このワイヤソーは第１及び第２のワーク切断部（１Ａ、１Ｂ）を有する。各ワーク切断部（１Ａ、１Ｂ）は、それぞれ、一対のガイドローラ（１０ａ、１０ｂ）を含み、これらにワイヤ（Ｗ）が掛け渡されることでワーク切断用のワイヤ群が形成される。このワイヤソーは、さらにワーク切断部（１Ａ、１Ｂ）同士の間でワイヤ（Ｗ）の張力を検出する張力検出器（１８）と、制御装置（５０）とを備える。制御装置（５０）は、張力検出器（１８）が検出する張力に基づき、当該張力を許容範囲内に収めるように少なくとも一方のワーク切断部のガイドローラ（１０ａ、１０ｂ）の回転速度を変更する。

Abstract translation: 提供了使用切割线切割工件的线锯，该线锯使得能够以高响应性来调节线张力。 线锯具有第一和第二工件切割部分（1A，1B）。 工件切割部分（1A，1B）各自包括一对导辊（10a，10b）。 电线（W）穿过这些导辊，导致形成工件切割线组。 该线锯还设置有检测工件切断部（1A，1B）之间的线（W）的张力的控制装置（50）和张力检测装置（18）。 基于由张力检测装置（18）检测到的张力，控制装置（50）改变至少一个工件切割部分的引导辊（10a，10b）的旋转速度，使得将产生张力 在可接受的范围内。

公开(公告)号：WO2011055692A1

公开(公告)日：2011-05-12

申请号：PCT/JP2010/069294

申请日：2010-10-29

Applicant: 株式会社中村超硬 ,  大谷 靖彦 ,  冨吉 努 ,  萩原 康仁 ,  久保 憲司 ,  井上 絋章 ,  高木 俊秀 ,  島田 英明 ,  福元 聖士 ,  霜野 一裕

Inventor： 大谷　靖彦 ,  冨吉　努 ,  萩原　康仁 ,  久保　憲司 ,  井上　絋章 ,  高木　俊秀 ,  島田　英明 ,  福元　聖士 ,  霜野　一裕

IPC: B24D11/00 ,  B24D3/00 ,  B24D3/06

CPC classification number: B24B27/0633 ,  B23D61/185 ,  B23D65/00 ,  B24D99/00 ,  B28D1/08

Abstract: 【課題】レジンボンド法で問題とされている寿命が短い点、電着法で問題とされている生産性が悪くコスト高であるという点、ろう付け法で問題とされている高炭素鋼が使えずコスト的に優位でないという点、ろう付け後に超砥粒に内部応力が発生して超砥粒が割れたり欠けやすくなるという点をいずれも解決でき、長寿命で生産性が高く、切断加工能力に優れた超砥粒固定式ワイヤソーを提供せんとする。 【解決手段】超砥粒１４を仮固定するろう材層１３、及び超砥粒１４を保持するための金属めっき層１６の二層を備え、ろう材層１３の厚みを超砥粒１４の平均粒径の１０％以下とした。予めワイヤ１０表面にろう材層１３を形成し、その上に超砥粒１４を単層に分散・付着させた後、表面を溶融・固化することにより超砥粒１４がその付着面で接合した超砥粒仮付けワイヤ１２となし、該超砥粒仮付けワイヤ１２を金属めっきする。

Abstract translation: 树脂粘合法的一个问题是使用寿命短。 电沉积方法的问题是生产率不能令人满意，成本高。 钎焊方法的问题是不能使用高碳钢，导致成本上的缺点，并且在钎焊之后，在超磨料颗粒中产生内部应力，导致超磨料颗粒易于破裂或碎裂。 本发明提供一种能够解决所有这些问题的超耐磨颗粒固定式钢丝锯，其使用寿命长，生产率高，切削性能优异。 超磨粒固定式线锯配备有由钎料层（13）和金属镀层（16）组成的两层，上述钎焊材料层（13）用于临时固定超磨粒（14） ）和用于保持超磨粒（14）的上述金属镀层（16）。 钎料层（13）的厚度为超磨粒（14）的平均粒径的10％以下。 预先在金属丝（10）的表面上形成钎料层（13）。 超磨粒（14）以单层分散并粘附到钎料层（13）上。 随后，钎焊材料层（13）的表面熔化并固化，得到超磨料颗粒 - 临时粘附的钢丝（12），使得超磨粒（14）连接到 钎料层（13）。 此后，超级磨粒临时粘附的线（12）进行金属镀覆。

公开(公告)号：WO2010150460A1

公开(公告)日：2010-12-29

申请号：PCT/JP2010/003467

申请日：2010-05-24

Applicant: 信越半導体株式会社 ,  幅田勉 ,  松嶋秀明 ,  宮本賢一 ,  市川進之介

Inventor： 幅田勉 ,  松嶋秀明 ,  宮本賢一 ,  市川進之介

IPC: B24B57/00 ,  B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  B28D7/02 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/007 ,  B23Q11/1069 ,  B24B27/0633 ,  Y02P70/167 ,  Y02P70/177 ,  Y02P70/179

Abstract: 　本発明は、ワイヤソーによるシリコンインゴットの切断時の廃スラリーを１次遠心分離、２次遠心分離して固形分、廃スラッジ、２次分離液に分離し、２次分離液と固形分を回収し、新たな砥粒とクーラントを加えて再生スラリーを調合し、ワイヤソーに供給してシリコンインゴットを切断する方法であって、廃スラッジを蒸留して、固形残渣と残分溶液に分離し、固形残渣を分級して砥粒を分離し、その砥粒と残分溶液を回収し、再生スラリーを調合するときにさらに加えるシリコンインゴットの切断方法および切断システムを提供する。これにより、廃スラリーから砥粒およびクーラントを回収して再使用した再生スラリーを供給しながら、ワイヤソーによりシリコンインゴットを切断するにあたって、切断品質の低下を抑えつつ、回収率を向上させることでコストの増加を抑制しながら切断することができる切断方法および切断システムが提供される。

Abstract translation: 提供硅锭切割方法和切割系统。 该方法包括：当通过线锯切割硅锭并将废浆分离成固体成分，废污泥和次级分离液体时，对废浆产生一次和二次离心分离; 收集二次分离液体和固体含量; 向收集的二次分离液体和固体含量中加入新的磨料颗粒和冷却剂以制备回收的浆料; 并将回收的浆料供应到线锯。 在该方法中，将废污泥蒸馏并分离成固体残渣和残渣溶液; 将固体残渣分类为分离磨粒; 收集磨粒和残渣溶液，另外在制备回收浆料时加入。 这使得可以通过使用线锯在提供包括磨料颗粒的回收浆料和从废浆料中回收并重新使用的冷却剂中切割硅锭时，在抑制切割质量降低和抑制的同时切割硅锭 通过提高收费率来提高成本。