公开(公告)号：WO2011162297A1

公开(公告)日：2011-12-29

申请号：PCT/JP2011/064288

申请日：2011-06-22

Applicant: 株式会社アルバック ,  林 卓郎 ,  曽我部 浩二 ,  松本 浩一 ,  橋本 征典 ,  中村 久三 ,  萩原 宗源 ,  内田 寛人 ,  森 勝彦 ,  清水 康男 ,  坂元 盛昭

Inventor： 林　卓郎 ,  曽我部　浩二 ,  松本　浩一 ,  橋本　征典 ,  中村　久三 ,  萩原　宗源 ,  内田　寛人 ,  森　勝彦 ,  清水　康男 ,  坂元　盛昭

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/44 ,  H01L31/04

CPC classification number: B08B7/00 ,  C23C16/24 ,  C23C16/4405 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/50 ,  C23C16/545 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 　成膜室の両側の側面下部には、それぞれ、点火部が２箇所ずつ、合計４箇所に設けられている。点火部は、可燃性の副生成物への点火時に通電される。成膜室の側面には成膜室内の圧力を測定するための第一の検出部が形成されている。成膜室の側面下部には、第二の検出部が形成されている。成膜室の上部には成膜室内の空間温度を測定する第三の検出部が形成されている。

Abstract translation: 公开了一种成膜装置，其中点火部分设置在成膜室两侧的侧表面的每个下部的两个区域上，所述点火部分总共设置在四个区域。 在点燃可燃副产品时，电流被运送到点火部分。 在成膜室的侧面形成有用于测量成膜室内部的压力的第一检测部。 在成膜室的侧面的下部形成有第二检测部。 在成膜室的上部形成有用于测量成膜室内的空间的温度的第三检测部。

公开(公告)号：WO2011148924A1

公开(公告)日：2011-12-01

申请号：PCT/JP2011/061826

申请日：2011-05-24

Applicant: 株式会社アルバック ,  清水 康男 ,  野口 恭史 ,  森 勝彦 ,  萩原 宗源 ,  中村 正俊 ,  宮谷 武尚 ,  森岡 和 ,  重田 貴司 ,  内田 寛人

Inventor： 清水　康男 ,  野口　恭史 ,  森　勝彦 ,  萩原　宗源 ,  中村　正俊 ,  宮谷　武尚 ,  森岡　和 ,  重田　貴司 ,  内田　寛人

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/24 ,  C23C16/50 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C16/042 ,  C23C16/24 ,  C23C16/4587 ,  C23C16/509 ,  C23C16/54

Abstract: 　基板に被膜を形成する成膜装置であって、前記基板を保持したキャリアを載置し自走可能とされた第一移動手段を内在する搬送室と、前記搬送室と連通するように個別の開閉手段を介して配された仕込・取出室、および複数の成膜室と、前記搬送室、前記仕込・取出室、および前記成膜室に個別に付設された排気手段と、を備える。

Abstract translation: 公开了一种在基板上形成膜的成膜装置。 具体公开了一种成膜装置，其特征在于，包括：承载室，容纳第一移动装置，其能够自动行进，同时将保持基板的载体放置在其上; 进出口室和多个成膜室，其设置成经由单独的开闭装置与承载室连通; 以及分别安装在搬送室，送出室和成膜室的排气装置。