Abstract:
Capacitor foil (10) having a core layer (11), at least one porous layer (12; 13) and a porous surface layer (16; 17), and a method for producing the same and an electrolytic capacitor. The at least one porous layer (12; 13) and the porous surface layer (16; 17) are porous as a result of a first DC-pulse etching process step. The method comprises at least one further etching step in which the etching fluid of the first etching process step in the at least one porous layer (12; 13) and the porous surface layer (16; 17) is modified into or replaced by a filling substance having a low etching capability, at least the porous surface layer (16; 17) of the foil (10) is further etched to increase the porosity of the porous surface layer (16; 17), and the filling substance is removed from the foil (10).
Abstract:
Bei einem Verfahren zum Herstellen von Dünnschicht-Chipwiderständen, bei welchem Verfahren auf die Oberseite eines flächigen Substrats (10) eine Widerstandsschicht (14) und eine Kontaktschicht (15, 16) aufgebracht und mittels Laserlicht so strukturiert wird, dass auf dem Substrat (10) nebeneinander eine Mehrzahl von separaten Widerstandsbahnen (24) mit einem näherungsweise vorbestimmten Widerstandswert entstehen, wird eine vereinfachte und kostengünstiger Herstellung dadurch erreicht, dass die elektrische Isolation der Widerstandelemente (13) und die Strukturierung der einzelnen Widerstandsbahnen (24) für die gesamte Widerstandsbahn gleichzeitig mittels eines laserlithographischen Direcktbelichtungsverfahrens erfolgt.