Abstract:
The invention relates to a process for producing wear-resistant layers of cubic boron nitride or wear-resistant layers containing it by sputtering with r.f. or d.c. voltage in the operating mode as an unbalanced magnetron, in which the plasma is generated by d.c. arc discharges or d.c.-operated magnetron cathodes. According to the invention, the initial target for the production of the layer from which the material is removed consists of electrically conductive material containing boron, preferably boron carbide, and, in the process, the reactive process is conducted with the addition of N2 and Ar in such a way that the necessary stoichiometric ratio B:N in the layer can be adjusted.
Abstract:
Method for producing a layer (30) containing boron, carbon and hydrogen on a substrate by means of a vapour phase deposition process wherein the process gas contains hydrogen. The inventive layer can be used for instance on cutting tools or forming tools or as absorber material in nuclear reactors.
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein kornorientiertes Elektroblech mit einer elektrisch isolierenden Beschichtung aus einem amorphen Kohlenstoff-Wasserstoff-Netzwerk, welche nach der Schlussglühung aufgetragen wird, um für die Verwendung des kornorientierten Elektroblechs, z. B. in Transformatoren, die elektrische Isolierung der einzelnen Blechschichten zu gewährleisten. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung des kornorientierten Elektroblechs mit einer elektrisch isolierenden Beschichtung aus einem amorphen Kohlenstoff-Wasserstoff-Netzwerk, welches darin besteht, dass die Beschichtung des bandförmigen Blechsubstrats mit der elektrisch isolierenden Beschichtung in einem kontinuierlichen Banddurchlaufverfahren erfolgt.
Abstract:
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein borhaltiges Schichtsystem, welches eine Borcarbidschicht, eine Bor, Kohlenstoff und Stickstoff (B-C-N) enthaltende Schicht und eine kohlenstoffmodifizierte kubische Bornitridschicht in der genannten Reihenfolge enthält. Im erfindungsgemäßen Schichtsystem übernimmt der Kohlenstoff eine dreifach stabilisierende Rolle sowohl in der Borcarbidschicht und der B-C-N-Schicht, als auch in der kubischen Bornitridschicht. Der in der kubischen Bornitrid-Phase enthaltene Kohlenstoff hat insbesondere eine die Struktur stabilisierende Funktion. Der Kohlenstoff ist das wesentliche und das Schichtsystem verbindende Element.
Abstract:
Ein Verfahren zur Abscheidung von metallfreien amorphen wasserstoffhaltigen Kohlenstoffschichten arbeitet mit dem Sputtern von Targets auf Substrate. Als Target wird ein reines Kohlenstoff-Target, insbesondere ein Graphit-Target eingesetzt und mit einer negativen Gleichspannung vorgespannt. Auch das Substrat wird bevorzugt mit Gleichstrom versorgt. Es wird bevorzugt in der unbalancierten Magnetronbetriebsart gearbeitet. Dadurch ist die Herstellung von metallfreien DLC-Schichten mit hohen Verschleiss- und Härtewerten möglich.