公开(公告)号：WO2009130171A1

公开(公告)日：2009-10-29

申请号：PCT/EP2009/054621

申请日：2009-04-17

申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ,  BOLIS, Sébastien ,  BARBE, Jean-Charles ,  CHARVET, Pierre-Louis

发明人： BOLIS, Sébastien ,  BARBE, Jean-Charles ,  CHARVET, Pierre-Louis

IPC分类号： G02B26/08 ,  G02B3/14 ,  G02B5/08 ,  G02C7/08 ,  G02B1/06 ,  B81B3/00

CPC分类号： B81B3/0021 ,  B81B7/0041 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0307 ,  B81B2203/053 ,  B81C2203/0109 ,  G02B1/06 ,  G02B3/14 ,  G02B26/0825

摘要： II s'agit d'un dispositif optique comprenant une membrane (2) déformable comportant un film (20) souple possédant au moins une zone d'ancrage (2.3) périphérique, une zone centrale (2.1), une zone intermédiaire (2.2) entre la zone centrale (2.1) et la zone d'ancrage (2.3). La membrane comporte de plus une ou plusieurs parties mobiles (5.1) de moyens d' actionnement électrostatiques (5) formées chacune d'une jambe (5.11) se terminant d'un côté par un pied (5.12) solidaire mécaniquement d'une région de solidarisation (200) du film située dans la zone intermédiaire (2.2) et de l'autre par une extrémité libre (5.13). Les jambes (5.11) intègrent une électrode mobile (5.2), l'extrémité libre (5.13) devant être attirée par une électrode fixe (6.2) des moyens d' actionnement (5). L'extrémité libre est placée en regard de l'extrémité libre (5.13) afin de déformer au moins la zone centrale (2.1) de la membrane (2).

摘要翻译： 本发明涉及一种具有可变形膜（2）的光学装置，该可变形膜包括柔性膜（20），该柔性膜具有至少一个外围锚定区域（2.3），中心区域（2.1）和中间区域（2.2） 2.1）和锚固区（2.3）。 膜还包括一个或多个静电致动装置（5）的可移动部分（5.1），每个可移动部分由从机器上紧固到胶片紧固区域的脚部（5.12）中的一侧终止的腿部（5.11）形成 200），并且在另一侧终止于自由端（5.13）。 腿部（5.11）包括可动电极（5.2），自由端（5.13）必须被致动装置（5）的固定电极（6.2）吸引。 自由端面向自由端（5.13）放置，以至少使膜（2）的中心区域（2.1）变形。

公开(公告)号：WO2005015594A2

公开(公告)日：2005-02-17

申请号：PCT/FR2004001988

申请日：2004-07-26

申请人： COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE ,  CHARVET PIERRE-LOUIS

发明人： CHARVET PIERRE-LOUIS

IPC分类号： H01H1/00 ,  H01H59/00

CPC分类号： H01H1/0036 ,  H01H59/0009 ,  H01H2001/0042

摘要： A deformable suspension bridge (1) is attached to a substrate (3) by two ends (7) arranged in such a manner that they transversally subdivide the bridge (1) into a medial segment (8) located between both ends (7) and into two outwardly projecting peripheral segments (9). The peripheral (11) and medial (10) actuators enable the peripheral segments (9) and the medial segment (8) to be respectively and independently deformed perpendicular to the substrate (3). As a result, an electrical contact between a first conductive element (5), which is formed on the substrate (3) while being situated between the bridge (1) and the substrate (3), and a second conductive element (6), which is integrally connected to the underside of the bridge (1), can be established and interrupted, whereby the switch adopts two stable positions.

摘要翻译： 可变形的悬吊桥（1）通过两端（7）连接到基板（3），所述两端以这样的方式布置，使得桥（1）横向地将桥（1）细分为位于两端（7）和 分成两个向外突出的周边部分（9）。 周边（11）和内侧（10）致动器使得周边部分（9）和中间部分（8）能够垂直于衬底（3）分别且独立地变形。 结果，在位于桥（1）和衬底（3）之间的衬底（3）上形成的第一导电元件（5）与第二导电元件（6）之间的电接触， 一体地连接到电桥（1）的下侧的开关可以建立并中断，由此开关采用两个稳定位置。

公开(公告)号：WO2006084977A1

公开(公告)日：2006-08-17

申请号：PCT/FR2006/000246

申请日：2006-02-02

申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ,  FLEURY, Gatien ,  CHARVET, Pierre-Louis

发明人： FLEURY, Gatien ,  CHARVET, Pierre-Louis

IPC分类号： B81B3/00 ,  H01H50/00

CPC分类号： B81C1/00666 ,  B81B2201/016 ,  B81C2201/0167

摘要： Le dispositif micromécanique comporte une poutre (1) mobile rattachée par ses deux extrémités (2) à un cadre (3) rigide comportant deux bras (4) ayant chacun deux extrémités (5). Les extrémités (5) d'un bras (4) sont respectivement solidaires des deux extrémités (2) de la poutre (1) mobile. Chaque bras (4) a une partie médiane (6) disposée entre les deux extrémités (5) du bras (4) correspondant. Une face arrière de la partie médiane (6) de chaque bras (4) est rattachée à un support (10) de base. Le cadre (3) comporte au moins un élément (11) sous contrainte permettant d'ajuster l'état de contrainte de la poutre. L'élément (11 ) sous contrainte peut être centré entre la face avant et la face arrière du bras (4) correspondant. Le cadre (3) peut comporter des paires d'éléments (11 ) sous contrainte avant et arrière disposés, l'un en regard de l'autre, respectivement à la face avant et à la face arrière des bras (4).

摘要翻译： 本发明涉及一种包括移动梁（1）的微机械装置，所述梁由其两端（2）连接到设置有两个臂（4）的刚性框架（3），每个臂具有两个端部（5）。 臂（4）的端部（5）分别固定在移动梁（1）的两端（2）上。 每个臂（4）具有布置在相应臂（4）的两端（5）之间的中心部分（6）。 每个臂（4）的中心部分（6）的后表面附接到基座支撑件（10）。 框架（3）包括用于调节梁的应力状态的至少一个应力元件（11）。 应力元件（11）可以在相应臂（4）的前表面和后表面之间居中。 框架（3）可以包括成对的前和后应力元件（11），它们分别布置在臂（4）的前表面和后表面上，使得它们彼此面对。

公开(公告)号：WO2004064096A1

公开(公告)日：2004-07-29

申请号：PCT/FR2003/003641

申请日：2003-12-09

申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ,  CHARVET, Pierre-Louis

发明人： CHARVET, Pierre-Louis

IPC分类号： H01H59/00

CPC分类号： H01H59/0009

摘要： Le commutateur micro-mécanique comporte un pont (1) déformable, rattaché par ses extrémités à un substrat (2), et des moyens d'actionnement (3) destinés à déformer le pont (1) déformable de manière à établir un contact électrique entre un premier élément conducteur (4) formé sur le substrat (2), entre le pont (1) et le substrat (2), et un deuxième élément conducteur (5), solidaire d'une face inférieure du pont. Le deuxième élément conducteur (5) est connecté en permanence, par l'intermédiaire d'une ligne conductrice (6) solidaire du pont (1), à un troisième élément conducteur (7) disposé sur le substrat (2) à la périphérie du pont (1). Le pont (1) comporte une première couche isolante percée d'un orifice (10), dans lequel est disposé un matériau conducteur faisant saillie à la face inférieure du pont (1) de manière à former le deuxième élément conducteur (5).

摘要翻译： 本发明涉及一种微机械开关，其包括通过其端部附接到基板（2）的可变形桥（1）和用于使可变形桥变形的致动装置（3），以便在第一导电元件 （4）形成在基板（2）上，在桥（1）和基板（2）之间，以及第二导电元件（5），与桥的下表面成一体。 第二导电元件（5）经由与桥接器（1）成一体的导线（6）永久地连接到在桥接器（1）的周边处布置在基板（2）上的第三导电元件（7） 。 桥（1）包括用孔（10）穿孔的第一绝缘涂层，其中布置有在桥（1）的下表面处突出以形成第二导电元件（5）的导电材料。

公开(公告)号：WO2006045914A1

公开(公告)日：2006-05-04

申请号：PCT/FR2005/002512

申请日：2005-10-11

申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ,  CHARVET, Pierre-Louis

发明人： CHARVET, Pierre-Louis

IPC分类号： B81B3/00

CPC分类号： B81B3/0086 ,  B81B2201/016 ,  H01H59/0009

摘要： Le microsystème comporte un pont (1) déformable rattaché par ses extrémités (2) à un substrat (3). Au moins une électrode (6) d'actionnement solidaire du pont (1) est disposée, entre le centre (C) du pont et une des extrémités (2), vis-à-vis d'une contre-électrode (7) solidaire du substrat (3). Les électrodes (6) sont destinées à déformer le pont (1) déformable de manière à ce qu'une face inférieure du pont (1) vienne en contact avec un élément de contact (4) formé sur le substrat (3). L'électrode (6) d'actionnement comporte, transversalement au pont (1), une zone centrale (8) disposée sur le pont (1) et au moins une aile (9) latérale souple en saillie. L'aile (9) latérale peut être rattachée à la zone centrale (8) par une zone de liaison (10) plus étroite, disposée d'un côté de l'aile (9) le plus proche du centre (C) du pont. Chaque électrode (6) d'actionnement peut comporter une paire d'ailes (9) latérales disposées respectivement de part et d'autre de la zone centrale (8) correspondante.

摘要翻译： 本发明涉及包括可变形桥（1）的微系统，其端部（2）连接到基板（3）。 根据本发明，至少一个牢固地连接到桥（1）的致动电极（6）设置在桥的中心（C）和邻近于对电极的端部（2）之一（ 7），其牢固地连接到基板（3）。 电极（6）旨在使可变形桥（1）变形，使得桥（1）的下表面与形成在基板（3）上的接触元件（4）接触。 驱动电极（6）横向于桥（1）包括设置在桥（1）上的中心区（8）和至少一个突出的柔性侧凸缘（9）。 横向凸缘（9）可以通过设置在最靠近桥梁中心（C）的凸缘（9）侧的较窄的连接区域（10）连接到中心区域（8）。 此外，每个致动电极（6）可以包括分别设置在对应的中心区域（8）的任一侧上的一对侧向凸缘（9）。

公开(公告)号：WO2005015594A3

公开(公告)日：2005-02-17

申请号：PCT/FR2004/001988

申请日：2004-07-26

申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ,  CHARVET, Pierre-Louis

发明人： CHARVET, Pierre-Louis

IPC分类号： H01H59/00

摘要： Un pont (1) suspendu déformable est rattaché à un substrat (3) par deux pieds (7) disposés de manière à subdiviser le pont (1) transversalement en un segment médian (8) disposé entre les pieds (7) et deux segments périphériques (9) faisant saillie vers l'extérieur. Des actionneurs périphériques (11) et médians (10) permettent de déformer respectivement et indépendamment, les segments périphériques (9) et le segment médian (8) perpendiculairement au substrat (3). Ainsi, un contact électrique entre un premier élément (5) conducteur formé sur le substrat (3), entre le pont (1) et le substrat (3), et un deuxième élément (6) conducteur, solidaire d'une face inférieure du pont (1), peut être établi et interrompu, le commutateur prenant deux positions mécaniquement stables.