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    DISPOSITIF D'ENCAPSULATION HERMETIQUE DE COMPOSANT DEVANT ETRE PROTEGE DE TOUTE CONTRAINTE
    4.
    发明申请
    DISPOSITIF D'ENCAPSULATION HERMETIQUE DE COMPOSANT DEVANT ETRE PROTEGE DE TOUTE CONTRAINTE 审中-公开
    对所有应力必须保护的组件的渗透性包封装置

    公开(公告)号：WO2003041163A1

    公开(公告)日：2003-05-15

    申请号：PCT/FR2002/003524

    申请日：2002-10-15

    申请人： 3D PLUS ,  VAL, Christian

    发明人： VAL, Christian

    IPC分类号： H01L23/31

    CPC分类号： B81B7/0041 ,  B81B7/007 ,  G02B6/4201 ,  G02B6/4248 ,  G02B6/4251 ,  H01L23/10 ,  H01L23/315 ,  H01L23/34 ,  H01L31/0203 ,  H01L31/024 ,  H01L2224/16 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/16152

    摘要： L'invention concerne un dispositif d'encapsulation hermétiqe de composant devant être protégé toute contrainte. Le composant (5) est fixé sur un substrat (15) portant sur son autre face un élément de réglage de température (17) fixé par collage (16). Cet ensemble est disposé dans un boîtier en deux parties (11, 12) assemblées par collage (13) avec passage de liaisons optiques (6) et de connexions électriques (18, 142). Il est supporté par des protubérances (19) d'une partie (11) du boîtier. Sur l'autre partie (12) est collé un bloc (14) à interconnexions en trois dimensions formant l'électronique de régulation de température. Le bloc, le boîtier (11, 12) et une longueur minimum (L) des liaisons et connexions sont enrobés dans une couche de protection minérale (4'). L'invention s'applique notamment aux composants optoélectroniques et aux composants MEMS.

    摘要翻译： 本发明涉及一种用于密封封装必须防止所有应力的部件的装置。 上述组件（5）固定到具有粘合（16）的温度控制元件（17）的基板（15）的另一个面上。 所述组件设置在包括通过胶合（13）组装的两个部分（11,12）的壳体中，以及用于光学连接件（6）和电连接件（18,142）的通道。 所述部件由从壳体的一部分（11）突出的元件（19）支撑。 单元（14）被胶合到壳体的另一部分（12），所述单元包括形成温度调节电子器件的三维互连。 上述单元壳体（11,12）和连接件和连接件的最小长度（L）被包裹在矿物保护层（4'）中。 特别地，本发明可以用于光电子部件和MEMS部件。

    半導体圧力センサ装置
    5.
    发明申请
    半導体圧力センサ装置 审中-公开
    半导体压力传感器装置

    公开(公告)号：WO2016088756A1

    公开(公告)日：2016-06-09

    申请号：PCT/JP2015/083770

    申请日：2015-12-01

    申请人： 北陸電気工業株式会社

    发明人： 津幡　智志 ,  沢村　博之

    IPC分类号： G01L19/14

    CPC分类号： G01L19/14 ,  B81B7/0041 ,  B81B2201/0264 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0051

    摘要： 　コネクタ部の形状または構造の変更が容易で、しかも防水性能が高い半導体圧力センサ装置を提供する。端子ハウジング７と第２のケース５とが係合構造９ａ，９ｂを介して係合され、端子ハウジング７と第１のケース１とが嵌合構造１１ａ，１１ｂを介して嵌合されるので、第１のケース１と第２のケース５とは端子ハウジング７を介して相互に固定される。第１のケース１を第２のケース５内に嵌合して、端子ハウジング７を第１のケース１に嵌合させ、ほぼ同時に端子ハウジング７を第２のケース５に係合させる単純な一つの工程により、第１のケース１の開口部を覆うとともに、複数本のリード端子の他端に外部端子を接続可能にするコネクタ部を構成する。

    摘要翻译： 提供了一种半导体压力传感器，其使得连接器部件的形成和结构改进简单且高度防水。 由于端子壳体7和第二壳体5由接合机构9a，9b和端子壳体7接合，并且第一壳体1通过装配机构11a，11b配合在一起，所以第一壳体1和第二壳体5彼此固定 将第一壳体1装配到第二壳体5中的单个简单步骤，将端子壳体7与第一壳体1配合，并且大致同时地将端子壳体7与第二壳体5接合构造连接器 围绕第一壳体1的开口的部分，并且可以将外部端子连接到引线端子的多个另外的端部。

    MEMS DEVICE WITH OUTGASSING SHIELD
    6.
    发明申请
    MEMS DEVICE WITH OUTGASSING SHIELD 审中-公开
    具有外壳的MEMS器件

    公开(公告)号：WO2015061212A1

    公开(公告)日：2015-04-30

    申请号：PCT/US2014/061346

    申请日：2014-10-20

    申请人： ANALOG DEVICES, INC.

    发明人： CHEN, Li ,  NUNAN, Thomas Kieran ,  YANG, Kuang L.

    IPC分类号： B81B7/00

    CPC分类号： B81B7/0035 ,  B81B3/0094 ,  B81B7/0041 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2207/012 ,  B81B2207/095 ,  B81C1/00293 ,  B81C3/001 ,  B81C2203/019

    摘要： A capped micromachined device has a movable micromachined structure in a first hermetic chamber and one or more interconnections in a second hermetic chamber that is hermetically isolated from the first hermetic chamber, and a barrier layer on its cap where the cap faces the first hermetic chamber, such that the first hermetic chamber is isolated from outgassing from the cap.

    摘要翻译： 封盖的微加工装置在第一密封室中具有可移动的微机械加工结构，并且在与第一密封室气密隔离的第二密封室中的一个或多个互连以及其顶盖面向第一密封室的阻挡层， 使得第一密封室与盖的排气隔离。

    MEMS DIE AND METHODS WITH MULTIPLE-PRESSURE SEALING
    7.
    发明申请
    MEMS DIE AND METHODS WITH MULTIPLE-PRESSURE SEALING 审中-公开
    具有多压密封的MEMS模具和方法

    公开(公告)号：WO2014004700A1

    公开(公告)日：2014-01-03

    申请号：PCT/US2013/047942

    申请日：2013-06-26

    申请人： WISPRY, INC.

    发明人： MORRIS, Arthur, S. ,  DEREUS, Dana

    IPC分类号： B81B3/00 ,  H01L25/00

    CPC分类号： B81B7/0041 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00277 ,  B81C1/00293 ,  B81C2203/0136 ,  B81C2203/0145

    摘要： The present subject matter relates to systems and methods for sealing one or more MEMS devices within an encapsulated cavity. A first material layer can be positioned on a substrate, the first material layer comprising a first cavity and a second cavity that each have one or more openings out of the first material layer. At least the first cavity can be exposed to a first atmosphere and sealed while it is exposed to the first atmosphere while not sealing the second cavity. The second cavity can then be exposed to a second atmosphere that is different than the first atmosphere, and the second cavity can be sealed while it is exposed to the second atmosphere.

    摘要翻译： 本主题涉及用于密封封装空腔内的一个或多个MEMS器件的系统和方法。 第一材料层可以定位在基底上，第一材料层包括第一腔和第二腔，每个腔具有一个或多个开口离开第一材料层。 至少第一空腔可以暴露于第一气氛并且在暴露于第一气氛的同时不密封第二空腔时被密封。 然后可以将第二空腔暴露于与第一气氛不同的第二气氛，并且第二空腔可以在暴露于第二气氛期间被密封。

    MEMBRANE PERFECTIONNEE NOTAMMENT POUR DISPOSITIF OPTIQUE A MEMBRANE DEFORMABLE
    8.
    发明申请
    MEMBRANE PERFECTIONNEE NOTAMMENT POUR DISPOSITIF OPTIQUE A MEMBRANE DEFORMABLE 审中-公开
    改进的膜，特别适用于具有可变膜的光学装置

    公开(公告)号：WO2009130171A1

    公开(公告)日：2009-10-29

    申请号：PCT/EP2009/054621

    申请日：2009-04-17

    申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ,  BOLIS, Sébastien ,  BARBE, Jean-Charles ,  CHARVET, Pierre-Louis

    发明人： BOLIS, Sébastien ,  BARBE, Jean-Charles ,  CHARVET, Pierre-Louis

    IPC分类号： G02B26/08 ,  G02B3/14 ,  G02B5/08 ,  G02C7/08 ,  G02B1/06 ,  B81B3/00

    CPC分类号： B81B3/0021 ,  B81B7/0041 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0307 ,  B81B2203/053 ,  B81C2203/0109 ,  G02B1/06 ,  G02B3/14 ,  G02B26/0825

    摘要： II s'agit d'un dispositif optique comprenant une membrane (2) déformable comportant un film (20) souple possédant au moins une zone d'ancrage (2.3) périphérique, une zone centrale (2.1), une zone intermédiaire (2.2) entre la zone centrale (2.1) et la zone d'ancrage (2.3). La membrane comporte de plus une ou plusieurs parties mobiles (5.1) de moyens d' actionnement électrostatiques (5) formées chacune d'une jambe (5.11) se terminant d'un côté par un pied (5.12) solidaire mécaniquement d'une région de solidarisation (200) du film située dans la zone intermédiaire (2.2) et de l'autre par une extrémité libre (5.13). Les jambes (5.11) intègrent une électrode mobile (5.2), l'extrémité libre (5.13) devant être attirée par une électrode fixe (6.2) des moyens d' actionnement (5). L'extrémité libre est placée en regard de l'extrémité libre (5.13) afin de déformer au moins la zone centrale (2.1) de la membrane (2).

    摘要翻译： 本发明涉及一种具有可变形膜（2）的光学装置，该可变形膜包括柔性膜（20），该柔性膜具有至少一个外围锚定区域（2.3），中心区域（2.1）和中间区域（2.2） 2.1）和锚固区（2.3）。 膜还包括一个或多个静电致动装置（5）的可移动部分（5.1），每个可移动部分由从机器上紧固到胶片紧固区域的脚部（5.12）中的一侧终止的腿部（5.11）形成 200），并且在另一侧终止于自由端（5.13）。 腿部（5.11）包括可动电极（5.2），自由端（5.13）必须被致动装置（5）的固定电极（6.2）吸引。 自由端面向自由端（5.13）放置，以至少使膜（2）的中心区域（2.1）变形。

    MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT MEHREREN KAMMERN UND HERSTELLUNGSVERFAHREN
    9.
    发明申请
    MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT MEHREREN KAMMERN UND HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
    具有多个室和方法的微机械部件

    公开(公告)号：WO2005118463A1

    公开(公告)日：2005-12-15

    申请号：PCT/EP2005/051917

    申请日：2005-04-28

    申请人： ROBERT BOSCH GMBH ,  FISCHER, Frank ,  GRAF, Eckhard ,  STAHL, Heiko ,  KUEPPERS, Hartmut ,  SCHEUERER, Roland

    发明人： FISCHER, Frank ,  GRAF, Eckhard ,  STAHL, Heiko ,  KUEPPERS, Hartmut ,  SCHEUERER, Roland

    IPC分类号： B81B7/00

    CPC分类号： B81B7/0041 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/025 ,  B81C2201/019 ,  B81C2203/0145

    摘要： Die Erfindung beschreibt ein mikromechanisches Bauelement mit wenigstens zwei Kavernen, wobei die Kavernen von einem mikromechanischen Bauteil und einer Kappe begrenzt sind, wobei die Kavernen unterschiedliche atmosphärische Innendrücke aufweisen. Die Erfindung beschreibt weiterhin ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements mit wenigstens zwei Kavernen, wobei die Kavernen von einem mikromechanischen Bauteil und einer Kappe begrenzt sind. Dabei werden das mikromechanische Bauteil und die Kappe bei einem ersten vorgebbaren atmosphärischen Druck hermetisch miteinander verbunden. Danach wird ein Zugang zu wenigstens einer Kaverne erzeugt, und anschliessend wird der Zugang bei einem zweiten vorgebbaren atmosphärischen Druck hermetisch verschlossen.

    摘要翻译： 本发明描述了一种具有至少两个腔的微机械部件，其中一个微机械部件和盖的空腔是有限的，其中所述空腔具有不同的内部大气压。 本发明进一步描述了一种用于制造具有至少两个腔的微机械部件，其中一个微机械部件和盖的空腔是有限的处理。 在这种情况下，微机械部件，并且在第一预定大气压力盖气密地互相连接。 此后，产生至少一个腔体的访问，然后在一第二预定大气压力的访问被密封。