公开(公告)号：WO2010034556A2

公开(公告)日：2010-04-01

申请号：PCT/EP2009/060131

申请日：2009-08-05

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  SATTLER, Robert ,  MEISEL, Daniel Christoph ,  HAUER, Joerg

Inventor： SATTLER, Robert ,  MEISEL, Daniel Christoph ,  HAUER, Joerg

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/56 ,  Y10T29/49826

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Koppelstruktur (40) für eine Drehratensensorvorrichtung mit mindestens einer ersten Schwingmasse (42a); und einem die erste Schwingmasse (42a) umgebenden ersten Rahmen, an welchen die erste Schwingmasse (42a) gekoppelt ist; wobei der erste Rahmen vier Winkelelemente (10a,10b,10c,10d) umfasst, von denen jedes der Winkelelemente (10a,10b,10c,10d) mindestens einen ersten Schenkel und einen zweiten Schenkel aufweist und mit dem ersten Schenkel und mit dem zweiten Schenkel jeweils an ein anderes benachbartes Winkelelement (10a,10b,10c,10d) der vier Winkelelemente (10a,10b,10c,10d) gekoppelt ist. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung eine weitere Koppelstruktur (40) für eine Drehratensensorvorrichtung, eine Drehratensensorvorrichtung, Herstellungsverfahren für eine Koppelstruktur (40) für eine Drehratensensorvorrichtung und ein Herstellungsverfahren für eine Drehratensensorvorrichtung.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于具有至少一个第一振动质量（42a）的旋转速率传感器装置的耦合结构（40）。 以及围绕所述第一振荡质量（42a）与所述第一振荡质量（42a）耦合的第一框架; 其中，所述第一帧中的四个角元件（10A，10B，10C，10D），其中之一的每个角元件（10A，10B，10C，10D）具有至少一个第一腿部和第二腿部和所述第一腿部和所述第二腿部 每个与四个角元件（10a，10b，10c，10d）的另一个相邻角元件（10a，10b，10c，10d）耦合。 此外，本发明提供了一种用于导航中使用的另外的耦合结构（40）是关于为r的横摆率传感器装置，用于导航使用横摆率传感器装置的制造方法r用于导航使用的耦合结构（40）R偏航速率传感器装置和用于导航用途的制造方法。R为横摆率传感器设备

公开(公告)号：WO2003058166A1

公开(公告)日：2003-07-17

申请号：PCT/DE2002/003622

申请日：2002-09-25

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  WILLIG, Rainer ,  FRANZ, Jochen ,  KUHLMANN, Burkhard ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  MAURER, Dieter ,  DOERING, Christian ,  BAUER, Wolfram ,  BISCHOF, Udo ,  NEUL, Reinhard ,  CLASSEN, Johannes ,  LANG, Christoph ,  FREY, Jens

Inventor： WILLIG, Rainer ,  FRANZ, Jochen ,  KUHLMANN, Burkhard ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  MAURER, Dieter ,  DOERING, Christian ,  BAUER, Wolfram ,  BISCHOF, Udo ,  NEUL, Reinhard ,  CLASSEN, Johannes ,  LANG, Christoph ,  FREY, Jens

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat und einem Coriolis-Element (2a, 2b) vorgeschlagen, wobei das Coriolis-Element (2a, 2b) über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist, wobei Anregungsmittel (12a, 13a, 12b, 13b) vorgesehen sind, durch die das Coriolis-Element (2a, 2b) zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse (X) anregbar ist, wobei Detektionsmittel (15a, 16a, 15b, 16b, 17) vorgesehen sind, durch die eine Auslenkung der Coriolis Elemente (2a, 2b) aufgrund einer Coriolis-Kraft in einer zweiten Achse (Y), die im senkrecht zu der ersten Achse vorgesehen ist, nachweisbar sind, wobei die erste und zweite Achse (X, Y) parallel zur Oberfläche des Substrats sind, wobei gegenüber dem Substrat zumindest teilweise beweglich vorgesehene Sensorelemente (1a, 1b, 2a, 2b, 3a, 3b) vorgesehen sind, wobei kraftvermittelnde Mittel (19, 20) vorgesehen sind, wobei die Mittel (19, 20) vorgesehen sind, eine statische Kraftwirkung zwischen dem Substrat und wenigstens einem der Sensorelemente (1a, 1b, 2a, 2b, 3a, 3b) zu vermitteln.

Abstract translation: 会有具有基底和一个科里奥利元件的横摆率传感器（2A，2B）的建议，其中，所述科里奥利元件（2A，2B）被布置在衬底的表面上，所述（12A，13A，12B，13B）被提供激励装置 通过该科里奥利元件（2A，2B）是可激发的振动平行于第一轴线（X），其中，设置检测装置（15A，16A，15B，16B，17）（由科里奥利元件2a的偏转 ，2B）由于在第二轴（Y），其在垂直设置于所述第一轴的科里奥利力，被检测的，所述第一和第二轴线（X，Y）是平行于衬底的表面上，相对于 基板至少部分地可移动地设置传感器元件（1A，3B 1B，2A，2B，3A）被提供，所述力施加装置（19，20）设置，所述装置（19，20）设置，所述基板之间的静态力 和的Senso中的至少一个 relemente（1A，1B，2A，2B，3A，3B）通信。

公开(公告)号：WO2011051065A1

公开(公告)日：2011-05-05

申请号：PCT/EP2010/064321

申请日：2010-09-28

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  CLASSEN, Johannes ,  GRACKI, Sebastian ,  HEITZ, Markus ,  SATTLER, Robert ,  HAUER, Joerg ,  GAUGER, Christoph ,  BALSLINK, Thorsten

Inventor： CLASSEN, Johannes ,  GRACKI, Sebastian ,  HEITZ, Markus ,  SATTLER, Robert ,  HAUER, Joerg ,  GAUGER, Christoph ,  BALSLINK, Thorsten

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/574

Abstract: Es wird ein Drehratensensor mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisenden Substrat und einem ersten und zweiten Corioliselement vorgeschlagen, wobei das erste Corioliselement zu einer ersten Schwingung parallel zu einer zur Haupterstreckungsebene parallelen ersten Achse anregbar ist, wobei eine Corioliskraft eine erste Auslenkung des ersten Corioliselements in Richtung einer im wesentlichen zur ersten Achse senkrechten zweiten Achse bewirkt, wobei das zweite Corioliselement parallel zur Haupterstreckungsebene neben dem ersten Corioliselement angeordnet ist, wobei das zweite Corioliselement zu einer zweiten Schwingung parallel zur ersten Achse anregbar ist, wobei eine Corioliskraft eine zweite Auslenkung des zweiten Corioliselements in Richtung der zweiten Achse bewirkt, wobei die Schwingungen des ersten und zweiten Corioliselementes parallel zur zweiten Achse einen Störeigenmode mit einer ersten Eigenfrequenz und einen Detektionseigenmode mit einer zweiten Eigenfrequenz aufweisen, wobei im Störeigenmode die Auslenkungen des ersten und des zweiten Corioliselementes parallel zur zweiten Achse gleichsinnig sind und wobei im Detektionseigenmode die Auslenkungen des ersten und des zweiten Corioliselementes parallel zur zweiten Achse gegensinnig sind, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Corioliselement über ein Koppelelement mit dem zweiten Corioliselement derart verbunden ist, dass die erste Eigenfrequenz größer ist als die zweite Eigenfrequenz, wobei das Koppelelement am Substrat angebunden ist.

Abstract translation: 所以建议与主基底具有平面和第一和第二科里奥利旋转率传感器，其特征在于，所述第一科里奥利被激发到第一振荡平行于平行于所述第一轴线的主延伸平面的平面上的，一个科里奥利力的第一科里奥利的第一偏转朝向 基本上使所述第一轴垂直于所述第二轴线，所述第二科里奥利被布置为平行于主平面邻近所述第一科里奥利，其中所述第二科里奥利平行于所述第一轴线的可受激的第二振荡，在方向上的第二科里奥利的第二偏转的方法，其中的科里奥利力 第二轴线导致第一和第二Corioliselementes的振动包括平行于所述第二轴线具有第一固有频率一个Störeigenmode和检测本​​征模具有第二固有频率 其中所述第一和第二Corioliselementes的偏转是平行于在Störeigenmode相同方向上的第二轴，并且其中所述第一和第二Corioliselementes的位移平行于在检测的本征模式相反的方向上的第二轴，其特征在于，所述第一科里奥利第二经由与联接元件 科里奥利被连接，使得第一固有频率比第2共振频率，其中，所述耦合元件被附接到基板越大。

公开(公告)号：WO2010034550A1

公开(公告)日：2010-04-01

申请号：PCT/EP2009/060019

申请日：2009-08-03

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  MEISEL, Daniel Christoph ,  HAUER, Joerg

Inventor： MEISEL, Daniel Christoph ,  HAUER, Joerg

IPC: G01P15/125 ,  G01C19/56 ,  B81B3/00

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/0235

Abstract: Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Sensor mit mindestens einem beweglich gelagerten Messelement, welches mindestens einer ortsfest angeordneten Elektrode gegenüber steht, wobei die Elektrode in einer ersten Ebene angeordnet ist und von mindestens einer Leiterbahn kontaktiert wird, welche in einer zweiten Ebene angeordnet ist, wobei sich zwischen der ersten Ebene und der zweiten Ebene eine dritte Ebene befindet, welche ein elektrisch leitfähiges Material umfasst.

Abstract translation: 本发明涉及与作为相对地放置至少一个固定电极的至少一个可移动地安装测量元件的微机械传感器，其中所述电极被设置在第一平面中，并且通过被布置在第二平面中的至少一个导体轨道接触，在它们之间 第一级和第二级是第三级，其包含导电材料。

公开(公告)号：WO2009062786A1

公开(公告)日：2009-05-22

申请号：PCT/EP2008/063228

申请日：2008-10-02

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  NEUL, Reinhard ,  CLASSEN, Johannes ,  OHMS, Torsten ,  KUHLMANN, Burkhard ,  FRANKE, Axel ,  KOHN, Oliver ,  MEISEL, Daniel Christoph ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  KEHR, Kersten

Inventor： NEUL, Reinhard ,  CLASSEN, Johannes ,  OHMS, Torsten ,  KUHLMANN, Burkhard ,  FRANKE, Axel ,  KOHN, Oliver ,  MEISEL, Daniel Christoph ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  KEHR, Kersten

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/574 ,  F16F1/025 ,  G01C19/5747 ,  G01P3/44

Abstract: Drehratensensor mit einem Substrat und einer Mehrzahl von beweglichen Teilstrukturen, die über einer Oberfläche des Substrats angeordnet sind, wobei die beweglichen Teilstrukturen an ein gemeinsames, insbesondere ein zentrales, Federelement gekoppelt sind, wobei Mittel vorgesehen sind, um die beweglichen Teilstrukturen zu einer gekoppelten Schwingung in einer zur Oberfläche des Substrats parallelen Ebene anzuregen, wobei die beweglichen Teilstrukturen Coriolis-Elemente aufweisen, wobei Mittel vorgesehen sind, durch eine Coriolis-Kraft verursachte Auslenkungen der Coriolis-Elemente nachzuweisen, wobei ein erstes Coriolis-Element zum Nachweis einer Drehrate um eine erste Achse vorgesehen ist, wobei ein zweites Coriolis-Element zum Nachweis einer Drehrate um eine zweiten Achse vorgesehen ist, wobei die zweite Achse senkrecht zur ersten Achse ausgerichtet ist.

Abstract translation: 具有基板和多个可动子，其被布置在所述基板，其中，所述可动部结构被耦合到公共的表面上的，特别是中央，弹簧元件，其中，在被提供用于可动子的耦合后的振动的装置的横摆率传感器 平行的平面内激发于衬底平面的表面，所述可动部分的结构科里奥利元件，所述设置装置，用于检测由科里奥利元件的科里奥利力挠曲，导致其中，用于检测绕第一轴线旋转的速率的第一科里奥利元件 设置，其中，用于检测的旋转速度的第二科里奥利元件围绕第二轴线设置，第二轴线垂直于第一轴线取向。

公开(公告)号：WO2004020947A1

公开(公告)日：2004-03-11

申请号：PCT/DE2003/000590

申请日：2003-02-25

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  MAURER, Dieter ,  HAUER, Joerg

Inventor： MAURER, Dieter ,  HAUER, Joerg

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5712

Abstract: Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat (100) und einer Schwungmasse (10) vorgeschlagen, wobei eine Biegefedereinrichtung (301-308) eine Krümmung (331) an ihrem Verankerungsbereich aufweist.

Abstract translation: 还提出了具有基板（100）和飞轮（10），其中的挠曲弹簧装置（301-308）在其锚定区域中的弯曲部（331）的偏航率传感器。

公开(公告)号：WO2003064975A1

公开(公告)日：2003-08-07

申请号：PCT/DE2002/003570

申请日：2002-09-23

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  WILLIG, Rainer ,  THOMAE, Andreas ,  KUHLMANN, Burkhard ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  GOETZ, Siegbert ,  DOERING, Christian ,  FEHRENBACH, Michael ,  BAUER, Wolfram ,  BISCHOF, Udo ,  NEUL, Reinhard ,  FUNK, Karsten ,  LUTZ, Markus ,  WUCHER, Gerhard ,  FRANZ, Jochen

Inventor： WILLIG, Rainer ,  THOMAE, Andreas ,  KUHLMANN, Burkhard ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  GOETZ, Siegbert ,  DOERING, Christian ,  FEHRENBACH, Michael ,  BAUER, Wolfram ,  BISCHOF, Udo ,  NEUL, Reinhard ,  FUNK, Karsten ,  LUTZ, Markus ,  WUCHER, Gerhard ,  FRANZ, Jochen

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: Die Erfindung schafft einen mikromechanischen Drehratensensor mit einem ersten Coriolis-Massenelement (2a) und einem zweiten Coriolis-Massenelement (2b), welche über einer Oberfläche eines Substrats (100) angeordnet sind; einer Antriebseinrichtung, durch die das erste Coriolis-Massenelement (2a) und das zweite Coriolis-Massenelement (2b) zu Schwingungen entlang einer ersten Achse (x) antreibbar sind; und einer Erfassungseinrichtung, durch die Auslenkungen des ersten Coriolis-Massenelements (2a) und des zweiten Coriolis-Massenelements (2b) entlang einer zweiten Achse (y), die senkrecht zur ersten Achse (x) ist, aufgrund einer entsprechend wirkenden Coriolis-Kraft erfaßbar sind; wobei die erste Achse (x) und die zweite Achse (y) parallel zur Oberfläche des Substrats (100) verlaufen; die Erfassungseinrichtung eine erste Erfassungs-Masseneinrichtung (3a, 3a`) und eine zweite Erfassungs-Masseneinrichtung (3b, 3b`) aufweist; und die Schwerpunkte des ersten Coriolis-Massenelements (2a), des zweiten Coriolis-Massenelements (2b), der ersten Erfassungs-Masseneinrichtung (3a, 3a`) und der zweiten Erfassungs-Masseneinrichtung (3b, 3b`) im Ruhezustand in einem gemeinsamen Massenschwerpunkt (SP) zusammen fallen.

Abstract translation: 本发明提供了具有第一科里奥利质量元件（2a）和被布置在基板（100）的一个表面上的第二科里奥利质量元件（2b）中的微机械旋转速率传感器; 一个驱动装置由所述第一科里奥利质量元件（2a）和第二科里奥利质量元件（2b）中，以沿第一轴（x）的振荡能够被驱动; 和检测装置，通过垂直于所述第一轴线的第一科里奥利质量元件（2a）和第二科里奥利质量元件（2b）中沿第二轴（y）的偏转（x）被检测到由于相应作用的科里奥利力 是; 其中延伸的第一轴（x）和第二轴（y）平行于所述基板（100）的表面上; 所述感测装置包括第一检测质量装置（3A，3a`）和第二检测质量装置（3b，3b`）; 和第一科里奥利质量元件（2a）的联络点，所述第二科里奥利质量元件（2b）中，第一检测质量装置（3A，3a`）和所述第二检测质量装置（3b，3b`）静止在重力的共同中心 （SP）重合。

公开(公告)号：WO2002066927A1

公开(公告)日：2002-08-29

申请号：PCT/DE2001/004858

申请日：2001-12-21

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  WILLIG, Rainer ,  THOMAE, Andreas ,  KUHLMANN, Burkhard ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  GOETZ, Siegbert ,  DOERING, Christian ,  FEHRENBACH, Michael ,  BAUER, Wolfram ,  BISCHOF, Udo ,  NEUL, Reinhard ,  FUNK, Karsten ,  LUTZ, Markus ,  WUCHER, Gerhard ,  FRANZ, Jochen

Inventor： WILLIG, Rainer ,  THOMAE, Andreas ,  KUHLMANN, Burkhard ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  GOETZ, Siegbert ,  DOERING, Christian ,  FEHRENBACH, Michael ,  BAUER, Wolfram ,  BISCHOF, Udo ,  NEUL, Reinhard ,  FUNK, Karsten ,  LUTZ, Markus ,  WUCHER, Gerhard ,  FRANZ, Jochen

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: Es wird ein Drehratensensor mit einem Coriolis-Elemente (100) vorgeschlagen, das über einer Oberfläche (1) eines Substrats angeordnet ist. Das Coriolis-Element (100) wird zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse X angeregt. Durch eine Coriolis-Kraft wird das Coriolis-Element (100) in einer zweiten Achse Y, die senkrecht zu der ersten Achse Y ist, ausgelenkt. Für den Nachweis der Auslenkung ist ein Nachweiselement (140) vorgesehen.

Abstract translation: 因此建议用科里奥利元件（100）的旋转率传感器，其被布置在基板的一个表面（1）上。 科里奥利元件（100）被激励而振荡平行于第一轴线X 由科里奥利力，在第二轴线Y的科里奥利元件（100）垂直于第一轴线Y，被偏转。 用于检测的检测元件的偏转的（140）被提供。

公开(公告)号：WO2009103370A1

公开(公告)日：2009-08-27

申请号：PCT/EP2008/066026

申请日：2008-11-21

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  MEISEL, Daniel Christoph ,  HAUER, Joerg

Inventor： MEISEL, Daniel Christoph ,  HAUER, Joerg

IPC: G01C19/56 ,  G01P9/04

CPC classification number: G01C19/5712

Abstract: Die Erfindung geht aus von einer mikromechanischen Vorrichtung mit einem Antrieb (10) und einem Schwinger (20) wobei der Schwinger (20) mittels des Antriebs (10) zu einer Drehschwingung antreibbar ist. Der Kern der Erfindung besteht darin, daß der Schwinger (20) wenigstens zwei Schwingmassen (200) umfaßt, welche mittels des Antriebs (10) zu einer gegensinnigen Drehschwingung antreibbar sind.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有驱动器（10）和振子（20），其中所述振荡器（20）由所述驱动器（10）的装置是可驱动的，以旋转振荡的微机械装置。 本发明的本质在于，所述振动器（20）包括至少两个振动质量（200），其可通过所述驱动（10）来驱动，以相对的扭转振动。

公开(公告)号：WO2008015044A1

公开(公告)日：2008-02-07

申请号：PCT/EP2007/055597

申请日：2007-06-06

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  NEUL, Reinhard ,  KEHR, Kersten ,  CLASSEN, Johannes ,  FRANKE, Axel ,  QUANDER, Marco

Inventor： HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  NEUL, Reinhard ,  KEHR, Kersten ,  CLASSEN, Johannes ,  FRANKE, Axel ,  QUANDER, Marco

IPC: G01C19/56 ,  G01P9/04

CPC classification number: G01C19/5762 ,  G01C19/5747

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drehratensensor mit einem Antriebsmassenelement (13), das über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist und durch eine Antriebseinrichtung (18) entlang einer ersten Achse (y), die entlang der Oberfläche verläuft, zu Schwingungen antreibbar ist, einem Erfassungsmassenelement (14), das entlang einer zweiten Achse (z), die senkrecht zur Oberfläche verläuft, unter Einwirkung einer Coriolis-Kraft auslenkbar ist, und einer Erfassungseinrichtung, durch welche die Auslenkung des Erfassungsmassen- Elements (14) entlang der zweiten Achse (z) erfaßbar ist. Durch die Anordnung der zweiten Achse (z) senkrecht zur Oberfläche kann der Drehratensensor zusammen mit weiteren Drehra tensensoren, die zur Erfassung von Drehungen um anders gerichtete Drehachsen geeignet sind, auf einem Chip integriert werden.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有驱动质量元件的旋转速度传感器（13）设置在由沿第一轴（y），它沿所述表面振动运行的驱动装置（18）的基板的与表面可以被驱动，（检测质量元件 14），其是沿第二轴（z偏转）垂直于科里奥利力的作用下的表面上，和检测装置，通过它可以检测到沿所述第二轴（z的Erfassungsmassen-元件（14）的偏转） 是。 所述第二轴线（Z）的垂直于旋转率传感器的表面上的布置可以几十传感器，进一步Drehra一起适合用于检测绕定向不同的旋转轴的旋转，在一个芯片上集成。