公开(公告)号：WO2006072531A1

公开(公告)日：2006-07-13

申请号：PCT/EP2005/056658

申请日：2005-12-09

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  SCHWARZ, Hans-Dieter ,  GANGEI, Arnd ,  BAUER, Wolfram ,  WUCHER, Gerhard ,  LANG, Christoph ,  ESCH, Ermin ,  VEITH, Michael ,  MAYER, Thomas ,  BROCKMANN, Markus

Inventor： SCHWARZ, Hans-Dieter ,  GANGEI, Arnd ,  BAUER, Wolfram ,  WUCHER, Gerhard ,  LANG, Christoph ,  ESCH, Ermin ,  VEITH, Michael ,  MAYER, Thomas ,  BROCKMANN, Markus

IPC: G01C19/56 ,  H03B5/30

CPC classification number: G01C19/56

Abstract: Die Erfindung geht aus von einem Schwingkreis mit einem analogen Schwingungselement (SE) . Der Kern der Erfindung besteht darin, dass der Schwingkreis wenigstens ein analog zu digital wandelndes Mittel (A/D) enthält. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Betrieb eines Schwingkreises, bei dem ein mechanischer Schwinger (SE) eine Schwingung mit einer Eigenfrequenz ausführt. Die Schwingungsamplitude wird gemessen (Dl, D2) und digitalisiert (A/D) Mit einem digitalen Amplitudenregler (AGC) wird daraus ein digitales Regelsignal (210) erzeugt, aus dem wiederum ein Antriebssignal (120) erzeugt wird, welches mit Hilfe eines Antriebes (Al, A2) den mechanischen Schwinger (SE) antreibt. Dieser Regelkreis stabilisiert die Schwingungsamplitude.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有模拟振荡元件（SE）的谐振电路。 本发明的核心是，所述谐振电路包括至少一个模拟到数字的行走装置（A / D）。 本发明还涉及一种用于操作，其中，机械振荡器（SE）执行具有固有频率的振动的谐振电路的方法。 振荡幅度被测量（DL，D2）和数字化（A / D）使用数字幅值控制器（AGC），由此产生数字控制信号（210）时，产生从后者又一个驱动信号（120）（与驱动的辅助 人，A2）驱动机械振荡器（SE）。 该控制回路稳定的振荡幅度。

公开(公告)号：WO2006008207A1

公开(公告)日：2006-01-26

申请号：PCT/EP2005/052476

申请日：2005-05-31

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  HELLWIG, Wolfgang ,  WREDE, Martin ,  WUCHER, Gerhard ,  DROSTE, Dirk ,  WALKER, Thomas

Inventor： HELLWIG, Wolfgang ,  WREDE, Martin ,  WUCHER, Gerhard ,  DROSTE, Dirk ,  WALKER, Thomas

IPC: H03M3/02

CPC classification number: G01D5/24 ,  G01P15/125 ,  H03M3/39 ,  H03M3/43 ,  H03M3/456

Abstract: Die Erfindung geht von einer Schaltung zur Wandlung der kapazitiven Signaländerung eines Differential-Kondensators in digitale Signale aus, wobei die Schaltung einen Sigma-Delta-Modulator beinhaltet. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass der Differentialkondensator Bestandteil der Signalzuführungsstruktur und der Referenzrückkopplungsstruktur des Sigma-Delta-Modulators ist.

Abstract translation: 本发明涉及一种电路，用于差分电容器的电容变化信号转换成数字信号，该电路包括一个Σ-Δ调制器。 本发明的核心是，差动电容是信号馈电结构的一个部件和所述Σ-Δ调制器的参考反馈结构。

公开(公告)号：WO2003064975A1

公开(公告)日：2003-08-07

申请号：PCT/DE2002/003570

申请日：2002-09-23

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  WILLIG, Rainer ,  THOMAE, Andreas ,  KUHLMANN, Burkhard ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  GOETZ, Siegbert ,  DOERING, Christian ,  FEHRENBACH, Michael ,  BAUER, Wolfram ,  BISCHOF, Udo ,  NEUL, Reinhard ,  FUNK, Karsten ,  LUTZ, Markus ,  WUCHER, Gerhard ,  FRANZ, Jochen

Inventor： WILLIG, Rainer ,  THOMAE, Andreas ,  KUHLMANN, Burkhard ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  GOETZ, Siegbert ,  DOERING, Christian ,  FEHRENBACH, Michael ,  BAUER, Wolfram ,  BISCHOF, Udo ,  NEUL, Reinhard ,  FUNK, Karsten ,  LUTZ, Markus ,  WUCHER, Gerhard ,  FRANZ, Jochen

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: Die Erfindung schafft einen mikromechanischen Drehratensensor mit einem ersten Coriolis-Massenelement (2a) und einem zweiten Coriolis-Massenelement (2b), welche über einer Oberfläche eines Substrats (100) angeordnet sind; einer Antriebseinrichtung, durch die das erste Coriolis-Massenelement (2a) und das zweite Coriolis-Massenelement (2b) zu Schwingungen entlang einer ersten Achse (x) antreibbar sind; und einer Erfassungseinrichtung, durch die Auslenkungen des ersten Coriolis-Massenelements (2a) und des zweiten Coriolis-Massenelements (2b) entlang einer zweiten Achse (y), die senkrecht zur ersten Achse (x) ist, aufgrund einer entsprechend wirkenden Coriolis-Kraft erfaßbar sind; wobei die erste Achse (x) und die zweite Achse (y) parallel zur Oberfläche des Substrats (100) verlaufen; die Erfassungseinrichtung eine erste Erfassungs-Masseneinrichtung (3a, 3a`) und eine zweite Erfassungs-Masseneinrichtung (3b, 3b`) aufweist; und die Schwerpunkte des ersten Coriolis-Massenelements (2a), des zweiten Coriolis-Massenelements (2b), der ersten Erfassungs-Masseneinrichtung (3a, 3a`) und der zweiten Erfassungs-Masseneinrichtung (3b, 3b`) im Ruhezustand in einem gemeinsamen Massenschwerpunkt (SP) zusammen fallen.

Abstract translation: 本发明提供了具有第一科里奥利质量元件（2a）和被布置在基板（100）的一个表面上的第二科里奥利质量元件（2b）中的微机械旋转速率传感器; 一个驱动装置由所述第一科里奥利质量元件（2a）和第二科里奥利质量元件（2b）中，以沿第一轴（x）的振荡能够被驱动; 和检测装置，通过垂直于所述第一轴线的第一科里奥利质量元件（2a）和第二科里奥利质量元件（2b）中沿第二轴（y）的偏转（x）被检测到由于相应作用的科里奥利力 是; 其中延伸的第一轴（x）和第二轴（y）平行于所述基板（100）的表面上; 所述感测装置包括第一检测质量装置（3A，3a`）和第二检测质量装置（3b，3b`）; 和第一科里奥利质量元件（2a）的联络点，所述第二科里奥利质量元件（2b）中，第一检测质量装置（3A，3a`）和所述第二检测质量装置（3b，3b`）静止在重力的共同中心 （SP）重合。

公开(公告)号：WO2002066927A1

公开(公告)日：2002-08-29

申请号：PCT/DE2001/004858

申请日：2001-12-21

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  WILLIG, Rainer ,  THOMAE, Andreas ,  KUHLMANN, Burkhard ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  GOETZ, Siegbert ,  DOERING, Christian ,  FEHRENBACH, Michael ,  BAUER, Wolfram ,  BISCHOF, Udo ,  NEUL, Reinhard ,  FUNK, Karsten ,  LUTZ, Markus ,  WUCHER, Gerhard ,  FRANZ, Jochen

Inventor： WILLIG, Rainer ,  THOMAE, Andreas ,  KUHLMANN, Burkhard ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  GOETZ, Siegbert ,  DOERING, Christian ,  FEHRENBACH, Michael ,  BAUER, Wolfram ,  BISCHOF, Udo ,  NEUL, Reinhard ,  FUNK, Karsten ,  LUTZ, Markus ,  WUCHER, Gerhard ,  FRANZ, Jochen

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: Es wird ein Drehratensensor mit einem Coriolis-Elemente (100) vorgeschlagen, das über einer Oberfläche (1) eines Substrats angeordnet ist. Das Coriolis-Element (100) wird zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse X angeregt. Durch eine Coriolis-Kraft wird das Coriolis-Element (100) in einer zweiten Achse Y, die senkrecht zu der ersten Achse Y ist, ausgelenkt. Für den Nachweis der Auslenkung ist ein Nachweiselement (140) vorgesehen.

Abstract translation: 因此建议用科里奥利元件（100）的旋转率传感器，其被布置在基板的一个表面（1）上。 科里奥利元件（100）被激励而振荡平行于第一轴线X 由科里奥利力，在第二轴线Y的科里奥利元件（100）垂直于第一轴线Y，被偏转。 用于检测的检测元件的偏转的（140）被提供。

公开(公告)号：WO2002066929A1

公开(公告)日：2002-08-29

申请号：PCT/DE2002/000524

申请日：2002-02-14

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  WILLIG, Rainer ,  THOMAE, Andreas ,  KUHLMANN, Burkhard ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  GOETZ, Siegbert ,  DOERING, Christian ,  FEHRENBACH, Michael ,  BAUER, Wolfram ,  BISCHOF, Udo ,  NEUL, Reinhard ,  FUNK, Karsten ,  LUTZ, Markus ,  WUCHER, Gerhard ,  FRANZ, Jochen

Inventor： WILLIG, Rainer ,  THOMAE, Andreas ,  KUHLMANN, Burkhard ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  GOETZ, Siegbert ,  DOERING, Christian ,  FEHRENBACH, Michael ,  BAUER, Wolfram ,  BISCHOF, Udo ,  NEUL, Reinhard ,  FUNK, Karsten ,  LUTZ, Markus ,  WUCHER, Gerhard ,  FRANZ, Jochen

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: Es wird ein Drehratensensor mit einem ersten und einem zweiten Coriolis-Elemente (100, 200) vorgeschlagen, die nebeneinander über einer Oberfläche (1) eines Substrats angeordnet sind. Die Coriolis-Elemente (100, 200) werden zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse Y angeregt. Durch eine Coriolis-Kraft werden die Coriolis-Elemente (100, 200) in einer zweiten Achse X, die senkrecht zu der ersten Achse Y ist, ausgelenkt. Die Schwingungen des ersten und zweiten Coriolis-Elementes (100, 200) erfolgen gegenphasig zueinander auf Bahnen, die ohne die Wirkung einer Coriolis-Kraft zwei zueinander parallele Geraden sind.

Abstract translation: 还提出了具有第一和第二科里奥利元件被并排地布置在衬底上的一个表面（1）（100，200）的偏航率传感器。 科里奥利元件（100，200）被激励振动平行于第一轴线Y. 由科里奥利力，科里奥利元件（100，200）在第二轴线X垂直于所述第一轴线Y偏转 第一和第二科里奥利元件（100，200）的振动发生在相反的相位彼此上纤维网，其是两个相互平行的直线的情况下的科里奥利力的作用。

公开(公告)号：WO2002066928A1

公开(公告)日：2002-08-29

申请号：PCT/DE2002/000499

申请日：2002-02-13

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  WILLIG, Rainer ,  THOMAE, Andreas ,  KUHLMANN, Burhard ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  GOETZ, Siegbert ,  DOERING, Christian ,  FEHRENBACH, Michael ,  BAUER, Wolfram ,  BISCHOF, Udo ,  NEUL, Reinhard ,  FUNK, Karsten ,  LUTZ, Markus ,  WUCHER, Gerhard ,  FRANZ, Jochen

Inventor： WILLIG, Rainer ,  THOMAE, Andreas ,  KUHLMANN, Burhard ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  GOETZ, Siegbert ,  DOERING, Christian ,  FEHRENBACH, Michael ,  BAUER, Wolfram ,  BISCHOF, Udo ,  NEUL, Reinhard ,  FUNK, Karsten ,  LUTZ, Markus ,  WUCHER, Gerhard ,  FRANZ, Jochen

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: Es wird ein Drehratensensor mit einem ersten und einem zweiten Coriolis-Elemente (100, 200) vorgeschlagen, die nebeneinander über eine Oberfläche (1) eines Substrats angeordnet sind. Die Coriolis-Elemente (100, 200) werden zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse angeregt. Durch eine Coriolis-Kraft werden die Coriolis-Elemente (100, 200) in einer zweiten Achse, die senkrecht zu der ersten Achse ist, ausgelenkt. Das erste und zweite Coriolis-Element (100,200) sind durch eine Feder (52) gekoppelt, die in der ersten und in der zweiten Achse weich ausgebildet ist. Es werden so die Frequenzen der Schwingungen in den beiden Achse für die gleich- und gegenphasige Schwingung unterschiedlich ausgestaltet.

Abstract translation: 还提出了具有第一和第二科里奥利元件被并排地布置在衬底上的一个表面（1）（100，200）的偏航率传感器。 科里奥利元件（100，200）被激励振动平行于第一轴线。 由科里奥利力，科里奥利元件（100，200）中的第二轴垂直于所述第一轴线偏转。 第一和第二科里奥利元件（100,200）是由被设计为在所述第一柔性弹簧（52）和在所述第二轴联接。 有那么不同的设计在这两个轴的DC和反相位振荡，振荡的频率。