公开(公告)号：WO2012007602A1

公开(公告)日：2012-01-19

申请号：PCT/ES2011/000180

申请日：2011-05-30

申请人： UNIVERSIDAD DE CADIZ ,  MOLINA RUBIO, Sergio Ignacio ,  HERRERA COLLADO, Miriam ,  HERNANDEZ SAZ, Jesús

发明人： MOLINA RUBIO, Sergio Ignacio ,  HERRERA COLLADO, Miriam ,  HERNANDEZ SAZ, Jesús

IPC分类号： H01J37/28 ,  G01N1/28

CPC分类号： H01J37/3056 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

摘要： Método para fabricar nanoagujas en zonas de interés localizadas en el interior de muestras sólidas a escala nanométrica. Este método está relacionado con la preparación de muestras por FIB para su análisis por cualquier técnica donde es interesante estudiar una característica independiente del material, o donde es útil tener una característica concreta en una nanoaguja como para la fabricación de nanoagujas SNOM. La preparación de muestra por FIB permite seleccionar características concretas de la superficie de la muestra a escala nanométrica, pero cuando la zona de interés está localizada en el interior de una muestra sólida, es necesario una nueva metodología. Este método se presenta en la presente invención, donde se combina fabricación por FIB incluyendo la introducción de marcas en una capa de material electrón- transparente y la observación por TEM, de modo que se consigue seleccionar una característica concreta del interior del material y fabricar una nanoaguja con ella.

摘要翻译： 本发明涉及一种纳米针在纳米级固体样品内的感兴趣区域制造方法。 该方法涉及用于使用任何技术分析所述样品的FIB样品制备，其中有趣的是研究材料的独立特征，或其在纳米针中具有特定特征（例如用于生产SNOM）是有用的 纳米针。 FIB样品制备使得能够以纳米级选择样品表面的特定特征，但当感兴趣区域位于固体样品内时，需要一种新的方法。 所述方法在本发明中公开，通过FIB的生产（包括在电子透明材料层上添加标记）与TEM观察结合，以选择材料内部的特定特征并使用 说的功能。