公开(公告)号：WO2007041730A1

公开(公告)日：2007-04-19

申请号：PCT/AT2006/000406

申请日：2006-10-05

Applicant: PLANSEE SE ,  ABENTHUNG, Peter ,  HUBER, Karl ,  LACKNER, Harald ,  LEICHTFRIED, Gerhard ,  POLCIK, Peter ,  WERATSCHNIG, Christian

Inventor： ABENTHUNG, Peter ,  HUBER, Karl ,  LACKNER, Harald ,  LEICHTFRIED, Gerhard ,  POLCIK, Peter ,  WERATSCHNIG, Christian

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C23C14/3414 ,  B22F3/20 ,  B22F5/106 ,  B22F7/08 ,  B22F2998/10 ,  C22C1/045 ,  B22F3/04 ,  B22F3/1007 ,  B22F2003/208 ,  B22F2003/248 ,  B22F3/17

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Rohrtargets, das aus einem Mo oder Mo-Legierungsrohr besteht, das einen Sauerstoffgehalt kleiner 50 μg/g, eine Dichte größer 99% der theoretischen Dichte und eine mittlere Korngröße kleiner 100 μm aufweist und das mit einem Stützrohr verbunden ist, wobei die Herstellung durch Strangpressen erfolgt.

Abstract translation: 本发明涉及一种方法，用于生产管靶，其由具有小于50克/克，理论密度的更大的99％的密度，并且平均晶粒尺寸小于100微米，并与支撑管中的氧含量的Mo或Mo基合金管的 连接，其中所述制剂通过挤出进行。

公开(公告)号：WO2007059546A2

公开(公告)日：2007-05-31

申请号：PCT/AT2006/000476

申请日：2006-11-21

Applicant: PLANSEE METALL GMBH ,  SAGEMÜLLER, Wilhelm ,  POLCIK, Peter ,  WERATSCHNIG, Christian

Inventor： SAGEMÜLLER, Wilhelm ,  POLCIK, Peter ,  WERATSCHNIG, Christian

CPC classification number: C23C14/3407 ,  C23C14/3414 ,  H01J37/342 ,  H01J37/3491

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Rohrtargets, welches ein Rohr aus dem Targetwerkstoff und ein Stützrohr umfasst, welche durch Innenhochdruckumformung verbunden werden.

Abstract translation: 本发明涉及一种方法，用于生产管状靶，其包括由所述靶材料和由内部高压形成连接支撑管的管。

公开(公告)号：WO2007041730A9

公开(公告)日：2007-04-19

申请号：PCT/AT2006/000406

申请日：2006-10-05

Applicant: PLANSEE SE ,  ABENTHUNG, Peter ,  HUBER, Karl ,  LACKNER, Harald ,  LEICHTFRIED, Gerhard ,  POLCIK, Peter ,  WERATSCHNIG, Christian

Inventor： ABENTHUNG, Peter ,  HUBER, Karl ,  LACKNER, Harald ,  LEICHTFRIED, Gerhard ,  POLCIK, Peter ,  WERATSCHNIG, Christian

IPC: C23C14/34

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Rohrtargets, das aus einem Mo oder Mo-Legierungsrohr besteht, das einen Sauerstoffgehalt kleiner 50 μg/g, eine Dichte größer 99% der theoretischen Dichte und eine mittlere Korngröße kleiner 100 μm aufweist und das mit einem Stützrohr verbunden ist, wobei die Herstellung durch Strangpressen erfolgt.

公开(公告)号：WO2011127504A1

公开(公告)日：2011-10-20

申请号：PCT/AT2011/000175

申请日：2011-04-12

Applicant: PLANSEE SE ,  POLCIK, Peter ,  POLZER, Conrad ,  PERL, Matthias ,  SCHLICHTHERLE, Stefan ,  STRAUSS, Georg

Inventor： POLCIK, Peter ,  POLZER, Conrad ,  PERL, Matthias ,  SCHLICHTHERLE, Stefan ,  STRAUSS, Georg

IPC: C23C14/32 ,  C23C14/34 ,  H01J37/34 ,  B22F7/06

CPC classification number: C23C14/3414 ,  B22F7/06 ,  B22F7/08 ,  C23C14/325 ,  H01J37/34 ,  H01J37/3426 ,  H01J37/3429

Abstract: Es wird eine Beschichtungsquelle -1- für die physikalische Dampfphasenabscheidung bereitgestellt, mit zumindest einem, in einem pulvermetallurgischen Herstellungsprozess aus zumindest einem pulverförmigen Ausgangsmaterial gefertigten Bauteil -2-; -7-, und zumindest einem in das Bauteil eingebetteten ferromagnetischen Bereich -5a-, -5b-, -6-. Der zumindest eine ferromagnetische Bereich -5a-, -5b-, -6- ist bei dem pulvermetallurgischen Herstellungsprozess in das Bauteil -2-; -7- eingebracht und fest mit dem Bauteil verbunden.

Abstract translation: 本发明提供一种涂布源-1-用于物理气相沉积，其具有至少一个，在一粉状原料成分-2-的粉末冶金生产过程中的至少制造; -7，和至少一个在铁磁区-5a-嵌入式组件，-5b-，-6-。 所述至少一个铁磁区域-5a-，-5b-，-6-，在该组件的粉末冶金生产工艺-2-; -7-引入并牢固地连接到该组件。

公开(公告)号：WO2007059546A3

公开(公告)日：2007-11-01

申请号：PCT/AT2006000476

申请日：2006-11-21

Applicant: PLANSEE METALL GMBH ,  SAGEMUELLER WILHELM ,  POLCIK PETER ,  WERATSCHNIG CHRISTIAN

Inventor： SAGEMUELLER WILHELM ,  POLCIK PETER ,  WERATSCHNIG CHRISTIAN

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C23C14/3407 ,  C23C14/3414 ,  H01J37/342 ,  H01J37/3491

Abstract: The invention relates to a method for producing a tubular target having a tube made of the target material and a supporting tube, which are joined by internal high-pressure forming.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造管靶的方法，该管靶包括通过液压成形连接的靶材管和支撑管。