公开(公告)号：WO2008128728A8

公开(公告)日：2010-01-28

申请号：PCT/EP2008003153

申请日：2008-04-18

Applicant: EADS DEUTSCHLAND GMBH ,  CONTI TEMIC MICROELECTRONIC ,  ROSE MATTHIAS ,  AIKELE MATTHIAS ,  BAUER KARIN ,  SEIDEL HELMUT

Inventor： ROSE MATTHIAS ,  AIKELE MATTHIAS ,  BAUER KARIN ,  SEIDEL HELMUT

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5621

Abstract: The invention relates to a rotary speed sensor (100) comprising a tuning fork-shaped oscillator (30) having a first electrically conductive prong (11 a) and a second electrically conductive prong (11 b) located at a distance therefrom, wherein the first prong (11 a) and the second prong (11 b) are connected to each other via a base (12). The rotary speed sensor (100) further comprises a web (21) connecting the base (12) to an electrically conductive substrate (1), and a readout device (20) for detecting vibrations of the oscillator (30), wherein the oscillator (30) has a uniform potential and is electrically insulated from one or more excitation electrodes (14) arranged adjacent to the prongs (11 a, 11 b), in order to allow electrostatic excitation between the prongs (11 a, 11 b) and the excitation electrodes (14). The rotary speed sensor has a simple design and is simple to control and read.

Abstract translation: 偏航率传感器（100）包括的音叉振荡器（30），具有第一导电插脚（11）和布置在所述第二导电插脚（11 B），其中所述第一齿（11）和所述第二叉头（距离 经由基座12）图11（b）被连接在一起。 此外，旋转速度传感器（100）包括一个腹板（21），该基部（12）与用于检测所述振荡器（30）的振荡的导电基片（1），读出单元（20）连接，所述振荡器（30） 具有均匀的电势和一个或多个相邻的尖头（11，11B），其设置激励电极（14）电绝缘，所述尖齿之间的静电激励（11 A，11 b）和激励电极（14），以 允许。 旋转率传感器构造简单，以驱动和读取。

公开(公告)号：WO2004081495A2

公开(公告)日：2004-09-23

申请号：PCT/US2004/006453

申请日：2004-03-03

Applicant: BEI TECHNOLOGIES, INC. ,  CONTI TEMIC MICROELECTRONIC GMBH ,  CONTINENTAL TEVES AG & CO. OHG ,  YAN, Hai ,  BURGHARDT, Roland ,  HARTMANN, Bernhard ,  KAPSER, Konrad ,  ROSE, Matthias

Inventor： YAN, Hai ,  BURGHARDT, Roland ,  HARTMANN, Bernhard ,  KAPSER, Konrad ,  ROSE, Matthias

IPC: G01C

CPC classification number: G01C19/5719 ,  Y10T74/1275

Abstract: Micromachined vibratory gyroscope having two or more coplanar movable masses suspended over a planar substrate. Two perpendicular axes (x and y) are defined within the substrate plane, while a third, the z-axis or input axis, is defined to be perpendicular to the substrate plane. The movements of the two masses along the x-axis are coupled through an electrostatic coupling means so that the natural resonant frequency of the in-phase mode and that of the anti-phase mode are separated from each other for the resonances along the x-axis. When the two masses are driven to vibrate along the x-axis in the anti-phase mode and the device experiences rotation about the z-axis, Coriolis forces act differentially on the masses in the Y­direction, causing the two masses to dither in an anti-phase motion along the y-axis. The anti-phase dithering along the y-axis can be sensed directly by a rate sensor to measure the rate of rotation about the z-axis. Alternatively, the anti-phase dithering of the first and second bodies along the y-axis can be transferred to other movable bodies (i.e., rate-sensing masses) whose movement is then sensed to measure the rate of rotation about the z-axis. The sensing bodies are preferably suspended in such manner that, in the absence of Coriolis forces, the x-axis motion of the vibrating masses does not affect the sensing bodies. That inhibits motion of the sensing bodies in response to linear acceleration within the plane of the substrate, but permits those bodies to respond readily to the Corollas-induced motion about an axis perpendicular to the substrate plane.

Abstract translation: 微机械振动陀螺仪具有悬挂在平面基板上的两个或更多个共面可移动质量块。 两个垂直轴（x和y）被限定在衬底平面内，而第三个z轴或输入轴被定义为垂直于衬底平面。 沿着x轴的两个质量块的移动通过静电耦合装置耦合，使得同相模式和反相模式的固有谐振频率彼此分离，用于沿x轴的谐振， 轴。 当两个质量被驱动以反相模式沿着x轴振动并且该装置经历围绕z轴的旋转时，科里奥利力在Y方向上的质量作用差异地导致两个质量在反向 沿y轴的相位运动。 可以通过速率传感器直接感测沿y轴的反相抖动，以测量围绕z轴的旋转速率。 或者，沿着y轴的第一和第二主体的相位抖动可以传递到其它可移动体（即，速率感测质量），其移动然后被感测以测量围绕z轴的旋转速率。 感测体优选地以这样的方式悬挂，即在没有科里奥利力的情况下，振动块的x轴运动不影响感测体。 这可以抑制感测体响应于衬底平面内的线性加速度的运动，但是允许这些物体容易地响应于围绕垂直于衬底平面的轴的花冠诱发的运动。

公开(公告)号：WO2004046648A1

公开(公告)日：2004-06-03

申请号：PCT/DE2003/003790

申请日：2003-11-15

Applicant: CONTI TEMIC MICROELECTRONIC GMBH ,  EADS DEUTSCHLAND GMBH ,  ROSE, Matthias ,  AIKELE, Matthias ,  SEIDEL, Helmut ,  BAUER, Karin

Inventor： ROSE, Matthias ,  AIKELE, Matthias ,  SEIDEL, Helmut ,  BAUER, Karin

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/56

Abstract: Bei einem Mikromechanischer Drehratensensor mit einer auf eine von außen einwirkenden Drehrate reagierenden Sensorstruktur tritt bei bekannten Sensoren das Problem auf, dass aufgrund des Aufbaus der Sensoren, das die Drehrate charakterisierende Ausgangssignal als amplitudenmoduliertes Signal vorliegt und als solches besonders anfällig für Störungen ist und ein schlechtes Signal-Rausch-Verhältnis aufweist. Gemäß der Erfindung ist eine Resonatorstruktur mit mind. einer Eigenfrequenz vorgesehen, wobei die eigentliche Sensorstruktur mit der Resonatorstruktur mechanisch derart verbunden ist, dass eine einwirkende Drehrate die Eigenfrequenz der Resonatorstruktur ändert. Die Änderung der Eigenfrequenz der Resonatorstruktur bzw. eine von der Eigenfrequenz der Resonatorstruktur abgeleitete Größe wird als Maß für die Drehrate ausgewertet.

Abstract translation: 在微机械旋转速率传感器包括响应装置于一个从外部在现有技术的传感器施加角速度传感器结构中，出现问题，即特别容易受到干扰，由于传感器的结构存在时，旋转的表征输出信号作为调幅信号，因此和一个坏信号的速率 具有-Rausch比。 根据本发明的谐振器被提供有至少。提供一固有频率，实际的传感器结构以这样的方式，转弯的施加速率改变谐振器的谐振频率连接到所述谐振器机械地连接。 在谐振器或从谐振器尺寸的自然频率衍生的基团的固有频率的变化被评价为旋转速率的量度。

公开(公告)号：WO9844135A3

公开(公告)日：1998-12-17

申请号：PCT/EP9801904

申请日：1998-04-02

Applicant: HOECHST AG ,  HINNEN ALBERT ,  HEGEMANN JOHANNES ,  MUNDER THOMAS ,  SCHUSTER TILMER ,  FELDMANN HORST ,  KRAMER WILFRIED ,  ZIMMERMANN FRIEDRICH KARL ,  ENTIAN KARL DIETER ,  ROSE MATTHIAS ,  KOETTER PETER

Inventor： HINNEN ALBERT ,  HEGEMANN JOHANNES ,  MUNDER THOMAS ,  SCHUSTER TILMER ,  FELDMANN HORST ,  KRAMER WILFRIED ,  ZIMMERMANN FRIEDRICH KARL ,  ENTIAN KARL-DIETER ,  ROSE MATTHIAS ,  KOETTER PETER

IPC: C12N15/09 ,  C12N1/19 ,  C12N15/00 ,  C12N15/81 ,  C12Q1/18 ,  C12Q1/68

CPC classification number: C12Q1/18 ,  C12N15/00 ,  C12N15/81

Abstract: The invention relates to a method for screening antimycotically active substances, whereby essential genes from mycetes, especially of Saccaromyces cerevisae, and functionally homologous and/or sequentially homologous mycetes genes are used as targets. Said method is thus characterized in that essential genes from mycetes are used as targets.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于筛选抗真菌活性物质的方法，其中使用重要的微生物基因，特别是酿酒酵母基因和功能上同源的和/或顺序的同源微生物基因作为靶。一种发现抗真菌活性物质的方法，其中必需的 麦卡因基因被用作靶标。

公开(公告)号：WO2008128728A1

公开(公告)日：2008-10-30

申请号：PCT/EP2008/003153

申请日：2008-04-18

Applicant: EADS DEUTSCHLAND GMBH ,  CONTI TEMIC MICROELECTRONIC GMBH ,  ROSE, Matthias ,  AIKELE, Matthias ,  BAUER, Karin ,  SEIDEL, Helmut

Inventor： ROSE, Matthias ,  AIKELE, Matthias ,  BAUER, Karin ,  SEIDEL, Helmut

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5621

Abstract: Ein Drehratensensor (100) umfasst einen stimmgabelförmigen Oszillator (30) mit einem ersten elektrisch leitfähigen Zinken (11 a) und einem im Abstand dazu angeordneten zweiten elektrisch leitfähigen Zinken (11 b), wobei der erste Zinken (11 a) und der zweite Zinken (11 b) über eine Basis (12) miteinander verbunden sind. Ferner umfasst der Drehratensensor (100) einen Steg (21), welcher die Basis (12) mit einem elektrisch leitfähigen Substrat (1) verbindet, eine Ausleseeinheit (20) zum Erfassen von Schwingungen des Oszillators (30), wobei der Oszillator (30) ein einheitliches Potential besitzt und von einer oder mehreren benachbart zu den Zinken (11 a, 11 b) angeordneten Anregungselektroden (14) elektrisch isoliert ist, um eine elektrostatische Anregung zwischen den Zinken (11 a, 11 b) und den Anregungselektroden (14) zu ermöglichen. Der Drehratensensor ist einfach aufgebaut, anzusteuern und auszulesen.

Abstract translation: 偏航率传感器（100）包括的音叉振荡器（30），具有第一导电插脚（11）和布置在所述第二导电插脚（11 B），其中所述第一齿（11）和所述第二叉头（距离 经由基座12）图11（b）被连接在一起。 此外，旋转速度传感器（100）包括一个腹板（21），该基部（12）与用于检测所述振荡器（30）的振荡的导电基片（1），读出单元（20）连接，所述振荡器（30） 具有均匀的电势和一个或多个相邻的尖头（11，11B），其设置激励电极（14）电绝缘，所述尖齿之间的静电激励（11 A，11 b）和激励电极（14），以 允许。 旋转率传感器构造简单，以驱动和读取。

公开(公告)号：WO02056437A3

公开(公告)日：2002-10-10

申请号：PCT/DE0200065

申请日：2002-01-09

Applicant: ROLEC GEHAEUSE SYSTEME GMBH ,  ROSE FRIEDHELM ,  ROSE MATTHIAS

Inventor： ROSE FRIEDHELM ,  ROSE MATTHIAS

IPC: H02B1/46 ,  H05K5/00 ,  E05D1/02 ,  H05K5/02

CPC classification number: H05K5/0008 ,  H02B1/46 ,  Y10T16/52

Abstract: The invention relates to a housing, in particular for the installation of electrical and electronic components, comprising a housing lower section and a cover, fixable thereto, whereby the cover and housing lower section are connected to each other in a hinged manner, by means of at least two flexible inner elements, arranged at a separation from each other outside the sealed inner chamber of the housing. Conventional housings of this type have the disadvantage that the hinge-like connection of housing lower section and cover is relatively costly. The aim of the invention is to provide a less costly solution for the above. Said aim is achieved whereby the ends (19.1), (19.2) of the flexible inner element (19) have a greater cross-section than the region lying between said ends, whereby at least one of the ends (19.2) is elastically embodied for a temporary reduction in cross-section. Through openings (17, 18), leading into each other, are provided in the cover (3) and in the housing lower section (2), the cross-section of which permits access of the at least one end (19.2) in the extended state, which, after access through the corresponding through opening (17, 18), increases in cross-section again on elastic relaxation.

Abstract translation: 本发明涉及一种壳体，特别是用于安装电气和电子部件的，包括一个壳体下部和一个固定在其上的盖，所述盖和壳体下部被布置在至少两个彼此壳体的密封的内部的外侧间隔开，柔性内元件 被铰接在一起。 这种类型的已知情况的缺点在于，壳体基座和盖的铰链状连接相对昂贵。 本发明的目的是为此提供较便宜的解决方案。 该目的的实现在于，所述柔性内元件（19）的端部（19.1），（19.2）具有更大的横截面大于它们之间的躺卧区域，所述端部中的其中至少一个（19.2）形成einfedernd用于解决截面暂时降低。 在盖（3）和在壳体下部件（2）的通孔，其横截面在压缩状态下的所述至少一个端部（19.2）的通道允许相互对准（17,18），该（后通过其通道中的通孔17相关联的 ，18）回弹以扩大其横截面。

公开(公告)号：WO1997006412A1

公开(公告)日：1997-02-20

申请号：PCT/EP1996003412

申请日：1996-08-02

Applicant: DAIMLER-BENZ AG ,  VOSS, Ralf ,  BAUER, Karin ,  ROSE, Matthias ,  STENZEL, Erwin ,  SCHALK, Josef ,  KUPKE, Winfried ,  SEIDEL, Helmut

Inventor： DAIMLER-BENZ AG

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5614 ,  G01C19/5621

Abstract: Proposed is a gyrometer whose structure is made up of silicon (silicon compounds or silicon/glass compounds) or other semiconductor materials using micromechanical techniques. The gyrometer has the shape of a tuning fork whose prongs lie in planes parallel to the surface of the semiconductor wafer. The prongs are caused to vibrate in a plane at right angles to the plane of the wafer. A sensor element which records the torsion in the tuning-fork mounting is used to measure the angular speed of the gyrometer about an axis parallel to the tuning-fork mounting.

Abstract translation: 提出了一种横摆率传感器，由硅（硅化合物或硅/玻璃的化合物），或者使用微机械加工技术的其它半导体材料的图案化进行。 角速度传感器具有音叉其齿是在平面平行于所述半导体晶片的表面的形状。 这些齿是在一个平面内激发垂直于晶片平面振动。 由传感器元件寄存器音叉悬架的扭转，传感器的旋转角速度绕平行于音叉悬浮液的轴线的轴线测量的。

公开(公告)号：WO2004081495A3

公开(公告)日：2005-04-21

申请号：PCT/US2004006453

申请日：2004-03-03

Applicant: BEI TECHNOLOGIES INC ,  CONTI TEMIC MICROELECTRONIC ,  CONTINENTAL TEVES AG & CO OHG ,  YAN HAI ,  BURGHARDT ROLAND ,  HARTMANN BERNHARD ,  KAPSER KONRAD ,  ROSE MATTHIAS

Inventor： YAN HAI ,  BURGHARDT ROLAND ,  HARTMANN BERNHARD ,  KAPSER KONRAD ,  ROSE MATTHIAS

IPC: G01C19/5712 ,  G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5719 ,  Y10T74/1275

Abstract: Micromachined vibratory gyroscope having two or more coplanar movable masses suspended over a planar substrate. Two perpendicular axes (x and y) are defined within the substrate plane, while a third, the z-axis or input axis, is defined to be perpendicular to the substrate plane. The movements of the two masses along the x-axis are coupled through an electrostatic coupling means so that the natural resonant frequency of the in-phase mode and that of the anti-phase mode are separated from each other for the resonances along the x-axis. When the two masses are driven to vibrate along the x-axis in the anti-phase mode and the device experiences rotation about the z-axis, Coriolis forces act differentially on the masses in the Y­direction, causing the two masses to dither in an anti-phase motion along the y-axis. The anti-phase dithering along the y-axis can be sensed directly by a rate sensor to measure the rate of rotation about the z-axis. Alternatively, the anti-phase dithering of the first and second bodies along the y-axis can be transferred to other movable bodies (i.e., rate-sensing masses) whose movement is then sensed to measure the rate of rotation about the z-axis. The sensing bodies are preferably suspended in such manner that, in the absence of Coriolis forces, the x-axis motion of the vibrating masses does not affect the sensing bodies. That inhibits motion of the sensing bodies in response to linear acceleration within the plane of the substrate, but permits those bodies to respond readily to the Corollas-induced motion about an axis perpendicular to the substrate plane.

Abstract translation: 微机械振动陀螺仪具有悬挂在平面基板上的两个或更多个共面可移动质量块。 两个垂直轴（x和y）被限定在衬底平面内，而第三个z轴或输入轴被定义为垂直于衬底平面。 沿着x轴的两个质量块的移动通过静电耦合装置耦合，使得同相模式和反相模式的固有谐振频率彼此分离，用于沿x轴的谐振， 轴。 当两个质量被驱动以反相模式沿着x轴振动并且该装置经历围绕z轴的旋转时，科里奥利力在Y方向上的质量作用差异地导致两个质量在反向 沿y轴的相位运动。 可以通过速率传感器直接感测沿y轴的反相抖动，以测量围绕z轴的旋转速率。 或者，沿着y轴的第一和第二主体的相位抖动可以传递到其它可移动体（即，速率感测质量），其移动然后被感测以测量围绕z轴的旋转速率。 感测体优选地以这样的方式悬挂，即在没有科里奥利力的情况下，振动块的x轴运动不影响感测体。 这可以抑制感测体响应于衬底平面内的线性加速度的运动，但是允许这些物体容易地响应于围绕垂直于衬底平面的轴的花冠诱发的运动。

公开(公告)号：WO2003014667A1

公开(公告)日：2003-02-20

申请号：PCT/EP2002/008821

申请日：2002-08-07

Applicant: EADS DEUTSCHLAND GMBH ,  CONTI-TEMIC MICROELECTRONIC GMBH ,  BAUER, Karin ,  FICKER, Wilhelm ,  GLEISSNER, Tanjo ,  NUSCHELER, Franz ,  ROSE, Matthias ,  SCHALK, Josef ,  STENZEL, Erwin

Inventor： BAUER, Karin ,  FICKER, Wilhelm ,  GLEISSNER, Tanjo ,  NUSCHELER, Franz ,  ROSE, Matthias ,  SCHALK, Josef ,  STENZEL, Erwin

IPC: G01C19/56

CPC classification number: B81C99/004 ,  B23K26/351 ,  G01C19/5663 ,  G01C25/005 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/097 ,  G01P21/00

Abstract: Es wird ein Verfahren zum Trimmen von Sensoren mit schwingenden Strukturen angegeben, bei dem ein Sensorelement (14), das eine schwingfähige Struktur zur Erfassung einer Messgrösse aufweist, mit einem Laserstrahl (17a) bearbeitet wird, um gezielt Masse abzutragen, wobei mindestens eine Resonanzfrequenz des Sensorelements (14) und/oder eine Unwucht des Sensorelements (14) abgeglichen wird. Während des Abtragens der Masse schwingt das Sensorelement und es wird eine Zustandsänderung instantan gemessen. Zur Erzeugung des Laserstrahls (17a) wird ein Femtosekundenlaser (17) verwendet. Eine Vorrichtung (10) zum Trimmen von Sensoren hat eine Messeinrichtung (13) zur Bestimmung einer Resonanzfrequenz und/oder einer Unwucht des Sensorelements (14), einen Laser (17) mit einer Steuereinrichtung (18) zur gezielten Abtragung von Masse des Sensorelements, und eine Vergleichseinrichtung, um einen Messwert, der die aktuelle Resonanzfrequenz und/oder die aktuelle Unwucht repräsentiert, mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen.

Abstract translation: 提供了一种方法，用于调整传感器与振动结构，其中具有用于检测所测量的变量a的振荡结构的传感器元件（14），用激光束（17a）的处理，以消融目标质量的至少一个共振频率 传感器元件（14）和/或传感器元件（14）的不平衡匹配。 在移除质量的，传感器元件振动并有瞬时测量的状态变化。 用于产生激光束（17a）的使用飞秒激光（17）。 用于传感器的修剪设备（10）具有用于确定一个谐振频率和/或所述传感器元件（14），激光器（17）与控制装置（18），用于所述传感器元件的质量的目标消融的不平衡的测量装置（13），和 比较装置，用于比较表示实际的谐振频率和/或与预定值的电流平衡测量值。