Abstract:
Es wird eine Fertigungslinie zur Herstellung von Werkstücken, mit mehreren in einer Reihe nebeneinander angeordneten Bearbeitungszellen (21) und mit einer Transporteinrichtung (31) zum Transport des oder der Werkstücke in und aus den Bearbeitungszellen (21) vorgeschlagen, wobei alle Bearbeitungszellen (21) einer Fertigungslinie auf einem Basismodul (13) angeordnet sind, die Transporteinrichtung (31) eine Führungsschiene (33) umfasst, sich die Führungsschiene (33) mindestens über die gesamte Lange des Basismoduls (13) erstreckt, und auf der Führungsschiene (33) mindestens ein Transportschlitten (35) angeordnet ist.
Abstract:
Greifer zum Transportieren von Werkstücken, vor allem für flache Werkstücke, insbesondere Wafer (6). Die Werkstückhaltekraft wird dabei überwiegend durch Vakuum aufgebracht. Das Aufbringen des Vakuums auf das Werkstück erfolgt dabei durch eine poröse Fläche (2).
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein WerkstückbearbeitungsSystem (10), umfassend eine Werkzeugeinheit (12) mit einem Bearbeitungswerkzeug (40) in Form eines Finishwerkzeugs, ferner umfassend eine Werkstückaufnahme (22) zur Aufnahme eines Werkstücks (14), insbesondere eines Lagerrings für Wälzlager, wobei die Werkzeugeinheit eine Führungseinrichtung aufweist, mittels welcher die Werkzeugeinheit entlang einer Bewegungsbahn (38) bewegbar an mindestens einer Führungsfläche des Werkstücks geführt ist.
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Bandfinishvorrichtung (14), mit einem Finishband und mit einem mechanischen Anschluss für einen Drehantrieb (20) einer Werkzeugmaschine (12), wobei der mechanische Anschluss zumindest mittelbar mit einem Oszillationsantrieb gekoppelt ist, welcher einen Wandler zur Umwandlung einer Drehbewegung in eine Oszillationsbewegung eines Andrückwerkzeugs umfasst, wobei das Andrückwerkzeug dazu bestimmt ist, das Finishband gegen ein finishend zu bearbeitendes Werkstück anzudrücken, wobei der mechanische Anschluss zumindest mittelbar mit einem Finishbandantrieb zum Fördern des Finishbands gekoppelt ist, wobei der Oszillationsantrieb und/oder der Finishbandantrieb ein Getriebe aufweist oder aufweisen, wobei eine Eingangsgröße des Getriebes die Drehrichtung des Drehantriebs der Werkzeugmaschine ist und eine Ausgangsgröße des Getriebes von der Eingangsgröße abhängige, voneinander abweichende Drehgeschwindigkeiten.
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (10) zur finishenden Bearbeitung eines Werkstücks (12), mit einer Halteeinrichtung (26) zum Halten mindestens eines Andrückelements (40), und mit einem Finishband (18), welches auf Höhe des Andrückelements (40) mittels des Andrückelements (40) gegen eine finishend zu bearbeitende Werkstückoberfläche (16) andrückbar ist, wobei dass ein biegeelastisches Zwischenelement (44) vorgesehen ist, welches eine Andrückkraft des Andrückelements (40) mittels einer Kraftaufnahmefläche und mittels einer Kraftübertragungsfläche auf das Finishband (18) überträgt.
Abstract:
A superfinishing system and method, wherein an abrasive is employed to process a workpiece, and wherein the system simultaneously mounts a plurality of workpieces in a diagonal turret, or mounts a plurality of different types of workpieces in a plurality of chucks for different operations thereon, or performs a plurality of different operations on the same workpiece without remounting. The system improves throughput by allowing flexibility in the operation and multitasking.
Abstract:
Vorrichtung zum hochgenauen, indirekten, berührungslosen Messen der Dicke von Werkstücken (5), insbesondere von Wafen, während der Dickenbearbeitung (Polieren, Schleifen, Ätzen, etc.) des Werkstücks (5) mittels sehr genau nachgeführter Staudruckdüse (3). Zur Nachführung (9) z.B. piezoelektrische flüssigheitsgefüllten Balg vorgeschlagen.
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Einrichtung einer Doppelseiten-Planschleifmaschine (10), welche aufweist: - zwei zueinander beabstandete Schleifscheiben (12, 14), welche einen zwischen den Schleifscheiben angeordneten Arbeitsraum (20) begrenzen, - mindestens einen Schleifscheibenantrieb (22, 26), mittels welchem mindestens eine Schleifscheibe um eine Rotationsachse (24, 28) drehbar antreibbar ist, - mindestens eine in dem Arbeitsraum angeordnete Läuferscheibe (42, 44), welche mindestens eine Werkstückaufnahme (52, 54) aufweist, in welcher ein zu schleifendes Werkstück anordenbar ist, - einen Läuferscheibenantrieb (32), mittels welchem die Läuferscheibe entlang einer zu der Rotationsachse der mindestens einen Schleifscheibe konzentrischen Kreisbahn (46) antreibbar ist, wobei zur Vorbereitung der Bearbeitung mindestens eines Werkstückloses folgende Schritte durchgeführt werden: a) Vorgabe mindestens eines maschinenspezifischen Parameters (MP) und/oder mindestens eines Bearbeitungsparameters (BP) zur Bildung eines Eingabe-n-Tupels,wobei n größer oder gleich 2 ist, b) Vergleich des Eingabe-n-Tupels mit in einer Datenbank hinterlegten n-Tupeln,wobei n größer oder gleich 2 ist, c) Ermittlung einer dem Eingabe-n-Tupel oder einem hinterlegten n-Tupel zugeordneten Qualitätsgröße.
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Bandfinishvorrichtung (10) mit mindestens einem Finishband (12), wobei mindestens eine Blockiereinrichtung (52) vorgesehen ist, welche in einer Blockierstellung zwei Wirkflächenabschnitte des mindestens einen Finishbands (12) gegeneinander drückt und eine Bewegung des mindestens einen Finishbands (12) verhindert und welche in einer Freigabesteilung eine Bewegung des mindestens einen Finishbands (12) erlaubt. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Bewegungssteuerung mindestens eines Finishbands (12).
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Finishvorrichtung (10) zur Bearbeitung von Wellenaxiallagern, insbesondere von Kurbelwellenpasslagern, umfassend einen an einem Maschinengestell (22) anordenbaren oder angeordneten Halter (28), an welchem eine Bearbeitungseinheit (42) mit einem Finishwerkzeug (56) bewegbar gelagert ist, wobei eine Bewegung der Bearbeitungseinheit (42) mit einer Einstellung eines mittels des Finishwerkzeugs (46) zu bearbeitenden Durchmessers eines Wellenaxiallagers einhergeht, wobei zur Bewegung der Bearbeitungseinheit (42) eine motorische Antriebseinheit (62) vorgesehen ist, welche die Bearbeitungseinheit (42) entlang einer Zustellachse (74) antreibt. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Bearbeitung von Wellenaxiallagern.