公开(公告)号：WO2011147854A1

公开(公告)日：2011-12-01

申请号：PCT/EP2011/058512

申请日：2011-05-24

Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. ,  HOUBERTZ-KRAUSS, Ruth ,  TRÖTSCHEL, Daniela

Inventor： HOUBERTZ-KRAUSS, Ruth ,  TRÖTSCHEL, Daniela

IPC: C04B35/624 ,  C08J5/24 ,  C08F20/06 ,  C09D4/00 ,  H01L41/00

CPC classification number: B05D3/06 ,  C04B35/468 ,  C04B35/491 ,  C04B35/6263 ,  C04B35/6264 ,  C04B35/62675 ,  C04B35/62685 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/606 ,  C04B2235/661 ,  C04B2235/665 ,  C08F20/06 ,  C09D4/00 ,  C23C18/06 ,  C23C18/1216 ,  C23C18/1254 ,  C23C18/14 ,  H01L41/18 ,  H01L41/1871 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/318 ,  H01L41/331

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines strukturierten Formkörpers oder einer solchen Schicht aus einem Precursor für ein Oxid oder Mischoxid eines oder mehrerer Metalle, ausgewählt unter Magnesium, Strontium, Barium, Aluminium, Gallium, Indium, Silicium, Zinn, Blei und den Übergangsmetallen, umfassend die Schritte: (a) Lösen mindestens einer Verbindung des einen oder mehrerer Metalle in einem organischen Lösungsmittel und/oder Austauschen eines Liganden der bzw. einer der gelösten Metallverbindung(en) gegen einen stabilisierenden Liganden, (b) Zusetzen eines Liganden zu der Lösung, der mindestens eine photochemisch polymerisierbare Gruppe und mindestens eine solche Gruppe aufweist, die eine stabile Komplexbildung ermöglicht, und Ausbilden eines Sols mit oder aus dem Produkt dieser Reaktion (Precursor), (c) Auftragen des Sols auf ein Substrat, (d) Anisotropes Belichten des Sols derart, dass in den belichteten Bereichen eine Polymerisation photochemisch polymerisierbarer Gruppen stattfindet, wobei das Sol in Schritt (c) in strukturierter Form aufgetragen wird und/oder die nicht belichteten Bereiche des Sols nach der Polymerisation unter Zurückbleiben des Formkörpers oder der Schicht entfernt werden. Der Körper bzw. die Schicht kann anschließend gesintert werden, bis die organischen Bestandteile entfernt sind, wobei eine entsprechender Oxidkörper bzw. eine Oxidschicht entsteht.

Abstract translation: 本发明涉及一种方法，用于生产的前体的图案成形物品或层的氧化物或选自镁，锶，钡，铝，镓，铟，硅，锡，铅和过渡金属中的一种或多种金属的混合氧化物， 包括以下步骤：在有机溶剂和/或配体或对稳定配体溶解的金属化合物（S）中的一个的交换的一个或多个金属（a）将至少一种化合物，（b）将配体与溶液 具有至少一种光化学聚合基团和至少一个这样的基团，其允许形成稳定的络合物，和具有或从该反应（前体），（c）将溶胶在基板上的产品形成的溶胶，（d）中的各向异性曝光 溶胶，使得聚合聚合物：光化学在曝光区域， risierbarer基发生时，在步骤（c）的溶胶以结构化形式和/或溶胶的未曝光区域被施加成形体或该层的聚合延迟之后被去除。 主体或层可以随后被烧结，直到有机成分被除去，留下相应的氧化物体和形成氧化物层。