VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKRO-ELEKTRONISCH-MECHANISCHEN SCHWINGUNGSSYSTEMS UND PIEZOELEKTRISCHER MIKROGEFERTIGTER ULTRASCHALLWANDLER

    公开(公告)号:WO2022248110A1

    公开(公告)日:2022-12-01

    申请号:PCT/EP2022/059290

    申请日:2022-04-07

    申请人: ROBERT BOSCH GMBH

    IPC分类号: B06B1/06 H01L41/00

    摘要: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines mikro-elektronisch-mechanischen Schwingungssystems, insbesondere eines piezoelektrischen mikrogefertigten Ultraschallwandlers (20a). Hierbei wird zunächst ein Trägersubstrat (1) mit einer ersten Oberfläche (3) bereitgestellt und folgend eine erste Passivierungsschicht (7) auf die erste Oberfläche (3) des ersten Trägersubstrats (1) aufgebracht. Anschließend wächst eine erste Poly-Siliziumschicht (7) auf die erste Passivierungsschicht (2) und/oder die erste Oberfläche (3) des Trägersubstrats (1) auf und folgend wird eine zweite Passivierungsschicht (5) auf eine zweite Oberfläche (6) der ersten Poly-Siliziumschicht (7) aufgebracht. Anschließend wächst eine zweite Poly-Siliziumschicht (11) auf die erste Poly-Siliziumschicht (7) und/oder die zweite Passivierungsschicht (5) auf. Darauf folgend wird ein Wandlerelement (10) des mikro-elektronisch-mechanischen Schwingungssystems auf eine dritte Oberfläche (8) der zweiten Poly-Siliziumschicht (11) aufgebracht. Zudem wird ein erster Graben (14) vollständig durch das Trägersubstrat (1) und durch die erste Poly-Siliziumschicht (7) hindurch in Richtung des Wandlerelements (10) erzeugt. Der erste Graben (14) erstreckt sich hierbei bis hin zur zweiten Passivierungsschicht (11), sodass an den ersten Graben (14) angrenzend mittels der zweiten Poly-Siliziumschicht (11) eine schwingbare Wandlerplatte (19) des mikro-elektronisch-mechanischen Schwingungssystems erzeugt wird.

    VIBRATION ENERGY HARVESTING DEVICES AND SYSTEMS

    公开(公告)号:WO2021174317A1

    公开(公告)日:2021-09-10

    申请号:PCT/AU2021/050199

    申请日:2021-03-05

    IPC分类号: H01L41/00 H02N2/18 B60B1/06

    摘要: Embodiments generally relate to energy transduction devices, such as vibration energy harvesting devices. An example vibration energy harvesting device includes: a piezoelectric transducer; electrical conductors electrically coupled to the piezoelectric transducer; and an axially aligned magnet assembly arranged to apply static compressive force to the piezoelectric transducer, the magnet assembly being coupled to a base at one end and having a free opposite end. The magnet assembly is coaxial with the piezoelectric transducer and at least part of the magnet assembly is concentric with the piezoelectric transducer. The magnet assembly defines a gap between axially adjacent parts of the magnet assembly. The gap is dimensioned to be sufficiently small that the magnet assembly applies a static compressive force to the piezoelectric transducer while being sufficiently large to allow for axial movement of the piezoelectric transducer without closing the gap.

    VIBRATION ENERGY PROJECTION DEVICES AND SYSTEMS

    公开(公告)号:WO2021174316A1

    公开(公告)日:2021-09-10

    申请号:PCT/AU2021/050198

    申请日:2021-03-05

    IPC分类号: H01L41/00 H02N2/18 B06B1/06

    摘要: Some embodiments relate to an energy transduction device or apparatus. An example device or apparatus includes: a piezoelectric transducer; electrical conductors electrically coupled to the piezoelectric transducer; and an axially aligned magnet assembly arranged to apply static compressive force to the piezoelectric transducer, the magnet assembly being coupled to a base at one end and having a free opposite end. The magnet assembly is coaxial with the piezoelectric transducer and at least part of the magnet assembly is concentric with the piezoelectric transducer. The magnet assembly defines a gap between axially adjacent parts of the magnet assembly, wherein the gap is dimensioned to be sufficiently small that the magnet assembly applies a static compressive force to the piezoelectric transducer while being sufficiently large to allow for axial movement of the piezoelectric transducer without closing the gap.

    一种复合基板及其制造方法、表声波谐振器及其制造方法

    公开(公告)号:WO2021143409A1

    公开(公告)日:2021-07-22

    申请号:PCT/CN2020/135659

    申请日:2020-12-11

    IPC分类号: H01L41/00 H03H9/02 H03H9/15

    摘要: 本发明提供了一种复合基板及其制造方法、表声波谐振器及其制造方法,其中复合基板的制造方法包括:提供第一基板;在所述第一基板上沉积衬垫层,所述衬垫层至少包括多晶材料层;在所述多晶材料层上通过物理或化学沉积方法沉积用于产生声波谐振的压电感应薄膜;对所述压电感应薄膜进行再结晶退火处理,使所述压电感应薄膜达到多晶态,其中所述结晶退火包括升温过程和冷却过程,所述升温过程包括对所述压电感应薄膜进行升温使所述压电感应薄膜达到熔融状态。所述复合基板包括:第一基板;衬垫层,位于所述第一基板上表面,所述衬垫层至少包括多晶材料层;用于产生声波谐振的压电感应薄膜,位于所述多晶材料层上方,所述压电感应膜为多晶态。

    TRANSPARENT ORIENTED ELECTROACTIVE CERAMICS
    5.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2020242839A1

    公开(公告)日:2020-12-03

    申请号:PCT/US2020/033645

    申请日:2020-05-19

    IPC分类号: G02F1/01 C04B35/01 H01L41/00

    摘要: An electroactive ceramic may be incorporated into a transparent optical element between transparent electrodes and may characterized by a preferred crystallographic orientation. The preferred crystallographic orientation may be aligned along a polar axis of the electroactive ceramic and substantially parallel to each of the electrodes. Optical properties of the optical element, including transmissivity, haze, and clarity may be substantially unchanged during actuation thereof and the attendant application of a voltage to the electroactive ceramic.

    PLANTILLA PIEZOELÉCTRICA PARA INCREMENTAR LA CIRCULACIÓN EN TRATAMIENTOS DE LESIONES EN LOS PIES

    公开(公告)号:WO2019172738A1

    公开(公告)日:2019-09-12

    申请号:PCT/MX2018/000019

    申请日:2018-03-14

    摘要: El pie es una de las partes más complejas del cuerpo; consta de 26 huesos unidos por numerosas articulaciones, músculos, tendones y ligamentos. El pie es propenso a sufrir mucha tensión, de manera que los problemas del pie pueden causar dolor, inflamación o lesiones que, a su vez, limitan el movimiento y la movilidad. Las personas con diabetes adicionalmente pueden tener muchos problemas diferentes en los pies. Incluso los problemas normales pueden empeorar y llevar a complicaciones severas, estos problemas generalmente se producen cuando hay daño a los nervios, lo que se denomina neuropatía; que resulta en la pérdida de sensación en los pies. La mala circulación y cambios en la forma de los pies o dedos también pueden causar problemas. La invención fue desarrollada con el objetivo de hacer disponible una plantilla piezoeléctrica para generar una serie de estímulos automáticos de micro corrientes que, al ser introducidos al cuerpo por medio de la piel con los tejidos lesionados, se genera una mayor vascularización, produciendo una cicatrización más rápida y eficaz de la zona lesionada en el pie de una persona con una lesión en alguien con diabetes o no necesariamente que tenga este problema.

    VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES NICHTTHERMISCHEN ATMOSPHÄRENDRUCK-PLASMAS

    公开(公告)号:WO2018167167A1

    公开(公告)日:2018-09-20

    申请号:PCT/EP2018/056431

    申请日:2018-03-14

    申请人: EPCOS AG

    IPC分类号: H05H1/24 H01L41/00

    摘要: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines nichtthermischen Atmosphärendruck-Plasmas aufweisend einen piezoelektrischen Transformator (1), der dazu ausgestaltet ist, in einem Prozessmedium ein nichtthermisches Atmosphärendruck-Plasma zu zünden, und eine Ansteuerschaltung (11), die dazu ausgestaltet ist, an den piezoelektrischen Transformator (1) eine Eingangsspannung anzulegen, wobei die Ansteuerschaltung (11) dazu ausgestaltet ist, eine Modulation der Eingangsspannung derart vorzunehmen, dass der piezoelektrische Transformator (1) in Folge der Modulation ein Schallsignal erzeugt.

    THERMOELECTRIC BATTERY CHARGER WITH INDEPENDENT ECONOMIZER

    公开(公告)号:WO2018158625A1

    公开(公告)日:2018-09-07

    申请号:PCT/IB2017/057628

    申请日:2017-12-05

    申请人: ZARIFI, Soudmand

    发明人: ZARIFI, Soudmand

    IPC分类号: H01L35/00 H01L41/00 F01N5/00

    摘要: A thermoelectric battery charger is able to absorb and utilize waste heat and convert it into electrical energy by thermoelectricity and thermal power using a special economizer, in such a way that electrical energy can be stored in energy storage sources such as batteries. The system has the capability to absorb waste heat from the heat sources and convert it to electrical and thermal power simultaneously using a thermoelectric generator and a special economiser respectively. The electrical energy so produced is stored in energy storage sources such as batteries with a buck-boost charger interface. The thermal energy of the residual heat remaining after electric power generation is also effectively tapped using the economizer with finned tubes provided at the exhaust of the system in order to heat the water passing through the economizer from the cooling block.

    STRETCHABLE ULTRASONIC TRANSDUCER DEVICES
    9.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2018132443A1

    公开(公告)日:2018-07-19

    申请号:PCT/US2018/013116

    申请日:2018-01-10

    IPC分类号: H01L41/08 H01L41/00 H04R17/00

    摘要: A conformable piezoelectric transducer array for performing ultrasound or the like includes a silicone elastomer substrate and a silicone elastomer superstrate. A plurality of piezoelectric transducer elements are disposed between the substrate and superstrate. A first electrical interconnect layer electrically interconnects a first surface of the transducer elements adjacent to the substrate and a second electrical interconnect layer electrically interconnecting a second surface of the transducer elements adjacent to the superstrate.