公开(公告)号：WO2020101336A1

公开(公告)日：2020-05-22

申请号：PCT/KR2019/015399

申请日：2019-11-13

Applicant: (주)디엔에프

Inventor： 김명운 ,  이상익 ,  서장우 ,  전상용 ,  임행돈

IPC: C23C16/32 ,  C23C16/18 ,  C23C16/455 ,  C23C16/02 ,  C23C16/56

Abstract: 본 발명은 몰리브덴 함유 박막의 제조방법 및 이로부터 제조된 몰리브덴 함유 박막을 제공하는 것으로, 본 발명의 몰리브덴 함유 박막의 제조방법은 몰리브덴(0)계 탄화수소 화합물 및 특정한 반응가스를 이용함으로써 순도 높은 박막을 간단한 공정으로 용이하게 제조할 수 있다.

公开(公告)号：WO2017179857A1

公开(公告)日：2017-10-19

申请号：PCT/KR2017/003782

申请日：2017-04-06

Applicant: (주)디엔에프

Inventor： 김명운 ,  이상익 ,  채원묵 ,  임상준 ,  이강용 ,  조아라 ,  전상용 ,  임행돈

IPC: C07F7/10 ,  C23C16/18 ,  C23C16/40

CPC classification number: C07F7/10 ,  C23C16/18 ,  C23C16/40

Abstract: 본 발명은 신규한 전이금속 화합물, 이의 제조방법, 이를 포함하는 전이금속함유 박막증착용 조성물, 전이금속함유 박막증착용 조성물을 이용한 전이금속함유 박막 및 전이금속함유 박막의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명의 전이금속 화합물은 열적 안정성이 높고, 휘발성이 높으며, 저장안정성이 높아 이를 전구체로 이용하여 고밀도 및 고순도의 전이금속함유박막을 용이하게 제조할 수 있다.

Abstract translation:

本发明涉及一种新的过渡金属化合物，其制备方法，含过渡他们薄膜沉积组合物中，穿着带有组合物含有过渡金属的薄膜和含过渡金属的薄膜的含有过渡金属的薄膜的增加含金属 该涉及一种用于制备本发明的过渡金属化合物具有高的热稳定性，高挥发性，所以能够容易地制造具有高密度和高纯度和高储存稳定性的含过渡金属的薄膜，并用它作为前体。